CN208990456U - 一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括水洗腔体、进气口法兰、出气口法兰和出水口法兰，进气口法兰和出气口法兰竖直焊接在水洗腔体的顶部左侧和右侧，出水口法兰竖直焊接在水洗腔体的底部，水洗腔体的下方设有废水箱，废水箱的顶部设有进水口法兰，出水口法兰通过连接管和废水箱的进水口法兰连接，水洗腔体的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一和喷水口法兰二，水洗腔体的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三，喷水口法兰内设有喷头。废气中含有的粉尘经过前端水洗喷淋装置后，粉尘与水结合掉落到装置底部并顺着水流冲洗到废水箱中。

Description

一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，具体涉及一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置。

背景技术

在半导体制造过程中既有二氧化硫、氮氧化物、含氟气体等有害废气外排，也有大量的粉尘伴随废气排放到环境中，造成环境空气污染。应用在半导体行业的传统废气处理设备在长时间运行中会因为废气中含有的粉尘导致废气处理设备反应腔堵塞，缩短设备的维护周期，影响工厂的产能，同时，在长时间运行中会因为废气中的酸性气体加速腐蚀设备的金属管路及连接厂务排风的金属管路，造成气体泄漏，导致安全事件发生。

中国专利申请号为CN104258664A公开了一种粉尘废气处理装置，主要由支撑座、下机壳、上机壳、底座组成，支撑座设在底座上，下机壳、上机壳均为半圆形腔体并通过焊接构成机壳，支撑座上设的电动机与传动轴连接，传动轴穿过机壳中心并通过固定座设在支撑座上，机壳内设有旋转轮和固定环，旋转轮通过传动装置与传动轴连接，固定环设置在机壳上，旋转轮与固定环径向上交错设置，旋转轮、固定环的轴向杆上分别设有旋转叶片、固定叶片，机壳上设的溶剂喷头在径向上的位置与旋转叶片对应。

中国专利申请号为CN107758375A公开了一种粉尘处理设备，包括机架，机架上设有储料筒和收集筒，储料筒上连通有出料管，出料管外侧设有转轴，转轴固定连接有软轴，软轴一端伸进出料管中；收集筒内设有疏通开关和叶轮；机架上还固设有环形槽和内齿圈，内齿圈的齿形为锥形，内齿圈的齿轮孔内设有锥齿轮，锥齿轮转动连接在机架上，内齿圈与锥齿轮之间设有齿轮轴，齿轮轴下端固定连接有压紧杆；环形槽内设有发条，发条内端与锥齿轮上端面偏心处固定连接，且发条内端固定连有第一磁铁，环形槽内壁上固设有第二磁铁，转轴外圆上固定连接有连杆，连杆与发条外端固定连接。

通过对上述对比文件仔细分析后发现：对比文件1中所涉及的技术方案结构上过于复杂，维护成本较高，同时，装置占用的空间也较大；对比文件2中所涉及的技术方案只能实现对废气中粉尘进行处理，而对废气中的酸性气体无法去除，因此，对应用于半导体制造过程中制成工艺气体处理设备需要重新进行更加合理的设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。

一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，包括水洗腔体和安装在水洗腔体上的进气口法兰、出气口法兰和出水口法兰，所述进气口法兰和出气口法兰分别竖直焊接在水洗腔体顶部左侧和右侧，所述出水口法兰竖直焊接在水洗腔体的底部，所述水洗腔体的下方设有废水箱，所述废水箱的顶部焊接有进水口法兰，所述出水口法兰通过连接管和废水箱的进水口法兰连接，所述水洗腔体的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一和喷水口法兰二，所述水洗腔体的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三，所述喷水口法兰一、喷水口法兰二和喷水口法兰三内设有喷头。

优选的，所述水洗腔体的内部中间竖直安装有挡板，所述挡板和水洗腔体的顶部连接并将水洗腔体的内部分隔成左、右两个腔室。

优选的，所述水洗腔体的前侧在每个喷头安装处对应设有矩形的观察口，所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母，所述观察口的外侧通过锁紧螺钉安装有透明面板，所述透明面板和水洗腔体之间加装有密封垫，所述密封垫的材质为含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料。

