CN208995627U - 一种太阳能直拉单晶炉用导流筒 - Google Patents
一种太阳能直拉单晶炉用导流筒 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208995627U CN208995627U CN201821629964.2U CN201821629964U CN208995627U CN 208995627 U CN208995627 U CN 208995627U CN 201821629964 U CN201821629964 U CN 201821629964U CN 208995627 U CN208995627 U CN 208995627U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- draft tube
- inner draft
- flow guiding
- external flow
- guiding cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种太阳能直拉单晶炉用导流筒，由锥筒状的外导流筒和内导流筒组成，内导流筒的外壁和外导流筒的内壁之间保持一定的间隙，内导流筒外侧中部设有一圈锥齿环，外导流筒上设有一通孔，一传动轴插入通孔且其端部设有一锥齿轮，锥齿轮与锥齿环相啮合，内导流筒的顶部和外导流筒的顶部之间通过轴承环相配合，内导流筒的下端呈直筒状，内导流筒的底部边缘磨削为弧形过渡面，外导流筒的底部具有一限位部，限位部上具有与内导流筒底部相对应的凹环，凹环内填充有滚珠，内导流筒的底部插入凹环并与滚珠相抵接，内导流筒内壁上还设有一钼层，钼层上设置有导流纹，本实用新型的内导流筒不易破裂。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能直拉单晶炉用导流筒。
背景技术
太阳能光伏行业的快速发展，对单晶硅的质量要求越来越高，企业需要不断的进行技术创新，去提高单晶质量及产量，降低单晶拉制的生产成本才能给企业带来最大的经济收益。直拉式硅单晶生长炉是制备硅单晶材料的主要设备，其内部的石墨热场保证了硅单晶的稳定生长，导流筒是组成石墨热场的一部分，在硅单晶生长过程中起到了非常重要的作用。氩气气体由上而下经过导流筒导入热场内部，可以有效的带走硅溶液上方的SiO，并对单晶硅棒进行降温，增大其纵向温度梯度，使单晶快速生长。
现有技术中的导流筒一般为用高纯的石墨材料制成的双层结构，长时间在高温环境下使用，内导流筒内发生破裂情况时有发生，究其原因，主要在于内导流筒和外导流筒之间的热传导并不均匀，当低温氩气气体通过时，温差使内导流筒的材质发生变形，导致内导流筒破裂。
实用新型内容
本实用新型目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种太阳能直拉单晶炉用导流筒。
本实用新型的技术方案是：一种太阳能直拉单晶炉用导流筒，由锥筒状的外导流筒和内导流筒组成，所述内导流筒的外壁和外导流筒的内壁之间保持一定的间隙，所述内导流筒外侧中部设有一圈锥齿环，所述外导流筒上设有一通孔，一传动轴插入所述通孔且其端部设有一锥齿轮，所述锥齿轮与所述锥齿环相啮合，所述内导流筒的顶部和所述外导流筒的顶部之间通过轴承环相配合，所述内导流筒的下端呈直筒状，所述内导流筒的底部边缘磨削为弧形过渡面，所述外导流筒的底部具有一限位部，所述限位部上具有与所述内导流筒底部相对应的凹环，所述凹环内填充有滚珠，所述内导流筒的底部插入所述凹环并与所述滚珠相抵接，所述内导流筒内壁上还设有一钼层，所述钼层上设置有导流纹。
进一步的，所述锥齿环内侧具有一固定环，所述固定环与所述内导流筒的外壁相过盈配合。
进一步的，所述凹环内的滚珠为双排滚珠。
进一步地，所述轴承环上端还设有一轴承盖，所述轴承盖的外侧固定于所述外导流筒的顶部。
本实用新型的有益效果是：本实用新型的外导流筒和内导流筒之间保持一定的间隙，工作时，内导流筒在驱动轴传动下进行缓慢旋转，热传导更加缓慢均匀，可有效防止内导流筒破裂；内导流筒底部为直筒状，内壁上还设有一钼层，所述钼层上设置有导流纹，氩气气体通过更加均匀，同时使内导流筒温度梯度变得更大，有利于单晶硅的生长，提高生产效率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
如图1所示，一种太阳能直拉单晶炉用导流筒，由锥筒状的外导流筒1和内导流筒2组成，所述内导流筒2的外壁和外导流筒1的内壁之间保持一定的间隙，所述内导流筒2外侧中部设有一圈锥齿环3，所述外导流筒1上设有一通孔，一传动轴4插入所述通孔且其端部设有一锥齿轮5，所述锥齿轮5与所述锥齿环3相啮合，所述内导流筒2的顶部和所述外导流筒1的顶部之间通过轴承环7相配合，所述内导流筒2的下端呈直筒状，所述内导流筒2的底部边缘磨削为弧形过渡面，所述外导流筒1的底部具有一限位部8，所述限位部8上具有与所述内导流筒2底部相对应的凹环9，所述凹环9内填充有滚珠，所述内导流筒2的底部插入所述凹环9并与所述滚珠相抵接，所述内导流筒2内壁上还设有一钼层10，所述钼层10上设置有导流纹。
进一步的，所述锥齿环内侧具有一固定环11，所述固定环11与所述内导流筒2的外壁相过盈配合。
进一步的，所述凹环9内的滚珠为双排滚珠。
