CN209115386U - 一种冷凝泵用机封装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种冷凝泵用机封装置，包括装置本体和静环座，所述装置本体一侧设置有轴杆，且轴杆一侧表面环绕安装有补偿弹簧。本实用新型中，该装置在轴杆表面安装有动环座和静环座，其中静环座一端环绕开设有通孔，通孔与动环座侧壁设有的螺栓孔相对应，能够将动环座和静环座进行组装固定，采用螺栓对动环座和静环座进行连接的方式，具有安装快和维护方便的优点，避免了传统机封结构拆卸繁琐，以及维护不便的缺点，提高了装置的实用性，同时，动环座内部设置有的动环密封圈和第一轴承与静环座内部设置有静环、静环密封圈和密封套环配合使用，能够防止泵体内部流体外泄的风险，便于使用。

Description

一种冷凝泵用机封装置

技术领域

本实用新型涉及机械密封技术领域，尤其涉及一种冷凝泵用机封装置。

背景技术

冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。冷凝泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势，被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域，如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。

现有冷凝泵内设有的机封装置一般不便于安装和拆卸，当机封装置停止运作后，会造成不可估量的后果，当机封装置为整体式结构时，内部构件不便于组装，造成安装效率低下，同时，冷凝泵的机封装置运作过程中会产生热量，会影响机封装置的正常运作，给冷凝泵的使用造成不便。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种冷凝泵用机封装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种冷凝泵用机封装置，包括装置本体和静环座，所述装置本体一侧设置有轴杆，且轴杆一侧表面环绕安装有补偿弹簧，所述补偿弹簧一侧位于轴杆表面通过第一轴承套接有动环座，且动环座一端套接有压盖密封圈，所述动环座内部位于第一轴承一侧环套有动环密封圈，且动环密封圈一侧通过螺栓安装有静环座，所述静环座内部安装有静环，且静环一侧表面环套有静环密封圈，所述静环密封圈一侧位于轴杆表面环套有密封套环。

优选的，所述动环座内部位于第一轴承上方设置有环状结构的冷却腔，且冷却腔连通动环座表面开设的注油口，所述注油口内安装有阀门。

优选的，所述静环座内侧通过第二轴承与轴杆套接在一起。

优选的，所述轴杆内部一端开设有轴套腔，且轴套腔一侧设置有轴套密封圈。

优选的，所述静环座一端环绕开设有多个通孔，且多个通孔动环座一端表面位置开设有的螺纹孔相对应。

优选的，所述静环为两个圆筒拼接式结构，且其中一个圆筒的宽度大于另个一个圆筒的宽度，并且两个圆筒内部贯穿孔直径相同。

优选的，所述动环座和静环座与轴杆套接位置间隔有密封腔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型中，该装置在轴杆表面安装有动环座和静环座，其中静环座一端环绕开设有通孔，通孔与动环座侧壁设有的螺栓孔相对应，能够将动环座和静环座进行组装固定，采用螺栓对动环座和静环座进行连接的方式，具有安装快和维护方便的优点，避免了传统机封结构拆卸繁琐，以及维护不便的缺点，提高了装置的实用性，同时，动环座内部设置有的动环密封圈和第一轴承与静环座内部设置有静环、静环密封圈和密封套环配合使用，能够防止泵体内部流体外泄的风险，便于使用。

2、本实用新型中，该装置动环座内部开设有环状结构的冷却腔，且冷却腔连通动环座外侧设有的注油口，方便注入冷却油，且注油口安装有阀门能够保障冷却腔的密封性，通过热交换的方式可以去除装置动静环座内由于摩擦产生的热量，结构简易，冷却效果好，避免了传统机封装置外接冷却机构造成成本高的弊端。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种冷凝泵用机封装置的外部结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种冷凝泵用机封装置的剖视图；

图3为本实用新型提出的一种冷凝泵用机封装置的静环座结构示意图。

图例说明：

1-装置本体、2-轴杆、3-补偿弹簧、4-动环座、5-注油口、6-静环座、7-轴套腔、8-轴套密封圈、9-压盖密封圈、10-冷却腔、11-静环、12-第一轴承、13-动环密封圈、14-第二轴承、15-静环密封圈、16-密封套环、17-通孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参照图1-3，一种冷凝泵用机封装置，包括装置本体1和静环座6，装置本体1一侧设置有轴杆2，且轴杆2一侧表面环绕安装有补偿弹簧3，补偿弹簧3一侧位于轴杆2表面通过第一轴承12套接有动环座4，且动环座4一端套接有压盖密封圈9，动环座4内部位于第一轴承12一侧环套有动环密封圈13，且动环密封圈13一侧通过螺栓安装有静环座6，静环座6内部安装有静环11，且静环11一侧表面环套有静环密封圈15，静环密封圈15一侧位于轴杆表面环套有密封套环16。

动环座4内部位于第一轴承12上方设置有环状结构的冷却腔10，且冷却腔10连通动环座4表面开设的注油口5，注油口5内安装有阀门，方便散热，防止热胀冷缩造成的密封性差的缺点，静环座6内侧通过第二轴承14与轴杆2套接在一起，轴杆2内部一端开设有轴套腔7，且轴套腔7一侧设置有轴套密封圈8，便于和电机驱动轴对接，静环座6一端环绕开设有多个通孔17，且多个通孔17动环座4一端表面位置开设有的螺纹孔相对应，方便安装或拆卸，静环11为两个圆筒拼接式结构，且其中一个圆筒的宽度大于另个一个圆筒的宽度，并且两个圆筒内部贯穿孔直径相同，动环座4和静环座6与轴杆2套接位置间隔有密封腔，能够保障动环座4正常运作，静环座6一端设置有摩擦副，动环座4和静环座6连接处设有密封橡胶圈。

工作原理：使用时，该装置在轴杆2表面安装有动环座4和静环座6，其中静环座6一端环绕开设有通孔17，通孔17与动环座4侧壁设有的螺栓孔相对应，能够将动环座4和静环座6进行组装固定，采用螺栓对动环座4和静环座6进行连接的方式，具有安装快和维护方便的优点，避免了传统机封结构拆卸繁琐，以及维护不便的缺点，提高了装置的实用性，同时，动环座4内部设置有的动环密封圈13和第一轴承12与静环座6内部设置有静环11、静环密封圈15和密封套环16配合使用，能够防止泵体内部流体外泄的风险，便于使用，当需要冷却时，该装置动环座4内部开设有环状结构的冷却腔10，且冷却腔10连通动环座4外侧设有的注油口5，方便注入冷却油，且注油口5安装有阀门能够保障冷却腔10的密封性，通过热交换的方式可以去除装置动静环座内由于摩擦产生的热量，结构简易，冷却效果好，避免了传统机封装置外接冷却机构造成成本高的弊端。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种冷凝泵用机封装置，包括装置本体(1)和静环座(6)，其特征在于，所述装置本体(1)一侧设置有轴杆(2)，且轴杆(2)一侧表面环绕安装有补偿弹簧(3)，所述补偿弹簧(3)一侧位于轴杆(2)表面通过第一轴承(12)套接有动环座(4)，且动环座(4)一端套接有压盖密封圈(9)，所述动环座(4)内部位于第一轴承(12)一侧环套有动环密封圈(13)，且动环密封圈(13)一侧通过螺栓安装有静环座(6)，所述静环座(6)内部安装有静环(11)，且静环(11)一侧表面环套有静环密封圈(15)，所述静环密封圈(15)一侧位于轴杆表面环套有密封套环(16)。

2.根据权利要求1所述的一种冷凝泵用机封装置，其特征在于，所述动环座(4)内部位于第一轴承(12)上方设置有环状结构的冷却腔(10)，且冷却腔(10)连通动环座(4)表面开设的注油口(5)，所述注油口(5)内安装有阀门。

3.根据权利要求1所述的一种冷凝泵用机封装置，其特征在于，所述静环座(6)内侧通过第二轴承(14)与轴杆(2)套接在一起。

4.根据权利要求1所述的一种冷凝泵用机封装置，其特征在于，所述轴杆(2)内部一端开设有轴套腔(7)，且轴套腔(7)一侧设置有轴套密封圈(8)。

5.根据权利要求1所述的一种冷凝泵用机封装置，其特征在于，所述静环座(6)一端环绕开设有多个通孔(17)，且多个通孔(17)动环座(4)一端表面位置开设有的螺纹孔相对应。

6.根据权利要求1所述的一种冷凝泵用机封装置，其特征在于，所述静环(11)为两个圆筒拼接式结构，且其中一个圆筒的直径宽度大于另个一个圆筒的直径宽度，并且两个圆筒内部贯穿孔直径相同。

7.根据权利要求1所述的一种冷凝泵用机封装置，其特征在于，所述动环座(4)和静环座(6)与轴杆(2)套接位置间隔有密封腔。