CN204546361U - 晶体定向仪c端面测量夹具 - Google Patents
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Abstract
晶体定向仪C端面测量夹具，包括底座、支撑筒体、内夹具体和上盖；支撑筒体固定设置在底座上，内夹具体设置在底座的上方，内夹具体上有固定盘，固定盘上设置有凸台，凸台外侧设置有固定盘外隔挡片，凸台上开设有滑道孔，固定盘通过夹具体固定螺栓与内夹具体固定连接，调整销分别穿过支撑筒体和固定盘外隔挡片上的销孔，抵顶在内夹具体上，调整螺栓分别穿过支撑筒体的侧壁上开设的螺栓孔，抵顶在内夹具体的下部，上盖通过多个上盖固定螺栓固定设置在支撑筒体的上端面上。本实用新型具有结构简单、使用方便、C端面测量精度高。
Description
技术领域
本实用新型属于晶体定向仪领域，特别涉及晶体定向仪C端面测量夹具。
背景技术
生长出来的各种直径蓝宝石单晶晶棒在加工成晶片前，需要先精确地保证蓝宝石单晶晶棒材料的端面与晶体C向重合、再磨削加工参考边，最后通过切割加工成蓝宝石单晶晶片。蓝宝石单晶晶棒在磨削加工参考边前，要有与晶体定向仪相配套的C端面测量夹具，用来保证晶棒的圆柱体端面与蓝宝石晶体C向的精确重合。传统的晶体定向仪在进行蓝宝石晶棒圆柱体端面定向测量时，没有配备合适的C端面专用夹具，无法保证圆柱体端面与蓝宝石晶体C向的精确重合，导致加工的蓝宝石单晶晶片成品率低下，满足不了蓝宝石单晶晶片生产的需要。
实用新型内容
本实用新型的目的是，提供晶体定向仪C端面测量夹具，这种夹具结构简单、使用方便、C端面测量精度高。
采用的技术方案是：
晶体定向仪C端面测量夹具，包括底座、支撑筒体、内夹具体和上盖；
支撑筒体通过多个底座固定螺栓固定设置在底座的上端面上，内夹具体竖直设置在底座的中间位置的上方，内夹具体的上端口处设置有固定盘，固定盘上设置有凸台，凸台外侧设置有固定盘外隔挡片，固定盘、凸台与固定盘外隔挡片为一次成型的整体结构，凸台上开设有多个滑道孔，滑道孔内旋设有夹具体固定螺栓，固定盘通过夹具体固定螺栓与内夹具体固定连接，支撑筒体的设定位置上开设有两个销孔，固定盘外隔挡片的对应位置上分别开设有销孔，调整销分别穿过支撑筒体和固定盘外隔挡片上的销孔，抵顶在内夹具体上，调整螺栓分别穿过支撑筒体的侧壁上开设的螺栓孔，抵顶在内夹具体的下部，上盖通过多个上盖固定螺栓固定设置在支撑筒体的上端面上。
晶体定向仪C端面测量夹具，是晶体定向仪在蓝宝石晶棒圆柱体端面进行C向测量时所采用的夹具，晶体定向仪C端面测量夹具进行蓝宝石晶体C端面定向测量时安装在测角仪1上的工作台2上，X射线发生器3产生的X光线6经蓝宝石晶棒4端面反射，被金属管7接收，通过调整螺栓和调整销对蓝宝石晶棒4的位置进行微调，微安表17显示金属管7接收X光为设定标准值时，即为找出的蓝宝石晶棒圆柱体端面是蓝宝石晶体的C向。将夹具体固定螺栓锁紧后，蓝宝石晶棒随C端面测量夹具一起到磨床进行磨削加工，加工后的晶棒圆柱体端面即为蓝宝石晶体C向。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的俯视结构示意图。
图3是本实用新型使用状态示意图。
本实用新型的优点在于：
1、结构简单、使用方便、对操作人员进行简单培训即可操作。
2、提供一种能够四方位微调机构及四点锁紧方式C端面测量夹具，保证蓝宝石晶棒圆柱体端面与蓝宝石晶体C向的精确重合，有效的提高了被测蓝宝石晶棒圆柱体C端面的测量精度，满足蓝宝石单晶晶片生产的需要。
3、可配合不同规格、型式的晶体定向仪使用。
具体实施方式
晶体定向仪C端面测量夹具，包括底座12、支撑筒体5、内夹具体10和上盖15；
支撑筒体5通过四个底座固定螺栓11固定设置在底座12的上端面上，内夹具体10竖直设置在底座12的中间位置的上方，内夹具体10的上端口处设置有固定盘8，固定盘8上设置有凸台16，凸台外侧设置有固定盘外隔挡片19，固定盘8、凸台16与固定盘外隔挡片19为一次成型的整体结构，凸台16上开设有八个滑道孔18，滑道孔18内旋设有夹具体固定螺栓13，固定盘8通过夹具体固定螺栓13与内夹具体10固定连接，支撑筒体5的设定位置上开设有两个销孔，固定盘外隔挡片19的对应位置上分别开设有销孔，调整销20分别穿过支撑筒体5和固定盘外隔挡片19上的销孔，抵顶在内夹具体10上，调整螺栓14分别穿过支撑筒体5的侧壁上开设的螺栓孔抵顶在内夹具体10的下部，上盖15通过四个上盖固定螺栓9固定设置在支撑筒体的上端面上。
Claims (1)
1.晶体定向仪C端面测量夹具，包括底座（12）、支撑筒体（5）、内夹具体（10）和上盖（15），其特征在于：
支撑筒体（5）通过多个底座固定螺栓（11）固定设置在底座（12）的上端面上，内夹具体（10）竖直设置在底座（12）的中间位置的上方，内夹具体（10）的上端口处设置有固定盘（8），固定盘（8）上设置有凸台（16），凸台外侧设置有固定盘外隔挡片（19），固定盘（8）、凸台（16）与固定盘外隔挡片（19）为一次成型的整体结构，凸台（16）上开设有多个滑道孔（18），滑道孔（18）内旋设有夹具体固定螺栓（13），固定盘（8）通过夹具体固定螺栓（13）与内夹具体（10）固定连接，支撑筒体（5）的设定位置上开设有两个销孔，固定盘外隔挡片（19）的对应位置上分别开设有销孔，调整销（20）分别穿过支撑筒体（5）和固定盘外隔挡片（19）上的销孔，抵顶在内夹具体（10）上，调整螺栓（14）分别穿过支撑筒体（5）的侧壁上开设的螺栓孔抵顶在内夹具体（10）的下部，上盖（15）通过多个上盖固定螺栓（9）固定设置在支撑筒体的上端面上。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106841255A (zh) * | 2017-03-27 | 2017-06-13 | 同济大学 | 一种用于晶体测定的可调夹持工具 |
| CN107020706A (zh) * | 2017-04-27 | 2017-08-08 | 桂林电子科技大学 | 一种小尺寸单晶定向夹具 |
| CN107900813A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-13 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 一种蓝宝石晶棒端面修正工装 |
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2015
- 2015-04-17 CN CN201520233110.2U patent/CN204546361U/zh not_active Expired - Fee Related
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