CN208967916U - 一种洁净厂房生产区温度控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种洁净厂房生产区温度控制系统,包括干盘管组、混水泵、压力表、开关、电磁阀、温度检测仪、洁净厂房生产区。其中,所述干盘管组的进水管上连接有所述混水泵且出水管末端连接有电磁阀,所述干盘管组的出水管上设置有所述压力表。所述电磁阀和所述压力表之间的管道分出支管且支管连接在进水管上且位于所述混水泵远离所述干盘管组的一端,所述洁净厂房生产区内设置有温度检测仪,所述温度检测仪与所述电磁阀电性连接。本实用新型通过设置混水泵、高精度温度变送器、电磁阀将工艺生产区温度控制精度由原来偏差高于0.5℃降至偏差低于0.2℃的范围内,且在此精度偏差范围内持续稳定,改善了工艺生产对温度波动敏感的实际需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种电子半导体类洁净厂房暖通自动控制技术领域,具体涉及一种洁净厂房生产区温度控制系统。
背景技术
在大型电子半导体生产厂房中,为保证洁净生产区工艺设备的正常运行,稳定的温湿度控制为其必要条件之一。对于大空间、温度控制精度要求不高的场合,通常采用温度变送器+DCC(干盘管)直接组合的方式。但对于某些温度控制精度比较高的工艺区域(±0.2℃内),由于其供回水温差较大,受控区域室内热负荷较小,通过调节回水电动水阀开度以调节干盘管内水流量,即大温差小流量的方式,室内负荷稍有变化时,很容易使得温度参数控制不稳定,上下波动偏差大,实践证明温度控制效果不佳。
实用新型内容
本实用新型提供一种洁净厂房生产区温度控制系统,以解决现有技术存在的工艺生产区温度控制精度偏差大的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种洁净厂房生产区温度控制系统,包括干盘管组、混水泵、压力表、开关、电磁阀、温度检测仪、洁净厂房生产区。其中,所述干盘管组的进水管上连接有所述混水泵且出水管末端连接有电磁阀,所述干盘管组的出水管上设置有所述压力表。所述电磁阀和所述压力表之间的管道分出支管且支管连接在进水管上且位于所述混水泵远离所述干盘管组的一端,所述洁净厂房生产区内设置有温度检测仪,所述温度检测仪与所述电磁阀电性连接。
所述混水泵为两个,所述两个混水泵并列连接在进水管上。
所述温度检测仪的变送单元为高精度温度变送器。
所述高精度温度变送器使用的探测单元高精度型温度探头。
本实用新型带来的有益效果:本实用新型提供的一种洁净厂房生产区温度控制系统通过设置混水泵、高精度温度变送器、电磁阀将工艺生产区温度控制精度由原来偏差高于0.5℃降至偏差低于0.2℃的范围内,且在此精度偏差范围内持续稳定,改善了工艺生产对温度波动敏感的实际需求。
附图说明
图1是根据本实用新型实施例的洁净厂房生产区温度控制系统的整体结构示意图。
其中,1-干盘管组,2-混水泵,3-压力表,4-开关,5-电磁阀,6-温度检测仪,7-洁净厂房生产区。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,以下结合附图及具体实施例,对本实用新型作进一步地详细说明。
本实用新型提供的一种洁净厂房生产区温度控制系统,包括干盘管组1、混水泵2、压力表3、开关4、电磁阀5、温度检测仪6、洁净厂房生产区7。其中,所述干盘管组1的进水管上连接有所述混水泵2且出水管末端连接有电磁阀5,所述干盘管组1的出水管上设置有所述压力表3。所述电磁阀5和所述压力表3之间的管道分出支管且支管连接在进水管上且位于所述混水泵2远离所述干盘管组1的一端,所述洁净厂房生产区7内设置有温度检测仪6,所述温度检测仪6与所述电磁阀5电性连接。
进一步来说,所述混水泵2为两个,所述两个混水泵2并列连接在进水管上,所述温度检测仪6的变送单元为高精度温度变送器,所述高精度温度变送器使用的探测单元高精度型温度探头,所述电磁阀为高分辨率调节型电磁阀。
在本实施例中,高精度温度变送器为高精度多路测温仪,高精度温度变送器检测到的温度传递给电控柜,电控柜依据预定程序进行逻辑判断进而发出信号控制电磁阀的开合度,调节回水量,使干盘管的进水温度控制在一个合适的范围。利用混水泵压力将供水与回水混合,保证通过干盘管的供回水温差较小以降低供回水流量对区域内温度波动的影响。由对应洁净厂房生产区内设置的高精度温度变送器实时温度反馈,直接调整回水侧电磁阀的开合度,确保温度变化稳定。两个混水泵一用一备,电控柜独立设置,混水泵采用定频泵,相应控制点,由远程实现水泵启停、故障自动切换等功能。干盘管后加设温度传感器,用于监测回风侧的实时温度情况,用于作为判断管路供水是否有异常的依据。
综上所述,本实用新型提供的一种洁净厂房生产区温度控制系统通过设置混水泵、高精度温度变送器、电磁阀将工艺生产区温度控制精度由原来偏差高于0.5℃降至偏差低于0.2℃的范围内,且在此精度偏差范围内持续稳定,改善了工艺生产对温度波动敏感的实际需求。
以上所述仅为本实用新型的实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。
Claims (5)
1.一种洁净厂房生产区温度控制系统,其特征在于,包括干盘管组(1)、混水泵(2)、压力表(3)、开关(4)、电磁阀(5)、温度检测仪(6)、洁净厂房生产区(7),所述干盘管组(1)的进水管上连接有所述混水泵(2)且出水管末端连接有电磁阀(5),所述干盘管组(1)的出水管上设置有所述压力表(3),所述电磁阀(5)和所述压力表(3)之间的管道分出支管且支管连接在进水管上且位于所述混水泵(2)远离所述干盘管组(1)的一端,所述洁净厂房生产区(7)内设置有温度检测仪(6),所述温度检测仪(6)与所述电磁阀(5)电性连接。
2.如权利要求1所述的洁净厂房生产区温度控制系统,其特征在于,所述混水泵(2)为两个,所述两个混水泵(2)并列连接在进水管上。
3.如权利要求2所述的洁净厂房生产区温度控制系统,其特征在于,所述温度检测仪(6)的变送单元为高精度温度变送器。
4.如权利要求3所述的洁净厂房生产区温度控制系统,其特征在于,所述高精度温度变送器使用的探测单元高精度型温度探头。
5.如权利要求4所述的洁净厂房生产区温度控制系统,其特征在于,所述电磁阀(5)为高分辨率调节型电磁阀。
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