CN209102014U - 用于测量物体变形的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提一种用于测量物体变形的装置，它包括：设置有用于测量距离的刻度的基臂；设置在所述基臂上并且能够发射可见光束的光源；设置在所述光源前侧的光调节器，所述光调节器能够调节所述光源发射的可见光束的大小和/或强度；以及安装在所述基臂上并且能够相对于所述基臂移动的移动臂,所述移动臂具有相对于所述基臂垂直地延伸以便能够与所述基臂上的刻度对齐的至少一个平坦面。根据本实用新型的用于测量物体变形的装置使得测量物体是否变形变得简单易行，与物体相关的设备也无需中断作业，确保与物体相关的设备具有较高的作业效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及判断物体是否变形，尤其涉及一种用于测量物体变形的装置。
背景技术
在实践中经常需要确定物体是否变形。例如，在半导体工业中，需要使用芯片测试单元对芯片进行测试，芯片测试单元的测试头由测试头支撑导轨支撑。如果支撑导轨发生变形，测试头末端的连接接头有可能在测试头安装过程中与测试头支撑导轨的端部发生碰撞，导致价格昂贵的测试头受到损坏。为了减少或避免由于测试头的损坏导致的损失，需要经常对芯片测试单元的测试头支撑导轨是否变形进行测量。
现有的用于测量物体变形的方法通常是在芯片测试单元停机的情况下，利用尺子来测量芯片测试单元上的基准面与支撑导轨之间的距离，将测量的距离与设计距离进行比较来判断支撑导轨是否变形。这种测试过程需要芯片测试单元停机相当长的时间，芯片测试作业被迫暂时中断，导致生产效率下降。
因此，需要对现有的用于测量物体变形的装置进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的就是要提出一种改进的用于测量物体变形的装置，这种用于测量物体变形的装置可以在保持与物体相关的设备正常作业的情况下测量物体是否变形，从而使得测量物体是否变形变得简单易行，与物体相关的设备也无需中断作业，确保较高的作业效率。
根据本实用新型，提供一种用于测量物体变形的装置，包括：
设置有用于测量距离的刻度的基臂；
设置在所述基臂上并且能够发射可见光束的光源；
设置在所述光源前侧的光调节器，所述光调节器能够调节所述光源发射的可见光束的大小和/或强度；以及
安装在所述基臂上并且能够相对于所述基臂移动的移动臂,所述移动臂具有相对于所述基臂垂直地延伸以便能够与所述基臂上的刻度对齐的至少一个平坦面。
优选地，在所述基臂中设置有定心轴承，所述光源和/或所述光调节器被安装在定心轴承的内圈上。
优选地，所述光源是激光发射器。
优选地，在所述光调节器的前方设置用于汇聚光束的汇聚透镜。
优选地，与所述光源的中心相对应的位置被设置为零刻度位置。
优选地，所述光调节器还被设置成能够将所述光源发射的可见光束调节成与所述基臂垂直的准直光束。
优选地，所述至少一个平坦面包括相互平行并且相反地形成在所述移动臂上的两个平坦面。
优选地，所述移动臂上还设置有吸附装置。
优选地，所述吸附装置是设置在所述移动臂中的磁铁。
优选地，所述用于测量物体变形的装置还包括将所述移动臂锁定在所述基臂上的锁定机构。
优选地，所述物体是芯片测试单元的测试头支撑导轨。
根据本实用新型的用于测量物体变形的装置可以在与被测量物体相关的设备不停机的情况下对被测量物体进行测量并且确定是否变形。只有当确定被测量物体已经发生变形的情况下才将与被测量物体相关的设备停机，以便对被测量物体进行维护或维修。因此，根据本实用新型的用于测量物体变形的装置使得测量物体是否变形变得简单易行，与物体相关的设备也无需中断作业，确保与物体相关的设备具有较高的作业效率。
附图说明
图1是根据本实用新型的用于测量物体变形的装置的示意侧视图；
图2是显示利用图1所示用于测量物体变形的装置测量物体是否变形的示意图。
具体实施方式
下面结合示例详细描述本实用新型的各优选实施例。本领域技术人员应理解的是，这些实施例是示例性的，它并不意味着对本实用新型形成任何限制。
图1是根据本实用新型的用于测量物体变形的装置的示意侧视图。如图1所示，根据本实用新型的用于测量物体变形的装置1包括基臂3，在基臂3上设置有能够发射可见光束L的光源5，在光源5的前侧设置有光调节器7，光调节器7能够调节光源5所发射的光束的大小和/或强度。在光源5是除激光发射器之外的普通光源的情况下或者即使光源5是激光发射器但为了提高测量精度，光调节器7还被设置成能够将光源5发射的光束调节成与基臂3大体上垂直的准直光束。在优选实施例中，光源5是激光发射器。为了使光源5和/或光调节器7在基臂3上更好地定位，可以在基臂3中设置定心轴承8，光源5和/或光调节器7被安装在定心轴承8的内圈上。更优选地，为了使光源5所发射的光束能够汇聚成更细的光束，以便投射到被测物体上时形成小的光斑，从而提高测量精度，可以在光调节器7的前方设置用于汇聚光束的汇聚透镜9。基臂3上具有用于测量距离的刻度。优选地，将与光源5的中心相对应的位置设置为零刻度位置。刻度在基臂3可以朝着光源5的一侧或者两侧延伸。
根据本实用新型的用于测量物体变形的装置1还包括安装在基臂3上并且可以相对于基臂3移动的移动臂11,移动臂11具有相对于基臂3垂直地延伸以便与基臂3上的刻度对齐的至少一个平坦面，从而用来确定该平坦面相对于光源中心的垂直距离。优选地，该至少一个平坦面包括相互平行并且相反地形成在移动臂11上的两个平坦面11a和11b。此外，移动臂11上还可以设置有吸附装置13，吸附装置13可以确保移动臂11上的平坦面紧贴并且可靠地保持在基准面上。优选地，吸附装置13为设置在移动臂11中的磁铁，磁铁可以使移动臂11可靠地吸附在基准面上。
图2是显示利用图1所示用于测量物体变形的装置测量物体是否变形的示意图，以下结合图2来描述根据本实用新型用于测量物体变形的装置的操作。图2中以简化示意图显示了芯片测试单元20，芯片测试单元20包括壳体21，壳体21上通常设置有可透光的玻璃窗门或窗23。需要被测量是否变形的被测量物体25(例如，测试头支撑导轨)被设置在壳体21中，壳体的外部(例如壳体的顶部)设置有基准面27,从基准面27到被测量物体25的设计距离是已知的，假定该距离是从基准面27到被测量物体25的底表面的距离。
