CN208872192U - 一种简易激光刻字测量工具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体加工技术领域。一种简易激光刻字测量工具，包括一用于支撑硅片的支撑板以及亚克力制成的测量尺，测量尺与支撑板上下设置；支撑板的横截面面积小于测量尺的横截面面积；测量尺是一与硅片的外轮廓相匹配的圆形片，圆形片的径向外围开设有两个V形槽，且两个V形槽的间隔角度为90°；测量尺的外圆周上均匀分布有用于测量角度的刻度线，测量尺上还设有两个相互垂直的刻度线，两个相互垂直的刻度线的交点处于圆形片的中心轴线上；还包括至少一个限位块，所有的限位块均与支撑板的径向外围相连，且所有的限位块还与测量尺的径向外围相连。本专利通过测量尺上设有刻度线，便于通过俯视，即可实现对硅片上的刻字字符通过刻度线进行参数测量。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及测量工具。
背景技术
硅片在加工过程中，根据客户需要在硅片对应位置使用激光刻出字符，激光刻字位置一般在硅片边缘处，当硅片被切成小方格时激光刻字区域会被去掉。
半导体制造领域“混片”是极为重大的事故，激光刻字主要用来预防混片，除此之外，在硅片切割时以刻字字符在硅片上的具体位置为参考对硅片进行切割，因此，激光刻字字符的内容以及字符位置是极为重要的参数。
硅片加工的国际标准“SEMI M12/SEMI M13”中对激光刻字有详细的要求，刻字要求中包括对刻字的位置、刻字的长度参数。
刻字字符位置以及长度由于远超出普通显微镜量程范围，因此测量时使用普通直尺进行测量。
刻字字符位置方面除以上两种标准的刻字规格外，也存在激光刻字字符与硅片直径有一定角度的规格，需要使用到普通量角器进行测量。
测量激光刻字字符长度时使用普通直尺直接进行测量，测量刻字字符距离硅片中心长度以及字符与直径的角度时需要现在硅片上添加辅助线找出硅片中心点。
使用目前这种测量方式存在几点弊端：1、使用直尺测量，直尺容易晃动影响测量读数；2、测量字符距离硅片中心位置及字符与直径的角度时，需要在硅片表面添加辅助线，容易划伤硅片造成不良；3、当刻字位置出现在硅片上V型槽对面位置时较难将字符位置中心位置对准硅片中心线；4、使用目前测量方式花费较长的测量时间。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种简易激光刻字测量工具，以解决上述至少一个技术问题。
本实用新型的技术方案是：一种简易激光刻字测量工具，其特征在于，包括一用于支撑硅片的支撑板以及亚克力制成的测量尺，所述测量尺与所述支撑板上下设置；
所述支撑板的横截面面积小于所述测量尺的横截面面积；
所述测量尺是一与硅片的外轮廓相匹配的圆形片，所述圆形片的径向外围开设有两个V形槽，且两个V形槽的间隔角度为90°；
所述测量尺的外圆周上均匀分布有用于测量角度的刻度线，所述测量尺上还设有两个相互垂直的刻度线，两个相互垂直的刻度线的交点处于圆形片的中心轴线上；
还包括至少一个限位块，所有的限位块均与所述支撑板的径向外围相连，且所有的限位块还与测量尺的径向外围相连，所述限位块靠近支撑板的侧面为用于接触硅片侧的接触面。
本专利的改良点在于：(1)通过测量尺上设有刻度线，便于通过俯视，即可实现对硅片上的刻字字符通过刻度线进行参数测量(包括刻字字符距离硅片中心的距离以及刻字字符的倾斜角度)。刻度线还可以根据需求设置进行增设。
(2)本专利通过V形槽，便于与硅片上的两个V形槽进行对位，并通过该限位块的结合，便于保证硅片与测量尺两者相对位置的设置，便于对硅片进行测量。
(3)通过支撑板便于实现对硅片的支撑。
进一步优选为，两个相互垂直的刻度线的延伸方向分别朝向两个V形槽的尖端。一般刻字字符的中心设置在V形槽尖端与硅片中心的连线上。以便于对刻字字符距离硅片中心的测量。
进一步优选为，所述测量尺上设有两个定位框，两个定位框分别设置在靠近V形槽处，且两个V形槽的尖端分别指向两个定位框的中心。
由于符合国际标准“SEMI M12/SEMI M13”的两种刻字要求，分别是位于两个靠近V形槽处，本专利通过定位框，便于直观的看到，刻字字符是否刻设在需求的位置内。
所述定位框可以是刻设在所述测量尺上的长方体状凹槽，所述长方体状凹槽的开口向上。
或者，所述定位框可以是矩形沟道，所述矩形沟道内涂覆有颜料层。
便于实现刻字字符是否在定位框内，即可知晓刻字字符是否符合需求。
进一步优选为，两个限位块与所述支撑板焊接相连；
两个限位块与所述测量尺插接。
便于实现不同测量需求的测量尺的更换。
或者，两个限位块与所述支撑板焊接相连；
两个限位块与测量尺焊接相连。
便于整体运输。
所述支撑板的上表面覆盖有一陶瓷涂层。
降低支撑板与硅片的污染。
附图说明
图1为本实用新型的俯视状态下的一种结构示意图；
图2为本实用新型的仰视状态下的一种结构示意图；
图3为本实用新型测量尺上未刻设有刻度线状态下的一种立体图。
图中：1为限位块，2为测量尺，3为V形槽，4为定位框，5为支撑板，41为第一定位框，42为第二定位框。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