优选的，所述水洗腔体的内部的下方设有过滤板，所述过滤板的下方设有支撑板并焊接在水洗腔体的内壁上，所述过滤板通过支撑板水平安装在水洗腔体内。

优选的，所述水洗腔体的左侧下部也设有矩形的观察口，所述观察口的底部和支撑板处于相同的水平高度。

优选的，所述进气口法兰和出气口法兰的数量分别为四个和一个。

本实用新型的优点在于：废气通过进气口法兰进入水洗腔体的左腔，再通过喷水口法兰一和喷水口法兰二中的喷头对废气进行喷水，使废气中粉尘与水结合掉落到水洗腔体的底部并顺着水流冲洗到废水箱中，然后废气再进入水洗腔体的右腔，再通过喷水口法兰三中的喷头对废气再一次进行喷水降尘，然后，废气通过出气口法兰进入后续的废气处理设备的反应腔中进行处理，防止了反应腔的堵塞，延长了设备维护周期两倍以上，而废气中的酸性气体在经过本实用新型中的前端水洗喷淋装置后，酸性气体溶于水，从气态变为液态，再顺着水流冲到废水箱中。

通过在水洗腔体的前侧在每个喷头安装处对应设有矩形的观察口，观察口的内侧均布焊接有压铆螺母，观察口的外侧通过锁紧螺钉安装有透明面板，便于人员观察内部的工作状态，而通过在透明面板和水洗腔体之间加装有密封垫，避免废气从透明面板和水洗腔体之间安装缝隙处的泄漏。通过在水洗腔体上设置多个进气口法兰，可以一次接入多个废气源，提高本实用新型中的前端水洗喷淋装置对含有酸性气体和粉尘的废气处理的工作效率，降低半导体生产成本。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图。

图2为本实用新型中水洗腔体的正视的结构示意图。

图3为本实用新型中水洗腔体的左视的结构示意图。

图4为本实用新型中水洗腔体的底部的结构示意图。

其中，1-水洗腔体；2-进气口法兰；3-出气口法兰；4-出水口法兰；5-连接管；6-废水箱；7-喷水口法兰一；8-喷水口法兰二；9-喷水口法兰三；10-锁紧螺钉；11-密封垫；12-透明面板；13-支撑板；14-过滤板；15-喷头；16-挡板； 17-进水口法兰；18-压铆螺母。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

实施例1

如图1至图4所示，一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，包括水洗腔体1和安装在水洗腔体1上的进气口法兰2、出气口法兰3和出水口法兰4，所述进气口法兰2和出气口法兰3分别竖直焊接在水洗腔体1的顶部左侧和右侧，所述出水口法兰4竖直焊接在水洗腔体1的底部，所述水洗腔体1 的下方设有废水箱6，所述废水箱6的顶部焊接有进水口法兰17，所述出水口法兰4通过连接管5和废水箱6的进水口法兰17连接，所述水洗腔体1的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一7和喷水口法兰二8，所述水洗腔体1的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三9，所述喷水口法兰一7、喷水口法兰二8和喷水口法兰三9内设有喷头15。

在本实施例中，所述水洗腔体1的内部中间竖直安装有挡板16，所述挡板 16和水洗腔体1的顶部连接并将水洗腔体1的内部分隔成左、右两个腔室。

在本实施例中，所述进气口法兰2和出气口法兰3的数量分别为四个和一个。

本实用新型的工作原理：废气通过进气口法兰2进入水洗腔体1的左腔，再通过喷水口法兰一7和喷水口法兰二8中的喷头15对废气进行喷水，使废气中粉尘与水结合掉落到水洗腔体1的底部并顺着水流冲洗到废水箱6中，然后废气再进入水洗腔体1的右腔，再通过喷水口法兰三9中的喷头15对废气再一次进行喷水降尘，最后，废气通过出气口法兰3进入后续的废气处理设备的反应腔中进行处理，防止了反应腔的堵塞，延长了设备维护周期两倍以上，而废气中的酸性气体在经过本实用新型中的前端水洗喷淋装置后，酸性气体溶于水，从气态变为液态，再顺着水流冲到废水箱6中。

实施例2

如图1至图4所示，一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，包括水洗腔体1和安装在水洗腔体1上的进气口法兰2、出气口法兰3和出水口法兰4，所述进气口法兰2和出气口法兰3分别竖直焊接在水洗腔体1的顶部左侧和右侧，所述出水口法兰4竖直焊接在水洗腔体1的底部，所述水洗腔体1 的下方设有废水箱6，所述废水箱6的顶部焊接有进水口法兰17，所述出水口法兰4通过连接管5和废水箱6的进水口法兰17连接，所述水洗腔体1的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一7和喷水口法兰二8，所述水洗腔体1的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三9，所述喷水口法兰一7、喷水口法兰二8和喷水口法兰三9内设有喷头15。

在本实施例中，所述水洗腔体1的内部中间竖直安装有挡板16，所述挡板 16和水洗腔体1的顶部连接并将水洗腔体1的内部分隔成左、右两个腔室。

在本实施例中，所述水洗腔体1的前侧在每个喷头15安装处对应设有矩形的观察口，所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母18，所述观察口的外侧通过锁紧螺钉10安装有透明面板12，所述透明面板12和水洗腔体1之间加装有密封垫11。

