CN209102622U - 一种半导体晶圆目检灯 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体检测技术领域，且公开了一种半导体晶圆目检灯，包括底板，所述底板的一侧固定安装有合页，且合页的顶端固定安装有顶盖，所述顶盖顶端的一侧固定安装有握把，且顶盖顶端的一侧固定安装有母锁扣，所述母锁扣位于握把的一侧，所述底板的另一侧固定安装有子锁扣，且底板顶端的一侧固定安装有供电装置，所述供电装置顶部的两侧均固定安装有扣合装置。该半导体晶圆目检灯，通过底板的一侧采用合页与顶盖连接，且供电装置、承载板均位于底板的顶端，使半导体晶圆目检灯的整体性更强，当底板与顶盖扣合时母锁扣和子锁扣可将两者锁死，顶盖顶端的握把可供人手提，有效提高了半导体晶圆目检灯携带的便利性。

Description

一种半导体晶圆目检灯

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体为一种半导体晶圆目检灯。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片，单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯和蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后就成为了晶圆。

晶圆检测是半导体生产的重要工序，半导体晶圆目检灯是晶圆检测的必要检测装置，现有的半导体晶圆目检灯各部件太过于分散不便于携带，且现有的半导体晶圆目检灯的角度调节精度较低，对晶圆进行检测时容易出现漏检，影响了半导体晶圆目检灯的检测效果。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体晶圆目检灯，具备整体性更强便于携带和角度调节精度高等优点，解决了现有半导体晶圆目检灯各部件太过于分散不便于携带和角度调节精度较低的问题。

为实现上述整体性更强便于携带和角度调节精度高的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆目检灯，包括底板，所述底板的一侧固定安装有合页，且合页的顶端固定安装有顶盖，所述顶盖顶端的一侧固定安装有握把，且顶盖顶端的一侧固定安装有母锁扣，所述母锁扣位于握把的一侧，所述底板的另一侧固定安装有子锁扣，且底板顶端的一侧固定安装有供电装置，所述供电装置顶部的两侧均固定安装有扣合装置，且底板顶端的一侧固定安装有升降装置，所述升降装置位于供电装置的一侧，且升降装置顶部的外侧活动套装有固定块，所述固定块一侧的中部活动套装有旋转块，且旋转块一侧的内部卡接有卡块，所述卡块一侧的内部活动套装有检测灯，所述底板顶端的另一侧固定安装有承载板，所述承载板位于升降装置的一侧。

优选的，所述供电装置包括固定壳，且固定壳固定安装在底板顶端的一侧，所述固定壳内腔底端的正面和背面均固定安装有卡片，且固定壳正面和背面的中部均固定套装有风扇，所述固定壳的顶部活动套装有固定盖，且固定盖底端的中部固定安装有蓄电池，所述固定盖顶端的中部固定安装有提手。

优选的，所述扣合装置包括套管，且套管固定安装在供电装置顶部的一侧，所述套管一侧的内部活动套装有扭簧，所述扭簧的内侧活动套装有转轴，且转轴的背面固定安装有卡杆，所述套管一侧的内侧与转轴的外侧通过扭簧传动连接。

优选的，所述升降装置包括收纳管，且收纳管固定安装在底板顶端的一侧，所述收纳管内腔底端的中部固定安装有稳定杆，且稳定杆底部的外侧活动套装有弹簧，所述稳定杆顶部的外侧活动套装有升降杆，且升降杆的底端与收纳管内腔的底端通过弹簧传动连接，所述收纳管顶部的外侧活动套装有调节环，且调节环顶端的中部与升降杆顶部的外侧螺纹套接。

优选的，所述底板和顶盖相互垂直，且底板和顶盖的材质均为铝合金，所述底板的高度值小于顶盖的高度值。

优选的，所述供电装置、升降装置和承载板位于同一平面内，且供电装置、升降装置和承载板的高度值均小于顶盖内腔的高度值。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体晶圆目检灯，具备以下有益效果：

1、该半导体晶圆目检灯，通过底板的一侧采用合页与顶盖连接，且供电装置、承载板均位于底板的顶端，使半导体晶圆目检灯的整体性更强，当底板与顶盖扣合时母锁扣和子锁扣可将两者锁死，顶盖顶端的握把可供人手提，有效提高了半导体晶圆目检灯携带的便利性。