参见图1、图2以及图3，一种简易激光刻字测量工具，包括一用于支撑硅片的支撑板5以及亚克力制成的测量尺2，测量尺2与支撑板5上下设置；支撑板5的横截面面积小于测量尺2的横截面面积；测量尺2是一与硅片的外轮廓相匹配的圆形片，圆形片的径向外围开设有两个V形槽3，且两个V形槽3的间隔角度为90°；测量尺2的外圆周上均匀分布有用于测量角度的刻度线，测量尺2上还设有两个相互垂直的刻度线，两个相互垂直的刻度线的交点处于圆形片的中心轴线上；还包括至少一个限位块1，所有的限位块1均与支撑板5的径向外围相连，且所有的限位块1还与测量尺2的径向外围相连，限位块1靠近支撑板5的侧面为用于接触硅片侧的接触面。本专利的改良点在于：(1)通过测量尺2上设有刻度线，便于通过俯视，即可实现对硅片上的刻字字符通过刻度线进行参数测量(包括刻字字符距离硅片中心的距离以及刻字字符的倾斜角度)。刻度线还可以根据需求设置进行增设。本专利通过V形槽3，便于与硅片上的两个V形槽3进行对位，并通过该限位块1的结合，便于保证硅片与测量尺2两者相对位置的设置，便于对硅片进行测量。通过支撑板5便于实现对硅片的支撑。
两个相互垂直的刻度线的延伸方向分别朝向两个V形槽3的尖端。一般刻字字符的中心设置在V形槽3尖端与硅片中心的连线上。以便于对刻字字符距离硅片中心的测量。
测量尺2上设有两个定位框4，两个定位框4分别设置在靠近V形槽3处，且两个V形槽3的尖端分别指向两个定位框4的中心。由于符合国际标准“SEMI M12/SEMI M13”的两种刻字要求，分别是位于两个靠近V形槽3处，本专利通过定位框4，便于直观的看到，刻字字符是否刻设在需求的位置内。定位框4可以是刻设在测量尺2上的长方体状凹槽，长方体状凹槽的开口向上。或者，定位框4可以是矩形沟道，矩形沟道内涂覆有颜料层。便于实现刻字字符是否在定位框4内，即可知晓刻字字符是否符合需求。图1中设有两个定位框分别为符合国际标准“SEMI M12”的第一定位框41以及符合国际标准“SEMI M13”的第二定位框42。
测量尺上所有的刻度线均为雕刻构成的沟槽，沟槽内涂覆有一颜料层。颜料层的上方涂覆有一荧光涂层。荧光涂层防止颜料层的脱落，对颜料层的保护的同时，还可以实现荧光显色的效果。
两个相互垂直的刻度线为主测量线；测量尺上还刻设有分别与主测量线垂直的辅助测量线。以用于非标的刻字字符方位下，刻字字符长度的测量。
进一步优选为，两个限位块1与支撑板5焊接相连；两个限位块1与测量尺2插接。便于实现不同测量需求的测量尺2的更换。或者，两个限位块1与支撑板5焊接相连；两个限位块1与测量尺2焊接相连。便于整体运输。
支撑板5的上表面覆盖有一陶瓷涂层。降低支撑板5与硅片的污染。支撑板与测量尺的间距大于硅片的厚度，且小于硅片厚度的3倍。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种简易激光刻字测量工具，其特征在于，包括一用于支撑硅片的支撑板以及亚克力制成的测量尺，所述测量尺与所述支撑板上下设置；
所述支撑板的横截面面积小于所述测量尺的横截面面积；
所述测量尺是一与硅片的外轮廓相匹配的圆形片，所述圆形片的径向外围开设有两个V形槽，且两个V形槽的间隔角度为90°；
所述测量尺的外圆周上均匀分布有用于测量角度的刻度线，所述测量尺上还设有两个相互垂直的刻度线，两个相互垂直的刻度线的交点处于圆形片的中心轴线上；
还包括至少一个限位块，所有的限位块均与所述支撑板的径向外围相连，且所有的限位块还与测量尺的径向外围相连，所述限位块靠近支撑板的侧面为用于接触硅片侧的接触面。
2.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：两个相互垂直的刻度线的延伸方向分别朝向两个V形槽的尖端。
3.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：所述测量尺上设有两个定位框，两个定位框分别设置在靠近V形槽处，且两个V形槽的尖端分别指向两个定位框的中心。
4.根据权利要求3所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：所述定位框是刻设在所述测量尺上的长方体状凹槽，所述长方体状凹槽的开口向上。
5.根据权利要求3所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：所述定位框是矩形沟道，所述矩形沟道内涂覆有颜料层。
6.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：两个限位块与所述支撑板焊接相连；
两个限位块与所述测量尺插接。
7.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：两个限位块与所述支撑板焊接相连；
两个限位块与测量尺焊接相连。
8.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：所述支撑板的上表面覆盖有一陶瓷涂层。
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