CN208938932U - 一种晶圆批次识别装置 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆批次识别装置，包括置物台、晶圆传送盒以及信息识别机构，所述置物台上放置晶圆传送盒，所述晶圆传送盒为中空壳体，壳体上设有射频芯片，射频芯片可承载晶圆批次信息以及各道工序处理后的详细结果，所述信息识别机构包括射频读写器、信号转换器以及控制器，射频读写器设置于置物台上，射频读写器可同时对任意一个射频芯片上的信息进行读取，并可对信息进行修改更正，射频读写器通过信号转换器和控制器连接。本实用新型的有益效果为：该装置采用射频芯片技术对晶圆批次信息进行识别，从而及时了解本批芯片制造过程中出现的缺陷。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体集成电路制作领域，尤其涉及一种晶圆批次识别装置。
背景技术
在集成电路的制作过程中，每个工艺环节都可能产生各种缺陷，尤其是重复次数最多的光刻工艺，有报道显示，由于光刻引入的工艺缺陷几乎占整个工艺流程总缺陷的50％。这些缺陷将直接影响器件的性能，成品率和可靠性，甚至造成整批晶圆的返工或报废，对产能和成本影响较大。如何在集成电路的制作过程中，快速有效的发现芯片制造过程中的各种缺陷，提高生产效率、降低废品率，是目前亟需解决的技术问题之一。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆批次识别装置，该装置采用射频芯片技术对晶圆批次信息进行识别，从而及时了解本批芯片制造过程中出现的缺陷。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种晶圆批次识别装置，包括置物台、晶圆传送盒以及信息识别机构，所述置物台上放置晶圆传送盒，所述晶圆传送盒为中空壳体，壳体上设有射频芯片，射频芯片可承载晶圆批次信息以及各道工序处理后的详细结果，所述信息识别机构包括射频读写器、信号转换器以及控制器，射频读写器设置于置物台上，射频读写器可同时对任意一个射频芯片上的信息进行读取，极大提高了晶圆的缺陷检测效率，并可对信息进行修改更正，保证了信息的准确性，射频读写器通过信号转换器和控制器连接；
相应的，置物台上设置底板，底板上设置安装口，安装口上设置射频读写器；
相应的，晶圆传送盒内设置有多层晶圆支承结构，每层支承结构由相对设置的两块支承板组成，两块支承板共同支承一块晶圆；
相应的，晶圆传送盒的底部设置安装孔，用于安装射频芯片；
相应的，晶圆传送盒外侧设置对应的手持结构，便于晶圆传送盒的拿取；
相应的，射频芯片内储存晶圆批次信息以及各道工序处理信息。
本实用新型的有益效果为：
1)射频芯片可承载晶圆批次信息以及各道工序处理后的详细结果，而且信息内容可在任意一台射频读写器上进行读取和修改；
2)读、写装置的总体尺寸更小，由于是无接触式读写，具有抗损毁能力。
3)可以对多个晶圆盒上的信息进行同时读取，大大提高了晶圆的缺陷检测效率。
附图说明
图1是本实用新型一实施例中所述的晶圆检测装置结构示意图；
图2是图1中A部分的放大图；
图中：
1、置物台；2、晶圆传送盒；3、射频芯片；4、射频读写器；5、信号转换器；6、控制器；7、底板；8、支承板；9、晶圆。
具体实施方式
如图1、2所示，在本实用新型的一个实施例中，晶圆批次检测装置包括置物台1、晶圆传送盒2以及信息识别机构，置物台1上设置底板7，底板7上设置安装口，安装口上设置射频读写器4，晶圆传送盒2为中空壳体，其底部设置安装孔，用于安装射频芯片3，其内设置有多层晶圆支承结构，每层支承结构由相对设置的两块支承板8组成，两块支承板8共同支承一块晶圆9，晶圆传送盒2外侧设置对应的手持结构(图中未画出)，通过手持结构将晶圆9放置于置物台1上，信息识别机构包括射频读写器4、信号转换器5以及控制器6，射频读写器4设置于底板7上，射频读写器4同射频芯片3信号连接，射频读写器4通过信号转换器5和控制器6连接。
当晶圆传送盒2被送入置物台1时，射频芯片3通过无线电信号将该射频芯片3上的信息传送到射频读写器4中，在射频读写器4中可进行信息的读取或修改，在确定信息无误后通过信号转换器5将电信号转化为数字信号传送到控制器6。通过射频读写器4读取的信息包括晶圆批次信息和各道工序处理后的详细结果，例如可包括以宏观或微观的观测方式了解的芯片图形的细节状况，该信息经控制器6自动送至工厂管理信息流中，从而及时了解本批芯片制造过程中出现的缺陷。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (6)
1.一种晶圆批次识别装置，包括置物台、晶圆传送盒以及信息识别机构，其特征在于：所述置物台上放置晶圆传送盒，所述晶圆传送盒为中空壳体，壳体上设有射频芯片，所述信息识别机构包括射频读写器、信号转换器以及控制器，射频读写器设置于置物台上，射频读写器通过信号转换器和控制器连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆批次识别装置，其特征在于：所述置物台上设置底板，所述底板上设置安装口，所述安装口上设置射频读写器。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆批次识别装置，其特征在于：所述晶圆传送盒内设置有多层晶圆支承结构，每层所述支承结构由相对设置的两块支承板组成。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆批次识别装置，其特征在于：所述晶圆传送盒的底部设置安装孔。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆批次识别装置，其特征在于：所述晶圆传送盒外侧设置对应的手持结构。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆批次识别装置，其特征在于：所述射频芯片内储存晶圆批次信息以及各道工序处理信息。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821711234.7U CN208938932U (zh) | 2018-10-22 | 2018-10-22 | 一种晶圆批次识别装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821711234.7U CN208938932U (zh) | 2018-10-22 | 2018-10-22 | 一种晶圆批次识别装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208938932U true CN208938932U (zh) | 2019-06-04 |
Family
ID=66725422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821711234.7U Active CN208938932U (zh) | 2018-10-22 | 2018-10-22 | 一种晶圆批次识别装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN208938932U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114724986A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-07-08 | 江苏道达智能科技有限公司 | 一种晶圆制备用eap设备自动化系统 |
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2018
- 2018-10-22 CN CN201821711234.7U patent/CN208938932U/zh active Active
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