为了测量被测量物体25是否变形，首先移动设置在基臂3上的移动臂11，借助于基臂3上的刻度使得移动臂11将与基准面27贴靠的平坦面11a到光源5的中心的距离等于从基准面27到被测量物体25的设计距离。为了使移动臂11可靠地保持在所需的位置，还可以设置将移动臂11锁定在基臂3上的选定位置的锁定机构(未示出)。接着，将移动臂11贴靠在壳体21上的基准面27上，移动臂11上的吸附装置13可以使移动臂11可靠地保持在基准面27上。随后，打开光源5的开关(未示出)，光源5发射的光束L经过光调节器7(以及汇聚透镜9，如果存在汇聚透镜9的话)透过壳体21上的玻璃窗门或窗23向着被测量物体25投射。如果光源5发射的光束所形成的光斑大体上位于被测量物体25的底表面的边缘上，则可以判断被测量物体25没有发生变形。如果光源5发射的光束所形成的光斑向上或者向下偏离了被测量物体25的底表面的边缘，则可以判断被测量物体25已经发生了变形。光斑向上或者向下偏离被测量物体25的底表面的边缘的距离越大，被测量物体25的变形程度越厉害。
由以上描述可知，根据本实用新型的用于测量物体变形的装置可以在与被测量物体相关的设备不停机的情况下对被测量物体进行测量并且确定是否变形。只有当确定被测量物体已经发生变形的情况下才将与被测量物体相关的设备停机，以便对被测量物体进行维护或维修。因此，根据本实用新型的用于测量物体变形的装置使得测量物体是否变形变得简单易行，与物体相关的设备也无需中断作业，确保与物体相关的设备具有较高的作业效率。
以上结合具体实施例对本实用新型进行了详细描述。显然，以上描述以及在附图中示出的实施例均应被理解为是示例性的，而不构成对本实用新型的限制。例如，尽管在优选实施例中以芯片测试单元的测试头支撑导轨作为被测量物体对本实用新型进行了描述，但应理解的是，本实用新型可用于其它任何类似的需要测量是否变形的物体。对于本领域技术人员而言，可以在不脱离本实用新型的精神的情况下对其进行各种变型或修改，这些变型或修改均不脱离本实用新型的范围。
Claims (11)
1.一种用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述用于测量物体变形的装置(1)包括：
设置有用于测量距离的刻度的基臂(3)；
设置在所述基臂(3)上并且能够发射可见光束(L)的光源(5)；
设置在所述光源(5)前侧的光调节器(7)，所述光调节器(7)能够调节所述光源(5)发射的可见光束(L)的大小和/或强度；以及
安装在所述基臂(3)上并且能够相对于所述基臂(3)移动的移动臂(11),所述移动臂(11)具有相对于所述基臂(3)垂直地延伸以便能够与所述基臂(3)上的刻度对齐的至少一个平坦面。
2.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，在所述基臂(3)中设置有定心轴承(8)，所述光源(5)和/或所述光调节器(7)被安装在定心轴承(8)的内圈上。
3.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述光源(5)是激光发射器。
4.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，在所述光调节器(7)的前方设置用于汇聚光束的汇聚透镜(9)。
5.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，与所述光源(5)的中心相对应的位置被设置为零刻度位置。
6.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述光调节器(7)还被设置成能够将所述光源(5)发射的可见光束(L)调节成与所述基臂(3)垂直的准直光束。
7.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述至少一个平坦面包括相互平行并且相反地形成在所述移动臂(11)上的两个平坦面(11a，11b)。
8.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述移动臂(11)上还设置有吸附装置(13)。
9.根据权利要求8所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述吸附装置(13)是设置在所述移动臂(11)中的磁铁。
10.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述用于测量物体变形的装置(1)还包括将所述移动臂(11)锁定在所述基臂(3)上的锁定机构。
11.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述物体是芯片测试单元的测试头支撑导轨。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821872754.6U CN209102014U (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 用于测量物体变形的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN209102014U true CN209102014U (zh) | 2019-07-12 |
Family
ID=67159606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821872754.6U Active CN209102014U (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 用于测量物体变形的装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN209102014U (zh) |
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2018
- 2018-11-14 CN CN201821872754.6U patent/CN209102014U/zh active Active
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