进一步地，所述轴承环7上端还设有一轴承盖12，所述轴承盖12的外侧固定于所述外导流筒1的顶部。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种太阳能直拉单晶炉用导流筒，由锥筒状的外导流筒和内导流筒组成，其特征在于：所述内导流筒的外壁和外导流筒的内壁之间保持一定的间隙，所述内导流筒外侧中部设有一圈锥齿环，所述外导流筒上设有一通孔，一传动轴插入所述通孔且其端部设有一锥齿轮，所述锥齿轮与所述锥齿环相啮合，所述内导流筒的顶部和所述外导流筒的顶部之间通过轴承环相配合，所述内导流筒的下端呈直筒状，所述内导流筒的底部边缘磨削为弧形过渡面，所述外导流筒的底部具有一限位部，所述限位部上具有与所述内导流筒底部相对应的凹环，所述凹环内填充有滚珠，所述内导流筒的底部插入所述凹环并与所述滚珠相抵接，所述内导流筒内壁上还设有一钼层，所述钼层上设置有导流纹。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能直拉单晶炉用导流筒，其特征在于：所述锥齿环内侧具有一固定环，所述固定环与所述内导流筒的外壁相过盈配合。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能直拉单晶炉用导流筒，其特征在于：所述凹环内的滚珠为双排滚珠。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能直拉单晶炉用导流筒，其特征在于：所述轴承环上端还设有一轴承盖，所述轴承盖的外侧固定于所述外导流筒的顶部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821629964.2U CN208995627U (zh) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 一种太阳能直拉单晶炉用导流筒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821629964.2U CN208995627U (zh) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 一种太阳能直拉单晶炉用导流筒 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208995627U true CN208995627U (zh) | 2019-06-18 |
Family
ID=66803360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821629964.2U Active CN208995627U (zh) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 一种太阳能直拉单晶炉用导流筒 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208995627U (zh) |
-
2018
- 2018-10-09 CN CN201821629964.2U patent/CN208995627U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102352530B (zh) | 用于直拉硅单晶炉的热屏装置 | |
| WO2021088314A1 (zh) | 一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉 | |
| CN102409395B (zh) | 一种直拉硅单晶的镓元素掺杂装置及其掺杂方法 | |
| CN207294943U (zh) | 一种水冷套及水冷热屏表面发黑处理的单晶生长炉 | |
| CN106894079A (zh) | 单晶硅锭生长装置 | |
| CN104372399A (zh) | 一种单晶硅收尾方法及单晶硅制备方法 | |
| CN208995627U (zh) | 一种太阳能直拉单晶炉用导流筒 | |
| CN207294942U (zh) | 一种带石墨和水冷复合热屏的高效单晶生长炉 | |
| CN202898593U (zh) | 一种改进的单晶炉热屏导流筒 | |
| CN106894082B (zh) | 单晶硅生长炉 | |
| CN202297860U (zh) | 具有升降机构的单晶炉热场 | |
| CN201634795U (zh) | 直拉单晶炉石墨坩埚 | |
| CN204874813U (zh) | 一种用于单晶硅生长的热屏装置 | |
| CN218115661U (zh) | 一种单晶炉用上筒 | |
| CN217378090U (zh) | 一种单晶炉用石英导流筒 | |
| CN211921735U (zh) | 一种提高单晶硅拉速的冷却装置 | |
| CN101906660A (zh) | 一种大直径硅晶体生长装置 | |
| CN206902281U (zh) | 一种单晶炉 | |
| CN201990762U (zh) | 直拉单晶炉加热装置 | |
| CN101713095A (zh) | 双向气流的硅晶体生长装置 | |
| CN200992592Y (zh) | 多坩埚下降法晶体生长系统 | |
| CN209260258U (zh) | 一种用于制作硅单晶材料的热场单晶炉 | |
| CN201908152U (zh) | 一种改进的直拉单晶炉 | |
| CN101724889A (zh) | 一种用于直拉硅单晶炉热场系统 | |
| CN102363898A (zh) | 一种用于生长石榴石型单晶的蓝宝石坩埚 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |