CN209119038U - 一种改进的法拉第杯结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及法拉第杯技术领域，尤其涉及一种改进的法拉第杯结构,解决现有技术中存在的不易更换的缺点，包括外杯体、内杯体和紧固件，外杯体的外侧一体设置有杯体外连接部，外杯体的内侧一体设置有杯体内连接部，杯体内连接部的一侧设置有固定底，内杯体设置在杯体内连接部的另一侧，固定底的一侧一体设置有安装环，且安装环穿过杯体内连接部，内杯体远离开口的一端一体设置有安装凸部，内杯体的内部设置有中间厚边缘薄的弧底，本实用新型将法拉第杯的一体式改进为可拆分式，使得法拉第杯可部分拆分进行更换，拆分安装方便，而且内杯体经受离子束侵袭最多的部位加厚，延长了更换周期。

Description

一种改进的法拉第杯结构

技术领域

本实用新型涉及法拉第杯技术领域，尤其涉及一种改进的法拉第杯结构。

背景技术

离子注入是一种用于在如半导体晶片等工件中注入能改变导电率的杂质的标准技术，离子注入机中，由离子源产生离子束并由萃取电极自离子源中萃取离子束，当离子束撞击工件时，离子束中的离子会穿透工件表面而停止在工件表面下方，从而于工件中形成具有所需导电率的区域，在离子注入机的运作中，需要测量注入于工件中的累加离子剂量，法拉第杯是一种金属制设计成杯状，用来测量带电粒子入射强度的一种真空侦测器，与质谱仪的其他部分保持一定电位差以便捕获离子，当离子经过一个或多个抑制栅极进入杯中时，将产生电流，经转换成电压后进行放大记录。

然而，目前的法拉第杯多由石墨制成，且为一体化结构，当法拉第杯受到离子束的侵蚀而受损时，必须将整个法拉第杯进行更换，更换繁琐且不易安装。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的不易更换的缺点，而提出的一种改进的法拉第杯结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种改进的法拉第杯结构，包括外杯体、内杯体和紧固件，所述外杯体的外侧一体设置有杯体外连接部，所述外杯体的内侧一体设置有杯体内连接部，所述杯体内连接部的一侧设置有固定底，所述内杯体设置在杯体内连接部的另一侧，所述固定底的一侧一体设置有安装环，且安装环穿过杯体内连接部，所述内杯体远离开口的一端一体设置有安装凸部，且安装凸部和安装环螺纹连接，所述内杯体的内部设置有中间厚边缘薄的弧底，所述杯体内连接部远离内杯体的一侧设置有胶圈，且胶圈的一侧设置有加固环，所述加固环、胶圈、固定底和杯体内连接部通过紧固件连接。

优选的，所述安装环的外壁和杯体内连接部的内壁相接触。

优选的，所述安装环的内部设置有内螺纹，所述安装凸部的外侧设置有外螺纹，且安装环上部的内螺纹和安装凸部上部的外螺纹相匹配。

优选的，所述内杯体的外壁和外杯体的内壁接触，且内杯体的侧壁呈渐薄型。

优选的，所述弧底的纵截面呈椭圆状结构，且弧底纵截面的长轴和短轴之比为3：1～5：3。

优选的，所述紧固件为螺丝和销钉中的一种。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型将法拉第杯的一体式改进为可拆分式，在石墨质的内杯体经离子束侵袭而受损时，可将内杯体拆下进行更换，拆分以及安装方便。

2、本实用新型将内杯体的底部设置有中间厚边缘薄的弧底，由于内杯体经受离子束侵袭最多的部位为杯底的中间位置，将杯底的中间部位加厚有利于延长法拉第杯的更换周期。

综上所述，对比于现有技术，本实用新型将法拉第杯的一体式改进为可拆分式，使得法拉第杯可部分拆分进行更换，拆分安装方便，而且内杯体经受离子束侵袭最多的部位加厚，延长了更换周期。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种改进的法拉第杯结构的主视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种改进的法拉第杯结构的内杯体侧视结构示意图。