在本实施例中，所述水洗腔体1的内部的下方设有过滤板14，所述过滤板 14的下方设有支撑板13并焊接在水洗腔体1的内壁上，所述过滤板14通过支撑板13水平安装在水洗腔体1内。

在本实施例中，所述水洗腔体1的左侧下部也设有矩形的观察口，所述观察口的底部和支撑板13处于相同的水平高度。

在本实施例中，所述进气口法兰2和出气口法兰3的数量分别为四个和一个。

本实用新型的工作原理：废气通过进气口法兰2进入水洗腔体1的左腔，再通过喷水口法兰一7和喷水口法兰二8中的喷头15对废气进行喷水，使废气中粉尘与水结合掉落到水洗腔体1的底部并顺着水流冲洗到废水箱6中，然后废气再进入水洗腔体1的右腔，再通过喷水口法兰三9中的喷头15对废气再一次进行喷水降尘，最后，废气通过出气口法兰3进入后续的废气处理设备的反应腔中进行处理，防止了反应腔的堵塞，延长了设备维护周期两倍以上，而废气中的酸性气体在经过本实用新型中的前端水洗喷淋装置后，酸性气体溶于水，从气态变为液态，再顺着水流冲到废水箱6中。

通过在水洗腔体1的前侧在每个喷头15安装处对应设有矩形的观察口，观察口的内侧均布焊接有压铆螺母18，观察口的外侧通过锁紧螺钉10安装有透明面板12，便于人员观察内部的工作状态，而通过在透明面板12和水洗腔体1之间加装有密封垫11，避免废气从透明面板12和水洗腔体1之间安装缝隙处的泄漏。通过在水洗腔体1上设置多个进气口法兰2，可以一次接入多个废气源，提高本实用新型中的前端水洗喷淋装置对含有酸性气体和粉尘的废气处理的工作效率，降低半导体生产成本。

基于上述，在本实用新型中，废气通过进气口法兰2进入水洗腔体1的左腔，再通过喷水口法兰一7和喷水口法兰二8中的喷头15对废气进行喷水，使废气中粉尘与水结合掉落到水洗腔体1的底部并顺着水流冲洗到废水箱6中，然后废气再进入水洗腔体1的右腔，再通过喷水口法兰三9中的喷头15对废气再一次进行喷水降尘，最后，废气通过出气口法兰3进入后续的废气处理设备的反应腔中进行处理，防止了反应腔的堵塞，延长了设备维护周期两倍以上，而废气中的酸性气体在经过本实用新型中的前端水洗喷淋装置后，酸性气体溶于水，从气态变为液态，再顺着水流冲到废水箱6中。

因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本实用新型范围内或在等同于本实用新型的范围内的改变均被本实用新型包含。

Claims (6)

1.一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，其特征在于：包括水洗腔体(1)和安装在水洗腔体(1)上的进气口法兰(2)、出气口法兰(3)和出水口法兰(4)，所述进气口法兰(2)和出气口法兰(3)分别竖直焊接在水洗腔体(1)的顶部左侧和右侧，所述出水口法兰(4)竖直焊接在水洗腔体(1)的底部，所述水洗腔体(1)的下方设有废水箱(6)，所述废水箱(6)的顶部焊接有进水口法兰(17)，所述出水口法兰(4)通过连接管(5)和废水箱(6)的进水口法兰(17)连接，所述水洗腔体(1)的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一(7)和喷水口法兰二(8)，所述水洗腔体(1)的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三(9)，所述喷水口法兰一(7)、喷水口法兰二(8)和喷水口法兰三(9)内设有喷头(15)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，其特征在于：所述水洗腔体(1)的内部中间竖直安装有挡板(16)，所述挡板(16)和水洗腔体(1)的顶部连接并将水洗腔体(1)的内部分隔成左、右两个腔室。

3.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，其特征在于：所述水洗腔体(1)的前侧在每个喷头(15)安装处对应设有矩形的观察口，所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母(18)，所述观察口的外侧通过锁紧螺钉(10)安装有透明面板(12)，所述透明面板(12)和水洗腔体(1)之间加装有密封垫(11)。

4.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，其特征在于：所述水洗腔体(1)的内部的下方设有过滤板(14)，所述过滤板(14)的下方设有支撑板(13)并焊接在水洗腔体(1)的内壁上，所述过滤板(14)通过支撑板(13)水平安装在水洗腔体(1)内。

5.根据权利要求3或4所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，其特征在于：所述水洗腔体(1)的左侧下部也设有矩形的观察口，所述观察口的底部和支撑板(13)处于相同的水平高度。

6.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，其特征在于：所述进气口法兰(2)和出气口法兰(3)的数量分别为四个和一个。