2、该半导体晶圆目检灯，通过升降装置可对检测灯的照射高度进行调节，且旋转块可进行转角调节，使检测灯的照射角度可进行调节，卡块可对检测灯进行固定，使检测灯的拆装更便利，有效提高了半导体晶圆目检灯的照射精度和照射范围。

附图说明

图1为本实用新型主视图；

图2为本实用新型供电装置的放大图；

图3为本实用新型扣合装置的放大图；

图4为本实用新型升降装置的剖视放大图。

图中：1、底板；2、合页；3、顶盖；4、握把；5、母锁扣；6、子锁扣；7、供电装置；71、固定壳；72、卡片；73、风扇；74、固定盖；75、蓄电池；76、提手；8、扣合装置；81、套管；82、扭簧；83、转轴；84、卡杆；9、升降装置；91、收纳管；92、稳定杆；93、弹簧；94、升降杆；95、调节环；10、固定块；11、旋转块；12、卡块；13、检测灯；14、承载板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，一种半导体晶圆目检灯，包括底板1，底板1的一侧固定安装有合页2，且合页2的顶端固定安装有顶盖3，底板1和顶盖3相互垂直，且底板1和顶盖3的材质均为铝合金，底板1的高度值小于顶盖3的高度值，底板1和顶盖3均采用铝合金材质，使半导体晶圆目检灯的整体质量更轻，顶盖3顶端的一侧固定安装有握把4，且顶盖3顶端的一侧固定安装有母锁扣5，母锁扣5位于握把4的一侧，底板1的另一侧固定安装有子锁扣6，且底板1顶端的一侧固定安装有供电装置7，供电装置7包括固定壳71，且固定壳71固定安装在底板1顶端的一侧，固定壳71内腔底端的正面和背面均固定安装有卡片72，且固定壳71正面和背面的中部均固定套装有风扇73，固定壳71的顶部活动套装有固定盖74，且固定盖74底端的中部固定安装有蓄电池75，固定盖74顶端的中部固定安装有提手76，供电装置7可对检测灯13进行供电，且供电装置7自身具有散热能力，有效提高了供电装置7的安全性，供电装置7顶部的两侧均固定安装有扣合装置8，扣合装置8包括套管81，且套管81固定安装在供电装置7顶部的一侧，套管81一侧的内部活动套装有扭簧82，扭簧82的内侧活动套装有转轴83，且转轴83的背面固定安装有卡杆84，套管81一侧的内侧与转轴83的外侧通过扭簧82传动连接，提手8共有两个，两个提手8可将固定壳71和固定盖74扣紧，有效提高了供电装置7连接的紧密性，且底板1顶端的一侧固定安装有升降装置9，升降装置9包括收纳管91，且收纳管91固定安装在底板1顶端的一侧，收纳管91内腔底端的中部固定安装有稳定杆92，且稳定杆92底部的外侧活动套装有弹簧93，稳定杆92顶部的外侧活动套装有升降杆94，且升降杆94的底端与收纳管91内腔的底端通过弹簧93传动连接，收纳管91顶部的外侧活动套装有调节环95，且调节环95顶端的中部与升降杆94顶部的外侧螺纹套接，升降装置9可对检测灯13的照射高度进行调节，且稳定杆92和弹簧93均可提高升降杆94的稳定性，有效提高了半导体晶圆目检灯的可控性，升降装置9位于供电装置7的一侧，且升降装置9顶部的外侧活动套装有固定块10，固定块10一侧的中部活动套装有旋转块11，且旋转块11一侧的内部卡接有卡块12，卡块12一侧的内部活动套装有检测灯13，底板1顶端的另一侧固定安装有承载板14，供电装置7、升降装置9和承载板14位于同一平面内，且供电装置7、升降装置9和承载板14的高度值均小于顶盖3内腔的高度值，承载板14的材质为玻璃，使半导体晶圆目检灯在检测晶圆时的透光性更好，承载板14位于升降装置9的一侧。