图中：1外杯体、2杯体外连接部、3杯体内连接部、4固定底、5安装环、6内杯体、7安装凸部、8弧底、9胶圈、10加固环、11紧固件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、 “右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“ 顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、 “第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1-2，一种改进的法拉第杯结构，包括外杯体1、内杯体6和紧固件11，外杯体1的外侧一体设置有杯体外连接部2，外杯体1的内侧一体设置有杯体内连接部3，杯体内连接部3的一侧设置有固定底4，固定底4和内杯体6同为石墨材质，内杯体6设置在杯体内连接部3的另一侧，固定底4的一侧一体设置有安装环5，且安装环5穿过杯体内连接部3，内杯体6远离开口的一端一体设置有安装凸部7，且安装凸部7和安装环5螺纹连接，内杯体6的内部设置有中间厚边缘薄的弧底8，杯体内连接部3远离内杯体6的一侧设置有胶圈9，且胶圈9的一侧设置有加固环10，加固环10、胶圈9、固定底4和杯体内连接部3通过紧固件11连接。

其中，安装环5的外壁和杯体内连接部3的内壁相接触。

具体的，安装环5的内部设置有内螺纹，安装凸部7的外侧设置有外螺纹，且安装环5上部的内螺纹和安装凸部7上部的外螺纹相匹配。

其中，内杯体6的外壁和外杯体1的内壁接触，且内杯体6的侧壁呈渐薄型。

具体的，弧底8的纵截面呈椭圆状结构，且弧底8纵截面的长轴和短轴之比为3：1～5：3。

具体的，紧固件11为螺丝和销钉中的一种。

该法拉第杯在使用时，经受离子束侵袭的部位为内杯体6，内杯体6经受离子束侵袭最多的部位集中在弧底8部位，其他部位经受离子束侵袭较少，做成渐薄型可节约材料，弧底8受离子束侵袭会逐渐变薄，到达更换周期后，将内杯体6从固定底4上部旋下更换新的内杯体6。

如果内杯体6已经被击穿，固定底4也受到损坏，则将紧固件11卸下，将加固环10和胶圈9取出，更换新的与内杯体6配套的固定底4，再用紧固件11将加固环10、胶圈9、固定底4和杯体内连接部3连接，随后将新的内杯体6旋在固定底4上部即可。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种改进的法拉第杯结构，包括外杯体（1）、内杯体（6）和紧固件（11），其特征在于，所述外杯体（1）的外侧一体设置有杯体外连接部（2），所述外杯体（1）的内侧一体设置有杯体内连接部（3），所述杯体内连接部（3）的一侧设置有固定底（4），所述内杯体（6）设置在杯体内连接部（3）的另一侧，所述固定底（4）的一侧一体设置有安装环（5），且安装环（5）穿过杯体内连接部（3），所述内杯体（6）远离开口的一端一体设置有安装凸部（7），且安装凸部（7）和安装环（5）螺纹连接，所述内杯体（6）的内部设置有中间厚边缘薄的弧底（8），所述杯体内连接部（3）远离内杯体（6）的一侧设置有胶圈（9），且胶圈（9）的一侧设置有加固环（10），所述加固环（10）、胶圈（9）、固定底（4）和杯体内连接部（3）通过紧固件（11）连接。

2.根据权利要求1所述的一种改进的法拉第杯结构，其特征在于，所述安装环（5）的外壁和杯体内连接部（3）的内壁相接触。

3.根据权利要求1所述的一种改进的法拉第杯结构，其特征在于，所述安装环（5）的内部设置有内螺纹，所述安装凸部（7）的外侧设置有外螺纹，且安装环（5）上部的内螺纹和安装凸部（7）上部的外螺纹相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种改进的法拉第杯结构，其特征在于，所述内杯体（6）的外壁和外杯体（1）的内壁接触，且内杯体（6）的侧壁呈渐薄型。

5.根据权利要求1所述的一种改进的法拉第杯结构，其特征在于，所述弧底（8）的纵截面呈椭圆状结构，且弧底（8）纵截面的长轴和短轴之比为3：1～5：3。

6.根据权利要求1所述的一种改进的法拉第杯结构，其特征在于，所述紧固件（11）为螺丝和销钉中的一种。