CN208960425U - 一种晶棒性能连续测试架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶棒性能连续测试架，包括定位座、测试台和底座，所述底座顶部的一端通过支撑杆安装有测试台，所述测试台顶部的一端安装有检测座，且检测座一侧安装有第二电动滑轨，所述第二电动滑轨的内部安装有检测头，所述测试台顶部的中央安装有第一电动滑轨，所述第一电动滑轨的内部安装有滑块，且滑块的顶部安装有弹簧座，所述弹簧座顶部均安装有第三电动推杆，且第三电动推杆的上方设有“U”型固定座。本实用新型通过安装有定位座、测试台和底座，弹簧座顶部的中央安装有气泵，便于通过气泵将反应器内部空气抽出，使得晶棒在负压的作用力下固定在“U”型固定座中央，避免晶棒检测过程中掉落，便于装置进行检测。

Description

一种晶棒性能连续测试架

技术领域

本实用新型涉及晶棒检测装置技术领域，具体为一种晶棒性能连续测试架。

背景技术

晶棒是单晶硅的一种，而单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，可用于制造半导体器件、太阳能电池、芯片等，晶棒在使用前都需要对其进行性能检测，确保工晶棒没有隐裂等内部缺陷，保证晶棒使用的安全性，但是现有的晶棒性能测试架存在以下问题：

1、现有的晶棒性能测试装置大多需要人工操作，逐个进行晶棒测试，测试完成后需要人工上下料，无法进行连续测试，测试效率不佳；

2、现有的晶棒性能测试装置大多不便于对晶棒进行固定，无法保证测试过程中晶棒的稳定性，易使得晶棒掉落，影响晶棒的测试；

3、现有的晶棒性能测试装置无法在测试完成后根据测试结果进行筛分，无法将合格晶棒与不合格晶棒分离，不便于晶棒之间的分类储存。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶棒性能连续测试架，以解决上述背景技术中提出的现有的晶棒性能测试装置大多需要人工操作，逐个进行晶棒测试，测试完成后需要人工上下料，无法进行连续测试，测试效率不佳问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶棒性能连续测试架，包括检测头、测试台和底座，所述底座底部的两端皆均匀安装有支脚，且底座顶部的一端通过支撑杆安装有测试台，所述测试台下方底座顶部对中央安装有PLC控制器，且测试台顶部一端的两侧分别设有第一下料口和第二下料口，所述第一下料口和第二下料口下方的测试台上均安装有下料板，且下料板下方底座的顶部均通过固定卡块滑动安装有储料箱，所述测试台顶部的一端安装有检测座，且检测座一侧安装有第二电动滑轨，所述第二电动滑轨与PLC控制器电连接，且第二电动滑轨的内部滑动安装有检测头，所述检测头通过导线与PLC控制器电连接，且检测头上下两端均安装有测距传感器，所述测距传感器的输出端均与PLC控制器输入端电性连接，且检测头下方的测试台顶部通过第一电动推杆安装有定位座，所述检测座顶部的一端和定位座的一端均安装有红外接收器，且红外接收器均通过导线与PLC控制器电性连接，所述测试台顶部的另一端安装有第三固定板，所述第三固定板顶部的一侧安装有压力传感器，且压力传感器的输出端与PLC控制器的输入端电性连接，所述测试台顶部的中央安装有第一电动滑轨，且第一电动滑轨通过导线与PLC控制器电连接，所述第一电动滑轨的内部滑动安装有滑块，且滑块的顶部安装有弹簧座，所述弹簧座顶部的4个角位置处均安装有第三电动推杆，且第三电动推杆的上方设有“U”型固定座，所述“U”型固定座的底端均与第三电动推杆的输出端铰接固定，且“U”型固定座底部的中央设有负压腔，所述负压腔顶部的“U”型固定座上安装有挡尘网，且弹簧座顶部的中央安装有气泵，所述气泵通过导线与PLC控制器电连接，且气泵的输入段通过弹簧管与负压腔的底端固定连接，所述底座顶部远离测试台的一端安装有立柱，且立柱一侧的顶部安装有限位杆，所述限位杆和“U”型固定座的一端均安装有红外发射器，且红外发射器均通过导线与PLC控制器电性连接，所述限位杆下方的立柱上安装有第二电动推杆，且第二电动推杆的输出端安装有推板，所述测试台和立柱之间底座顶部的两侧均设有滑槽，且滑槽的内部均通过调节块滑动安装有隔板，所述隔板之间底座的顶部安装有第二固定板，且第二固定板的顶部通过上料弹簧安装有第一支撑座，所述第一支撑座上方隔板之间均匀固定有晶棒。

