CN209228951U - 一种真空腔室内的坩埚找位传动机构 - Google Patents
一种真空腔室内的坩埚找位传动机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209228951U CN209228951U CN201821944561.7U CN201821944561U CN209228951U CN 209228951 U CN209228951 U CN 209228951U CN 201821944561 U CN201821944561 U CN 201821944561U CN 209228951 U CN209228951 U CN 209228951U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- absolute value
- gear
- value encoder
- looks
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，其结构包括马达、联轴器、齿轮和绝对值编码器，所述马达右侧输出端通过连接块与联轴器进行插接，所述联轴器右侧中部输出端与齿轮进行传动连接，所述齿轮顶部中侧与绝对值编码器右侧的齿轮进行啮合，本实用新型的一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，将机械定位器和绝对值编码器两种找位方式集成一体化，当机械定位器出现故障时系统允许切换到绝对值编码器找位置，相反当绝对值编码器出现故障时系统允许切换到机械定位器，从而十分有效地提高了坩埚找位置的成功率。
Description
技术领域
本实用新型是一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，属于坩埚找位传动机构领域。
背景技术
常规真空腔体内的坩埚找位置转动都是通过机械定位器来进行找位置信号，由于真空腔体内的压力造成的机械形变和长期热辐射的原因，使机械定位器经常出现找位置失败的故障发生，使蒸镀产品出现返工，给客户带来数万元的经济损失。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，以解决现有技术传动找位置方式单一，故障率高，且维修成本高昂，找位置功能失效而带来的停机停产和返修的问题。
为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，包括马达、联轴器、齿轮和绝对值编码器，所述马达右侧输出端通过连接块与联轴器进行插接，所述联轴器右侧中部输出端与齿轮进行传动连接，所述齿轮顶部中侧与绝对值编码器右侧的齿轮进行啮合。
进一步地，马达和绝对值编码器外侧均设置有隔热防护罩。
本实用新型的一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，将机械定位器和绝对值编码器两种找位方式集成一体化，当机械定位器出现故障时系统允许切换到绝对值编码器找位置，相反当绝对值编码器出现故障时系统允许切换到机械定位器，从而十分有效地提高了坩埚找位置的成功率。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型右视的结构示意图；
图3为本实用新型俯视的结构示意图。
图中：马达-1、联轴器-2、齿轮-3、绝对值编码器-4。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
请参阅图1、图2与图3，本实用新型提供一种真空腔室内的坩埚找位传动机构：包括马达1、联轴器2、齿轮3和绝对值编码器4，马达1右侧输出端通过连接块与联轴器2进行插接，联轴器2右侧中部输出端与齿轮3进行传动连接，齿轮3顶部中侧与绝对值编码器4右侧的齿轮进行啮合。
其中，马达1和绝对值编码器4外侧均设置有隔热防护罩。
当使用者想使用本专利的时候，首先将本设计安装真空腔体内镀膜材料坩埚穴位的传动处，通过马达1的转动，装在主轴上的主传动齿轮转动，从而带动传动齿轮的转动，通常有4个穴位，当人为转动1号穴位后，此时通过装在主轴上的齿轮3带动绝对值编码器4主轴上的轴转动，通过绝对值编码器4此次的转动编码数值来识别1号位置，坩埚1周是360度，均分后可以得出下一个位置的编码数值，从而来决定每一个位置的准确度；然后在坩埚的周围安装机械定位器，使两种找位方式集成一体化，提高了坩埚找位置的成功率，本实用新型的一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，将机械定位器和绝对值编码器4两种找位方式集成一体化，当机械定位器出现故障时系统允许切换到绝对值编码器4找位置，相反当绝对值编码器4出现故障时系统允许切换到机械定位器，从而十分有效地提高了坩埚找位置的成功率。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (2)
1.一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，其特征在于：包括马达（1）、联轴器（2）、齿轮（3）和绝对值编码器（4），所述马达（1）右侧输出端通过连接块与联轴器（2）进行插接，所述联轴器（2）右侧中部输出端与齿轮（3）进行传动连接，所述齿轮（3）顶部中侧与绝对值编码器（4）右侧的齿轮进行啮合。
2.根据权利要求1所述的一种真空腔室内的坩埚找位传动机构，其特征在于：所述马达（1）和绝对值编码器（4）外侧均设置有隔热防护罩。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821944561.7U CN209228951U (zh) | 2018-11-24 | 2018-11-24 | 一种真空腔室内的坩埚找位传动机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821944561.7U CN209228951U (zh) | 2018-11-24 | 2018-11-24 | 一种真空腔室内的坩埚找位传动机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209228951U true CN209228951U (zh) | 2019-08-09 |
Family
ID=67504321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821944561.7U Active CN209228951U (zh) | 2018-11-24 | 2018-11-24 | 一种真空腔室内的坩埚找位传动机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209228951U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111780697A (zh) * | 2020-07-14 | 2020-10-16 | 惠州市奥普康真空科技有限公司 | 多位式坩埚定位方法及定位系统 |
-
2018
- 2018-11-24 CN CN201821944561.7U patent/CN209228951U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111780697A (zh) * | 2020-07-14 | 2020-10-16 | 惠州市奥普康真空科技有限公司 | 多位式坩埚定位方法及定位系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN209228951U (zh) | 一种真空腔室内的坩埚找位传动机构 | |
| CN206246628U (zh) | 一种球形空间槽轮机构 | |
| CN106767650B (zh) | 一种双余度齿轮传动角位移传感器的零位限位结构 | |
| CN104847871A (zh) | 一种谐波减速机用集成式交叉滚子轴承 | |
| CN206620045U (zh) | 电机变频器的安装结构 | |
| CN105230153A (zh) | 一种键槽与行星圆柱销偏角旋转传动机构 | |
| CN205617981U (zh) | 一种单电机双链条开窗器 | |
| CN207541404U (zh) | 一种曲面银幕的调节机构 | |
| CN204230547U (zh) | 一种vga数据线 | |
| CN202731417U (zh) | 单面连接式锁紧机构 | |
| CN206539676U (zh) | 基于凸轮轴的离心装置 | |
| CN205036190U (zh) | 一种窄体锁具 | |
| CN205484389U (zh) | 一种靠辊筒传动的测速传感器固定底座 | |
| CN204531794U (zh) | 一种拆卸方便的合页 | |
| CN204591036U (zh) | 新型一体化防攀爬窗 | |
| CN203456985U (zh) | 一种电机输出轴 | |
| CN207830473U (zh) | 一种可改变速比的输出轮组件 | |
| CN209265192U (zh) | 一种齿轮结构、齿轮传动系统及其齿轮箱 | |
| CN207049174U (zh) | 一种双级固定分体式导向轮轮轴 | |
| CN210777467U (zh) | 一种用于仿真孔雀电动开屏传动器 | |
| CN203978085U (zh) | 齿轮锁 | |
| CN208831681U (zh) | 一种水泥搅拌站专用行星减速机 | |
| CN204419831U (zh) | 带有内花键的空心阶梯轴 | |
| CN104775723B (zh) | 一体化防攀爬窗 | |
| CN207566598U (zh) | 一种绕线机压轮装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |