CN208917343U - 一种带有固化碳毡的单晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种带有固化碳毡的单晶炉，包括炉壳，在炉壳的内腔中同轴嵌套有石墨壳，位于是石墨壳与炉壳的内壁之间设置有保温夹层，所述的保温夹层由内至外依次为第一固化碳毡层、胶黏剂层、第二固化碳毡层，所述的第一固化碳毡层由相连多层的第一固化碳毡相构成，所述的第二固化碳毡层由相连多层的第二固化碳毡相构成，第二固化碳毡的厚度大于第一固化碳毡的厚度，采用了多层厚度不同的固化碳毡作为隔热材料，多层厚度不同的隔热结构形成了多个封闭容器，每个封闭容器的热量流入另一个封闭容器都会受到较大阻力，因此实现了高阻隔性能的特点，在旋盘上放设置隔板，隔板上穿入了旋轴，旋盘旋转可以保证均匀受热并搅动内腔保证上下热场均匀。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶制备装置领域中的硅晶加热装置领域，特别适用于提供一种均匀的热场，尤其涉及一种带有固化碳毡的单晶炉。
背景技术
现有技术中的单晶炉的热场均匀度较差，并且流失速率快，这样在后续的生产过程中会导致单晶头部温度波动太大，从而发生同心圆等缺陷，因此为了严格控制单晶炉内热场需要做到保持内部温度更迭速度，并且保持腔温与外部环境的完全隔离。
实用新型内容
实用新型目的，本实用新型针对上述现有单晶炉的热场不均匀隔温效果差的问题，而提供了一种带有固化碳毡的单晶炉，其实现了高效的保温性和高效的热场均匀性。
本实用新型所要解决的问题是由以下技术方案实现的：
一种带有固化碳毡的单晶炉，其包括炉壳，在炉壳的内腔中同轴嵌套有石墨壳，位于是石墨壳与炉壳的内壁之间设置有保温夹层；
所述的保温夹层由内至外依次为第一固化碳毡层、胶黏剂层、第二固化碳毡层，所述的第一固化碳毡层由多层依次相连的第一固化碳毡相构成，所述的第二固化碳毡层由多层依次相连的第二固化碳毡相构成，第二固化碳毡的厚度大于第一固化碳毡的厚度。
进一步的，所述的第一固化碳毡连接固化成型，所述的各个第二固化碳毡通过胶粘剂连接固化成型。
进一步的，第一固化碳毡层与第二固化碳毡层之间的每个相对面上都铺覆有石墨粉层。
进一步的，还包括隔板，所述的炉壳通过隔板分隔为上腔室和下腔室，位于下腔室中设有旋转电机，在隔板上枢接旋轴，所述的旋转电机的驱动端与旋轴相连，在旋轴的顶端同心固定有旋盘。
进一步的，所述的旋盘位于石墨壳中，在石墨壳的内壁上附着有加热盘管，加热盘管的两极端都插入延伸入下腔室内。
本实用新型相对于现有而言具有的有益效果：
采用了多层厚度不同的固化碳毡作为隔热材料，多层厚度不同的隔热结构形成了多个封闭容器，每个封闭容器的热量流入另一个封闭容器都会受到较大阻力，因此实现了高阻隔性能的特点。
附着了石墨粉层，石墨粉层可以在物理层面形形成镀膜的效果，可以进一步的锁住热能，防止流失。
在旋盘上放设置隔板，隔板上穿入了旋轴，旋轴与隔板的连接处采用推力轴承并包覆隔热材料，上下都附着隔热材料，隔热材料与推力轴承之间还采用隔热胶固定。
附图说明
图1是本专利的整体结构图。
图2是本专利的石墨壳、保温夹层和炉壳的结构关系图。
图3是本专利的保温夹层的截面结构图。
其中，炉壳1、石墨壳2、保温夹层3、旋转电机4、旋盘5、坩埚6、导流瓣7、第二固化碳毡层3a、第一固化碳毡层3b。
具体实施方式
根据图1-3对本实用新型做进一步说明：
一种带有固化碳毡的单晶炉，包括炉壳，在炉壳的内腔中同轴嵌套有石墨壳，位于是石墨壳与炉壳的内壁之间设置有保温夹层；