优选的，所述检测头和第二电动滑轨相互配合，检测座和检测头之间通过第二电动滑轨构成滑动结构。

优选的，所述底座顶部的两侧均设有与固定卡块相互配合的固定卡槽，且储料箱均通过固定卡块与底座构成抽拉式结构，所述储料箱的一侧均设有可视窗，储料箱的一侧均安装有把手。

优选的，所述第一电动滑轨和滑块相互配合，且“U”型固定座通过第一电动滑轨和滑块构成滑动结构。

优选的，所述第一下料口和第二下料口上方的测试台上均安装有挡料板，且挡料板和下料板均关于第一电动滑轨对称设置。

优选的，所述滑槽和调节块相互配合，且调节块的顶部均安装有固定螺栓，所述隔板均通过滑槽和调节块构成滑动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该晶棒性能连续测试架通过设置有检测头、测试台和底座，测试台顶部一端的两侧分别设有第一下料口和第二下料口，测试台顶部第一电动滑轨的内部滑动安装有滑块，滑块顶部弹簧座顶端通过第三电动推杆安装有“U”型固定座，便于检测后的晶棒通过第三电动推杆伸缩，使得“U”型固定座向两侧倾斜，便于将检测完成的晶棒分类落入第一下料口和第二下料口，便于检测完成的合格晶棒与不合格晶棒进行分类储存；

2、该晶棒性能连续测试架通过设置有推板、上料弹簧和第一支撑座，底座顶部立柱一侧通过第二电动推杆安装有推板，隔板之间第二固定板的顶部通过上料弹簧安装有第一支撑座，便于上层晶棒检测时，隔板之间的晶棒在上料弹簧的弹力作用下，带动第一支撑座上升，使得下层晶棒上升，便于装置检测完成后持续上料，便于装置进行连续测试，便于增加装置检测效率；

3、该晶棒性能连续测试架通过设置有“U”型固定座和气泵，弹簧座顶部的中央安装有气泵，且气泵的输入段通过弹簧管与“U”型固定座内部负压腔的底端固定连接，便于通过气泵将反应器内部空气抽出，使得晶棒在负压的作用力下固定在“U”型固定座中央，避免晶棒检测过程中掉落，便于装置进行检测。

附图说明

图1为本实用新型的装置侧视结构示意图；

图2为本实用新型的装置俯视结构示意图；

图3为本实用新型的图1中B处放大结构示意图；

图4为本实用新型的图1中A处放大结构示意图；

图5为本实用新型的系统框图；

图中：1、检测座；2、检测头；3、定位座；4、第一电动推杆；5、测试台；6、储料箱；7、支撑杆；8、底座；9、固定卡块；10、支脚；11、红外接收器；12、挡料板；13、第一电动滑轨；14、PLC控制器；15、红外发射器；16、晶棒；17、限位杆；18、推板；19、第二电动推杆；20、立柱；21、第一支撑座；22、隔板；23、上料弹簧；24、第二固定板；25、调节块；26、第一下料口；27、下料板；28、第二下料口；29、滑槽；30、挡尘网；31、“U”型固定座；32、滑块；33、负压腔；34、压力传感器；35、第三固定板；36、第三电动推杆；37、气泵；38、弹簧座；39、第二电动滑轨；40、测距传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种晶棒性能连续测试架，包括检测头2、测试台5和底座8，底座8底部的两端皆均匀安装有支脚10，且底座8顶部的一端通过支撑杆7安装有测试台5，测试台5下方底座8顶部对中央安装有PLC控制器14，且测试台5顶部一端的两侧分别设有第一下料口26和第二下料口28，第一下料口26和第二下料口28下方的测试台5上均安装有下料板27，第一下料口26和第二下料口28上方的测试台5上均安装有挡料板12，且挡料板12和下料板27均关于第一电动滑轨13对称设置，便于通过挡料板12将隔离物料，便于检测后的物料通过下料板27落入第一下料口26和第二下料口28内部，便于分类收纳合格产品与不合格产品，便于装置的使用，且下料板27下方底座8的顶部均通过固定卡块9滑动安装有储料箱6，底座8顶部的两侧均设有与固定卡块9相互配合的固定卡槽，且储料箱6均通过固定卡块9与底座8构成抽拉式结构，储料箱6的一侧均设有可视窗，储料箱6的一侧均安装有把手，便于通过拉动把手抽拉储料箱6，便于取出储料箱6内部筛分的物料，便于装置检测筛分合格物料，便于装置的使用，测试台5顶部的一端安装有检测座1，且检测座1一侧安装有第二电动滑轨39，第二电动滑轨39的型号可为HGL30HA，第二电动滑轨39与PLC控制器14电连接，且第二电动滑轨39的内部滑动安装有检测头2，检测头2通过导线与PLC控制器14电连接，且检测头2上下两端均安装有测距传感器40，测距传感器40的型号可为GP2Y0E03，测距传感器40的输出端均与PLC控制器14输入端电性连接，且检测头2下方的测试台5顶部通过第一电动推杆4安装有定位座3，检测座1顶部的一端和定位座3的一端均安装有红外接收器11，红外接收器11的型号可为HYD2048H，且红外接收器11均通过导线与PLC控制器14电性连接，检测头2和第二电动滑轨39相互配合，检测座1和检测头2之间通过第二电动滑轨39构成滑动结构，便于通过第一电动推杆4带动定位座3进行伸缩，使得定位座3一侧的红外接收器11能接受到红外信号，便于使得第二电动滑轨39通电，使得检测头2在第二电动滑轨39上滑动，直至检测头2两端的测距传感器40感应到检测头2处于检测座1顶部与定位座3之间的中央位置处，便于装置调节检测头2的使用位置，便于装置进行检测，测试台5顶部的另一端安装有第三固定板35，第三固定板35顶部的一侧安装有压力传感器34，压力传感器34的型号可为MPX10，且压力传感器34的输出端与PLC控制器14的输入端电性连接，测试台5顶部的中央安装有第一电动滑轨13，第一电动滑轨13的型号可为HGL30HA，且第一电动滑轨13通过导线与PLC控制器14电连接，第一电动滑轨13的内部滑动安装有滑块32，且滑块32的顶部安装有弹簧座38，弹簧座38顶部的4个角位置处均安装有第三电动推杆36，且第三电动推杆36的上方设有“U”型固定座31，第一电动滑轨13和滑块32相互配合，且“U”型固定座31通过第一电动滑轨13和滑块32构成滑动结构，便于第一电动滑轨13通电，使得滑块32在第一电动滑轨13内部滑动，便于带动“U”型固定座31上的物料移动到定位座3的一端进行检测，通过定位座3发出的X射线对晶棒16进行偏转角检测，便于装置的使用，“U”型固定座31的底端均与第三电动推杆36的输出端铰接固定，且“U”型固定座31底部的中央设有负压腔33，负压腔33顶部的“U”型固定座31上安装有挡尘网30，且弹簧座38顶部的中央安装有气泵37，气泵37的型号可为SB600.3，气泵37通过导线与PLC控制器14电连接，且气泵37的输入段通过弹簧管与负压腔33的底端固定连接，底座8顶部远离测试台5的一端安装有立柱20，且立柱20一侧的顶部安装有限位杆17，限位杆17和“U”型固定座31的一端均安装有红外发射器15，红外发射器15的型号可为HIR19-21C-L11TR8，且红外发射器15均通过导线与PLC控制器14电性连接，限位杆17下方的立柱20上安装有第二电动推杆19，且第二电动推杆19的输出端安装有推板18，测试台5和立柱20之间底座8顶部的两侧均设有滑槽29，且滑槽29的内部均通过调节块25滑动安装有隔板22，滑槽29和调节块25相互配合，且调节块25的顶部均安装有固定螺栓，隔板22均通过滑槽29和调节块25构成滑动结构，便于调节块25在滑槽29内部滑动调节，便于根据物料的大小设定隔板22之间的宽度，便于装置固定不同大小的物料，隔板22之间底座8的顶部安装有第二固定板24，且第二固定板24的顶部通过上料弹簧23安装有第一支撑座21，第一支撑座21上方隔板22之间均匀固定有晶棒16。

工作原理：使用时，首先根据需要进行检测的晶棒16大小使得调节块25在滑槽29内部滑动，调节好隔板22之间的距离后固定，将晶棒16依次放置在隔板22之间，然后接通外接电源，PLC控制器14控制第二电动推杆19将晶棒16推到“U”型固定座31上，通过气泵37将反应器33内部空气抽出，使得晶棒16在负压的作用力下固定在“U”型固定座31中央，避免晶棒16检测过程中掉落，“U”型固定座31受晶棒16的重力影响压动弹簧座38下沉，这时隔板22之间的晶棒16在上料弹簧23的弹力作用下，带动第一支撑座21上升，使得晶棒16持续上料，同时第一电动滑轨13通电，使得滑块32带动“U”型固定座31移动，此时压力传感器34失去“U”型固定座31的压力信号，PLC控制器14控制2个红外发射器15发出红外信号，当检测座1上的红外接收器11接收到相应红外信号后，第一电动推杆4带动定位座3伸缩，使得定位座3一端的红外接收器11能接受到“U”型固定座31一端红外发射器15发出的信号，这时，第二电动滑轨39通电，使得检测头2在第二电动滑轨39上滑动，直至检测头2两端的测距传感器40感应到检测头2处于检测座1顶部与定位座3之间的中央位置处时静止，便于保证检测头2的中央位置与“U”型固定座31上晶棒16的轴心处于同一水平面，便于通过检测头2所产生的X射线对晶棒16进行偏角度检测，检测完成后检测头2将信号发送给PLC控制器14，使得PLC控制器14控制“U”型固定座31底部一侧的2个第三电动推杆36伸缩，从而使得“U”型固定座31向一侧倾斜，并控制气泵37停止工作，便于将检测后的晶棒16滑入第一下料口26或第二下料口28内部，通过下料板27落入相应储料箱6的内部，便于根据检测头2检测的晶棒16所产生的X射线偏角度结果，将合格晶棒16与不合格晶棒16进行分类储存，完成晶棒16的性能检测，下料完成后的第三电动推杆36伸缩，使得4个第三电动推杆36呈同一水平面，使得“U”型固定座31恢复成水平位置，并在滑块32的带动下回到第三固定板35一侧，当压力传感器34感应到“U”型固定座31的压力时，第二电动推杆19将隔板22之间的晶棒16推动到“U”型固定座31上，便于装置进行连续性测试，便于装置的使用。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种晶棒性能连续测试架，包括检测头(2)、测试台(5)和底座(8)，其特征在于：所述底座(8)底部的两端皆均匀安装有支脚(10)，且底座(8)顶部的一端通过支撑杆(7)安装有测试台(5)，所述测试台(5)下方底座(8)顶部对中央安装有PLC控制器(14)，且测试台(5)顶部一端的两侧分别设有第一下料口(26)和第二下料口(28)，所述第一下料口(26)和第二下料口(28)下方的测试台(5)上均安装有下料板(27)，且下料板(27)下方底座(8)的顶部均通过固定卡块(9)滑动安装有储料箱(6)，所述测试台(5)顶部的一端安装有检测座(1)，且检测座(1)一侧安装有第二电动滑轨(39)，所述第二电动滑轨(39)与PLC控制器(14)电连接，且第二电动滑轨(39)的内部滑动安装有检测头(2)，所述检测头(2)通过导线与PLC控制器(14)电连接，且检测头(2)上下两端均安装有测距传感器(40)，所述测距传感器(40)的输出端均与PLC控制器(14)输入端电性连接，且检测头(2)下方的测试台(5)顶部通过第一电动推杆(4)安装有定位座(3)，所述检测座(1)顶部的一端