CN208968888U

CN208968888U - 一种高纯气体取样器

Info

Publication number: CN208968888U
Application number: CN201821780111.9U
Authority: CN
Inventors: 颜欣
Original assignee: IT Electronics Eleventh Design and Research Institute Scientific and Technological Engineering Corp
Current assignee: IT Electronics Eleventh Design and Research Institute Scientific and Technological Engineering Corp
Priority date: 2018-10-31
Filing date: 2018-10-31
Publication date: 2019-06-11
Anticipated expiration: 2028-10-31

Abstract

本实用新型在此提供一种高纯气体取样器；本产品是将高纯气体（ppb，ppm级N2，CDA，O2等）从管路系统中取样并送气体纯化间或实验室。对气体进行检测。该取样器具有如下改进，具有快插接头用于接入气体管路系统上预留取样点，取样后送实验室用于在线监测仪等设备接入；并设置针型阀用于管路切断并连通；通过取样器箱形外壳容纳设备，便于携带；设置由压力表、数显水分仪、氧浓度仪；通过内部的真空泵取样罐抽真空，减少外部气体干扰；通过止回阀防止抽真空过程中气体回流；通过过滤器保护真空泵。

Description

一种高纯气体取样器

技术领域

本实用新型涉及一种取样器，具体来讲是一种高纯气体取样器。

背景技术

中国已经成为第三次半导体产业转移的核心地，半导体产业项目需要用到各种纯度极高的气体作为保护气等作用。相关厂房中，高纯气体从气站出来后进入气体纯化间，纯化为合格气体后进入厂房管路系统，一直打各个工艺机台。在纯化间出来直到各个工艺机台的过程中管路系统一般长达数百米甚至上千米，某一个工艺机台的某一个用气点出现气体纯度有问题往往难以排查，只能把这种气体管路全部切断，排查，严重可能造成整个生产线停机。最好的办法就是从上一级的用气点进行取样送检，因为气体流向单一，如果发现上一级气体合格，则上一级所有的机台可以不用停机，同时还能缩小排查范围，更快找出问题点。因为是高纯气体，一般的容器无法进行取样，容易造成外部引入的干扰，造成检测结果不符合事实。高纯气体取样器必须具备如下几个特点：由于管路在厂房内距离远，所以取样器必须方便移动；接入气体管路后必须要吹扫一段时间，取样器上有水氧浓度检测，压力检测，可以判断管道气体吹扫是否达到要求；高纯气体取样必须严格防止外部气体泄漏，否则影响检测结果。

实用新型内容

因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种高纯气体取样器；本产品是将高纯气体（ppb，ppm级N2，CDA，O2等）从管路系统中取样并送气体纯化间或实验室。对气体进行检测。该取样器具有如下改进，具有快插接头用于接入气体管路系统上预留取样点，取样后送实验室用于在线监测仪等设备接入；并设置针型阀用于管路切断并连通；通过取样器箱形外壳容纳设备，便于携带；设置由压力表、数显水分仪、氧浓度仪；通过内部的真空泵取样罐抽真空，减少外部气体干扰；通过止回阀防止抽真空过程中气体回流；通过过滤器保护真空泵。

本实用新型是这样实现的，构造一种高纯气体取样器，其特征在于：该取样器具有，用于与气体管路系统上预留取样点接入的快插接头；用于管路切断并连通的针型阀；取样罐；用于容纳设备的取样器箱形外壳；用充气及放气时监测压力的压力表；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的数显水分仪；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的氧浓度仪；用于取样罐抽真空的真空泵；抽真空过程中避免气体回流的止回阀；保护真空泵的过滤器以及预留接口；其中快插接头通过管路与针型阀连通，针型阀的出口端连通取样罐，压力表、数显水分仪和氧浓度分别连通取样罐；取样罐的下端出口管路上分别设置止回阀、过滤器和真空泵，取样罐的侧面和底部分别连接预留接口。

根据本实用新型所述一种高纯气体取样器，其特征在于：取样罐容积约10L。

本实用新型具有如下优点：本实用新型在此提供一种高纯体取样器，本产品是将高纯气体（ppb，ppm级N2，CDA，O2等）从管路系统中取样并送气体纯化间或实验室。对气体进行检测。该取样器具有如下改进，具有快插接头用于接入气体管路系统上预留取样点，取样后送实验室用于在线监测仪等设备接入；并设置针型阀用于管路切断并连通；通过取样器箱形外壳容纳设备，便于携带；设置由压力表、数显水分仪、氧浓度仪；通过内部的真空泵取样罐抽真空，减少外部气体干扰；通过止回阀防止抽真空过程中气体回流；通过过滤器保护真空泵。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

其中：快插接头1；针型阀2；取样罐3；取样器箱形外壳4；用压力表5；数显水分仪6；氧浓度仪7；真空泵8；止回阀9；过滤器10；预留接口11。

具体实施方式

下面将结合附图1对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型通过改进在此提供一种高纯气体取样器，该取样器具有，用于与气体管路系统上预留取样点接入的快插接头1；用于管路切断并连通的针型阀2；取样罐3；用于容纳设备的取样器箱形外壳4；用充气及放气时监测压力的压力表5；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的数显水分仪6；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的氧浓度仪7；用于取样罐抽真空的真空泵8；抽真空过程中避免气体回流的止回阀9；保护真空泵的过滤器10以及预留接口11；其中快插接头1通过管路与针型阀2连通，针型阀2的出口端连通取样罐3，压力表5、数显水分仪6和氧浓度仪7分别连通取样罐3；取样罐3的下端出口管路上分别设置止回阀9、过滤器10和真空泵8，取样罐3的侧面和底部分别连接预留接口11。

下面对本实用新型所涉及的气体取样器进行详细说明，本产品是将高纯气体（ppb，ppm级N2，CDA，O2等）从管路系统中取样并送气体纯化间或实验室。对气体进行检测。取样器结构分别为，快插接头1用于接入气体管路系统上预留取样点，取样后送实验室用于在线监测仪等设备接入。针型阀2用于管路切断并连通。取样罐3容积约10L。取样器箱形外壳4，用于容纳设备，便于携带。压力表5用充气及放气时监测压力。数显水分仪6，用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致。氧浓度仪7，用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致。真空泵8，用于取样罐抽真空，减少外部气体干扰。止回阀9，抽真空过程中避免气体回流。过滤器10，保护真空泵。

运行过程为：

1、高纯气体取样器接口与气体管路上取样点连接，真空泵开启将取样罐抽成真空，避免气体回流到管路中。

2、打开气体管路取样点阀门，再打开取样器上阀门，关闭其他阀门，放气，取样气体充满取样罐以后打开压力表根部阀。压力与气体管道中压力一致以后打开取样器下部快接插口，吹扫一段时间。

3、吹扫半小时后打开水氧浓度检测数据不再变化后吹扫完成。关闭所有根部阀，打开真空泵根部阀，再次将取样罐抽真空。

4、抽真空后关闭根部阀门，打开与气体管路快插接口，抽取管路气体。

5、气体送检完成后将取样罐抽真空，保持。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims

1.一种高纯气体取样器，其特征在于：该取样器具有用于与气体管路系统上预留取样点接入的快插接头（1）；用于管路切断并连通的针型阀（2）；取样罐（3）；用于容纳设备的取样器箱形外壳（4）；用充气及放气时监测压力的压力表（5）；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的数显水分仪（6）；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的氧浓度仪（7）；用于取样罐抽真空的真空泵（8）；抽真空过程中避免气体回流的止回阀（9）；保护真空泵的过滤器（10）以及预留接口（11）；其中快插接头（1）通过管路与针型阀（2）连通，针型阀（2）的出口端连通取样罐（3），压力表（5）、数显水分仪（6）和氧浓度仪（7）分别连通取样罐（3）；取样罐（3）的下端出口管路上分别设置止回阀（9）、过滤器（10）和真空泵（8），取样罐（3）的侧面和底部分别连接预留接口（11）。

2.根据权利要求1所述一种高纯气体取样器，其特征在于：取样罐（3）容积约10L。