工作时，首先将母锁扣5和子锁扣6解锁，然后将顶盖3打开，调节升降装置9通过固定块10将旋转块11和卡块12升起，然后松开卡块12的一侧将检测灯13放入卡块12的内部并紧固卡块12的一侧，将晶圆放置在承载板14的顶部，然后用导线将供电装置7与检测灯13相连，将检测灯13打开然后通过固定块10、旋转块11和卡块12调节至相应的角度，即可。

综上所述，该半导体晶圆目检灯，通过底板1的一侧采用合页2与顶盖3连接，且供电装置7、承载板14均位于底板1的顶端，使半导体晶圆目检灯的整体性更强，当底板1与顶盖3扣合时母锁扣5和子锁扣6可将两者锁死，顶盖3顶端的握把4可供人手提，有效提高了半导体晶圆目检灯携带的便利性；通过升降装置9可对检测灯13的照射高度进行调节，且旋转块11可进行转角调节，使检测灯13的照射角度可进行调节，卡块12可对检测灯13进行固定，使检测灯13的拆装更便利，有效提高了半导体晶圆目检灯的照射精度和照射范围；解决了现有半导体晶圆目检灯各部件太过于分散不便于携带和角度调节精度较低的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体晶圆目检灯，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的一侧固定安装有合页（2），且合页（2）的顶端固定安装有顶盖（3），所述顶盖（3）顶端的一侧固定安装有握把（4），且顶盖（3）顶端的一侧固定安装有母锁扣（5），所述母锁扣（5）位于握把（4）的一侧，所述底板（1）的另一侧固定安装有子锁扣（6），且底板（1）顶端的一侧固定安装有供电装置（7），所述供电装置（7）顶部的两侧均固定安装有扣合装置（8），且底板（1）顶端的一侧固定安装有升降装置（9），所述升降装置（9）位于供电装置（7）的一侧，且升降装置（9）顶部的外侧活动套装有固定块（10），所述固定块（10）一侧的中部活动套装有旋转块（11），且旋转块（11）一侧的内部卡接有卡块（12），所述卡块（12）一侧的内部活动套装有检测灯（13），所述底板（1）顶端的另一侧固定安装有承载板（14），所述承载板（14）位于升降装置（9）的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆目检灯，其特征在于：所述供电装置（7）包括固定壳（71），且固定壳（71）固定安装在底板（1）顶端的一侧，所述固定壳（71）内腔底端的正面和背面均固定安装有卡片（72），且固定壳（71）正面和背面的中部均固定套装有风扇（73），所述固定壳（71）的顶部活动套装有固定盖（74），且固定盖（74）底端的中部固定安装有蓄电池（75），所述固定盖（74）顶端的中部固定安装有提手（76）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆目检灯，其特征在于：所述扣合装置（8）包括套管（81），且套管（81）固定安装在供电装置（7）顶部的一侧，所述套管（81）一侧的内部活动套装有扭簧（82），所述扭簧（82）的内侧活动套装有转轴（83），且转轴（83）的背面固定安装有卡杆（84），所述套管（81）一侧的内侧与转轴（83）的外侧通过扭簧（82）传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆目检灯，其特征在于：所述升降装置（9）包括收纳管（91），且收纳管（91）固定安装在底板（1）顶端的一侧，所述收纳管（91）内腔底端的中部固定安装有稳定杆（92），且稳定杆（92）底部的外侧活动套装有弹簧（93），所述稳定杆（92）顶部的外侧活动套装有升降杆（94），且升降杆（94）的底端与收纳管（91）内腔的底端通过弹簧（93）传动连接，所述收纳管（91）顶部的外侧活动套装有调节环（95），且调节环（95）顶端的中部与升降杆（94）顶部的外侧螺纹套接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆目检灯，其特征在于：所述底板（1）和顶盖（3）相互垂直，且底板（1）和顶盖（3）的材质均为铝合金，所述底板（1）的高度值小于顶盖（3）的高度值。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆目检灯，其特征在于：所述供电装置（7）、升降装置（9）和承载板（14）位于同一平面内，且供电装置（7）、升降装置（9）和承载板（14）的高度值均小于顶盖（3）内腔的高度值。