和定位座(3)的一端均安装有红外接收器(11)，且红外接收器(11)均通过导线与PLC控制器(14)电性连接，所述测试台(5)顶部的另一端安装有第三固定板(35)，所述第三固定板(35)顶部的一侧安装有压力传感器(34)，且压力传感器(34)的输出端与PLC控制器(14)的输入端电性连接，所述测试台(5)顶部的中央安装有第一电动滑轨(13)，且第一电动滑轨(13)通过导线与PLC控制器(14)电连接，所述第一电动滑轨(13)的内部滑动安装有滑块(32)，且滑块(32)的顶部安装有弹簧座(38)，所述弹簧座(38)顶部的4个角位置处均安装有第三电动推杆(36)，且第三电动推杆(36)的上方设有“U”型固定座(31)，所述“U”型固定座(31)的底端均与第三电动推杆(36)的输出端铰接固定，且“U”型固定座(31)底部的中央设有负压腔(33)，所述负压腔(33)顶部的“U”型固定座(31)上安装有挡尘网(30)，且弹簧座(38)顶部的中央安装有气泵(37)，所述气泵(37)通过导线与PLC控制器(14)电连接，且气泵(37)的输入段通过弹簧管与负压腔(33)的底端固定连接，所述底座(8)顶部远离测试台(5)的一端安装有立柱(20)，且立柱(20)一侧的顶部安装有限位杆(17)，所述限位杆(17)和“U”型固定座(31)的一端均安装有红外发射器(15)，且红外发射器(15)均通过导线与PLC控制器(14)电性连接，所述限位杆(17)下方的立柱(20)上安装有第二电动推杆(19)，且第二电动推杆(19)的输出端安装有推板(18)，所述测试台(5)和立柱(20)之间底座(8)顶部的两侧均设有滑槽(29)，且滑槽(29)的内部均通过调节块(25)滑动安装有隔板(22)，所述隔板(22)之间底座(8)的顶部安装有第二固定板(24)，且第二固定板(24)的顶部通过上料弹簧(23)安装有第一支撑座(21)，所述第一支撑座(21)上方隔板(22)之间均匀固定有晶棒(16)。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述检测头(2)和第二电动滑轨(39)相互配合，检测座(1)和检测头(2)之间通过第二电动滑轨(39)构成滑动结构。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述底座(8)顶部的两侧均设有与固定卡块(9)相互配合的固定卡槽，且储料箱(6)均通过固定卡块(9)与底座(8)构成抽拉式结构，所述储料箱(6)的一侧均设有可视窗，储料箱(6)的一侧均安装有把手。

4.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述第一电动滑轨(13)和滑块(32)相互配合，且“U”型固定座(31)通过第一电动滑轨(13)和滑块(32)构成滑动结构。

5.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述第一下料口(26)和第二下料口(28)上方的测试台(5)上均安装有挡料板(12)，且挡料板(12)和下料板(27)均关于第一电动滑轨(13)对称设置。

6.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述滑槽(29)和调节块(25)相互配合，且调节块(25)的顶部均安装有固定螺栓，所述隔板(22)均通过滑槽(29)和调节块(25)构成滑动结构。