CN209295916U - 一种测量微小间距的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种测量微小间距的装置，包括安装台、激光器、五角棱镜、安装基座、接触式机械探头、精密位移装置、线阵CCD；安装台上端位置安装了激光器，激光器安装在精密位移装置侧端，精密位移装置上台面安装安装基座，安装基座上安装有五角棱镜，激光器发出激光通过五角棱镜光线折射90°的位置安装了线阵CCD，接触式机械探头安装在激光器出射光线的方向。一种测量微小间距的装置，五角棱镜和机械探头连接在一起，通过精密位移装置可以同步运动；激光光斑打在五角棱镜上光线转折90°后激光光斑打在CCD上，安装套筒套装了激光器并使用紧固螺栓固定位置，水平垫为PVC材质，台面水平，保证了精密位移装置位移时的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及精密测量仪器领域，特别是一种测量微小间距的装置。
背景技术
在生产测量领域，目前使用的大多为英国雷尼绍公司生产的机械接触式探头，使用传统的机械测量的方法，精度不高，一般为10um以内；本发明旨在改进现有的技术原理，实现高精度测量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种测量微小间距的装置。为实现上述目的本实用新型采用以下技术方案：
一种测量微小间距的装置，，包括安装台、激光器、五角棱镜、安装基座、接触式机械探头、精密位移装置、线阵CCD，安装台上端位置安装了激光器，激光器安装在精密位移装置侧端，精密位移装置上台面安装安装基座，安装基座上安装有五角棱镜，激光器发出激光通过五角棱镜光线转折90°折射的位置安装了线阵CCD，接触式机械探头安装在激光器出射光线的方向。
优选的，所述激光器的激光光斑打在五角棱镜上，光路转折90°。
优选的，所述精密位移装置设置有安装安装基座的安装螺孔，精密位移装置下端螺钉安装了水平垫。
优选的，所述安装台上端位置焊接有安装套筒，安装套筒筒体螺纹安装了紧固螺栓。
与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：一种测量微小间距的装置，五角棱镜和机械探头连接在一起，通过精密位移装置可以同步运动；激光光斑打在五角棱镜上转折90°后光斑打在CCD上，图像处理系统记录光斑的位置X1；五角棱镜和机械探头前后精密位移，接触式探头接触到测量面后停止不动，图像处理系统记录光斑的位置X2，此时计算出微小间距X＝|X1-X2|。安装套筒套装了激光器并使用紧固螺栓固定位置，水平垫为PVC材质，台面水平，保证了精密位移装置位移时的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型测量微小间距的装置的结构示意图。
图2为本实用新型激光器的工作结构示意图。
图3为本实用新型精密位移装置的结构示意图。
图4为本实用新型安装台的结构示意图。
图中：1、安装台，2、激光器，3、五角棱镜，4、安装基座，5、接触式机械探头，6、精密位移装置，7、线阵CCD，8、安装螺孔，9、水平垫，10、安装套筒，11、紧固螺栓。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细阐述。
如图1、图2、图3和图4所示，一种测量微小间距的装置，包括安装台1、激光器2、五角棱镜3、安装基座4、接触式机械探头5、精密位移装置6、线阵CCD7，安装台1上端位置安装了激光器2，激光器2安装在精密位移装置6侧端，精密位移装置6上台面使用螺钉安装了安装基座4，安装基座4上端面固定安装了五角棱镜3，激光器2穿过五角棱镜3光线转折90°折射的位置安装了线阵CCD7，接触式机械探头5安装在激光器2出射光线的方向。
所述激光器2的激光光斑打在五角棱镜上，光路转折90°。
所述精密位移装置6设置有安装安装基座4的安装螺孔8，精密位移装置6下端螺钉安装了水平垫9。
所述安装台1上端位置焊接有安装套筒10，安装套筒10筒体螺纹安装了紧固螺栓11。
本实用新型工作原理：一种测量微小间距的装置，五角棱镜和机械探头连接在一起，通过精密位移装置可以同步运动；激光光斑打在五角棱镜上，光路转折90°，光斑打在CCD上，图像处理系统记录光斑的位置X1；五角棱镜和机械探头前后精密位移，接触式探头接触到测量面后停止不动，此时CCD上的光斑也有相应的位移，图像处理系统记录光斑的位置X2；则测量出的微小间距X＝|X1-X2|。安装套筒套装了激光器并使用紧固螺栓固定位置，水平垫为PVC材质，台面水平，保证了精密位移装置位移时的稳定性。
以上所述为本实用新型较佳实施例，对于本领域的普通技术人员而言，根据本实用新型的教导，在不脱离本实用新型的原理与精神的情况下，对实施方式所进行的改变、修改、替换和变型仍落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种测量微小间距的装置，其特征在于，包括安装台(1)、激光器(2)、五角棱镜(3)、安装基座(4)、接触式机械探头(5)、精密位移装置(6)、线阵CCD(7)，安装台(1)上端位置安装了激光器(2)，激光器(2)安装在精密位移装置(6)侧端，精密位移装置(6)上台面使用螺钉安装了安装基座(4)，安装基座(4)上端面固定安装了五角棱镜(3)，激光器(2)穿过五角棱镜(3)光线转折90°折射的位置安装了线阵CCD(7)，接触式机械探头(5)安装在激光器(2)出射光线的方向。
2.根据权利要求1所述的一种测量微小间距的装置，其特征在于，所述激光器(2)的激光光斑打在五角棱镜上，光路转折90°。
3.根据权利要求1所述的一种测量微小间距的装置，其特征在于，所述精密位移装置(6)设置有安装安装基座(4)的安装螺孔(8)，精密位移装置(6)下端螺钉安装了水平垫(9)。
4.根据权利要求1所述的一种测量微小间距的装置，其特征在于，所述安装台(1)上端位置焊接有安装套筒(10)，安装套筒(10)筒体螺纹安装了紧固螺栓(11)。
Priority Applications (1)
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| CN201920225877.9U CN209295916U (zh) | 2019-02-23 | 2019-02-23 | 一种测量微小间距的装置 |
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Publications (1)
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ID=67643011
Family Applications (1)
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| CN201920225877.9U Active CN209295916U (zh) | 2019-02-23 | 2019-02-23 | 一种测量微小间距的装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN209295916U (zh) |
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2019
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