所述的保温夹层由内至外依次为第一固化碳毡层、胶黏剂层、第二固化碳毡层，所述的第一固化碳毡层由多层依次相连的第一固化碳毡相构成，所述的第二固化碳毡层由多层依次相连的第二固化碳毡相构成，第二固化碳毡的厚度大于第一固化碳毡的厚度，所述的第一固化碳毡依次连接固化成型，所述的各个第二固化碳毡通过胶粘剂连接固化成型，第一固化碳毡层与第二固化碳毡层相对应的的每个相对面即第一固化碳毡层的右面与相对应的第一固化碳毡层的左面上都铺覆有石墨粉层。
为保证良好的热场均匀性，还设有隔板，所述的炉壳通过隔板分隔为上腔室和下腔室，位于下腔室中设有旋转电机，在隔板上枢接旋轴，所述的旋转电机的驱动端与旋轴相连，在旋轴的顶端同心固定有旋盘，所述的旋盘位于石墨壳中，在石墨壳的内壁上附着有加热盘管，加热盘管的两极端都插入延伸入下腔室内，加热盘管的两极通电后开始加热，并在旋盘上固定一坩埚，位于炉壳的顶端还设有一圈导流瓣，导流瓣的内壁为坡面，坡面刚好延伸至坩埚的壁沿上。
以下对本实用新型做进一步说明：
在使用过程中，旋转电机4带动旋轴进而带动旋盘5旋转近而带动坩埚6转动，此时启动加热盘管，对炉腔进行加热，坩埚6在旋盘带带动下缓缓转动，因为为多层隔热结构，可以更好的保留热量。
Claims (5)
1.一种带有固化碳毡的单晶炉，其特征在于：包括炉壳(1)，在炉壳的内腔中同轴嵌套有石墨壳(2)，位于是石墨壳与炉壳的内壁之间设置有保温夹层(3)；
所述的保温夹层由内至外依次为第一固化碳毡层(3b)、胶黏剂层、第二固化碳毡层(3a)，所述的第一固化碳毡层由相连多层的第一固化碳毡相构成，所述的第二固化碳毡层由相连多层的第二固化碳毡相构成，第二固化碳毡的厚度大于第一固化碳毡的厚度。
2.根据权利要求1所述的一种带有固化碳毡的单晶炉，其特征在于：所述的第一固化碳毡连接固化成型，所述的各个第二固化碳毡通过胶粘剂连接固化成型。
3.根据权利要求1所述的一种带有固化碳毡的单晶炉，其特征在于：第一固化碳毡层与第二固化碳毡层之间的每个相对面上都铺覆有石墨粉层。
4.根据权利要求1所述的一种带有固化碳毡的单晶炉，其特征在于：还包括隔板，所述的炉壳通过隔板分隔为上腔室和下腔室，位于下腔室中设有旋转电机(4)，在隔板上枢接旋轴，所述的旋转电机的驱动端与旋轴相连，在旋轴的顶端同心固定有旋盘(5)。
5.根据权利要求4所述的一种带有固化碳毡的单晶炉，其特征在于：所述的旋盘位于石墨壳中，在石墨壳的内壁上附着有加热盘管，加热盘管的两极端都插入延伸入下腔室内。
Priority Applications (1)
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| CN201821588782.5U CN208917343U (zh) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | 一种带有固化碳毡的单晶炉 |
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Publications (1)
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| CN208917343U true CN208917343U (zh) | 2019-05-31 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2018
- 2018-09-28 CN CN201821588782.5U patent/CN208917343U/zh active Active
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