CN208862004U - 一种水膜保护装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域，具体涉及一种水膜保护装置，包括：架体，待喷淋物置于所述架体上；至少一组喷淋装置，所述喷淋装置的进口通过喷淋管路连接至喷淋液储存装置，所述喷淋装置的出口朝向所述待喷淋物设置；支撑装置，设于所述喷淋管路的一侧，包括设置在所述架体上的第一固定板和与所述第一固定板连接，用于固定所述喷淋装置的第二固定板。本实用新型解决了现有技术中水泵每次喷涌出的水量有偏差，容易造成硅片边缘少刻或者过刻的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域，具体涉及一种水膜保护装置。
背景技术
刻蚀是太阳能电池片制造过程中的关键一步，刻蚀的好坏直接影响到电池片性能的好坏，传统的工艺一般使用“漫涌”，即使用小水泵喷出小水花，利用药水的粘滞力蚀刻硅片的底部及周边。但是水泵每次喷涌出的水量有偏差，容易造成硅片边缘少刻或者过刻现象，使得硅片不良率上升的问题。
实用新型内容
因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中水泵每次喷涌出的水量有偏差，容易造成硅片边缘少刻或者过刻，导致硅片不良率上升的缺陷，从而提供一种有效避免刻蚀对硅片边缘过刻的水膜保护装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种水膜保护装置，包括：
架体，待喷淋物置于所述架体上；
至少一组喷淋装置，所述喷淋装置的进口通过喷淋管路连接至喷淋液储存装置，所述喷淋装置的出口朝向所述待喷淋物设置；
支撑装置，设于所述喷淋管路的一侧，包括设置在所述架体上的第一固定板和与所述第一固定板连接，用于固定所述喷淋装置的第二固定板。
进一步，所述喷淋装置包括设置在所述第二固定板上的微型水泵、与所述微型水泵连接的第三固定板以及设于所述第三固定板上的若干喷嘴组件。
进一步，所述喷嘴组件包括内置有通孔的刀面和与所述通孔贯通设置的喷嘴。
进一步，还包括设于喷淋液储存装置与所述喷淋管路之间的稳压装置。
进一步，所述稳压装置为稳压桶。
进一步，所述喷淋管路包括与所述稳压装置的出口连接的主管路和并联在所述主管路上的若干子管路，所述子管路的出口分别连通至喷淋装置的进口。
进一步，所述喷嘴的直径为0.02-0.07微米。
1.本实用新型提供的水膜保护装置：喷淋液储存装置通过喷淋管路为喷淋装置提供需要喷淋的液体，喷淋液体为纯水，将硅片放置在架体上，喷淋装置的出口朝向硅片设置，喷淋装置直接对硅片进行喷淋，在喷淋管路上设置有控制纯水流量的阀体，通过控制喷淋管路上的阀体和喷淋装置来控制纯水的喷出量，且由于喷淋装置通过第一固定板和第二固定板固定在架体上，这样即使纯水的出水量较大或流速较快，也能保证喷淋装置不会发生晃动，纯水在硅片的表面形成一层厚度均匀的水膜，避免了硅片边缘少刻或者过刻，提高了硅片的质量，降低了硅片在生产过程中的不良率。
2.本实用新型提供的水膜保护装置：所述喷嘴组件包括内置有通孔的刀面和与所述通孔贯通设置的喷嘴。在刀面的内部设置有允许纯水通过的通孔，和与刀面连通的喷嘴，在靠近喷嘴的刀面处设有内螺纹，喷嘴与刀面螺纹连接，螺纹连接的结构简单，连接可靠，便于装拆与维修。
3.本实用新型提供的水膜保护装置：所述喷嘴的直径为0.02-0.07微米。使得喷出来的纯水呈雾状，在硅片的表面形成一层均匀的水膜，避免因喷出来的纯水过量，导致出现硅片在后序的工序中不易吹干的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型提供的水膜保护装置的结构示意图；
图2为图1中喷淋装置的结构示意图。
附图标记说明：
1-喷嘴；2-刀面；3-第三固定板；4-第二固定板；5-微型水泵；
6-喷淋管路；7-喷淋液储存装置；8-控制器；9-稳压装置；10-主管路；
11-子管路；12-架体；13-第一固定板；14-支撑装置。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
如图1和2所示的一种水膜保护装置，包括：架体12，待喷淋物置于所述架体12上；至少一组喷淋装置，所述喷淋装置的进口通过喷淋管路6连接至喷淋液储存装置7，所述喷淋装置的出口朝向所述待喷淋物设置；支撑装置14，设于所述喷淋管路6的一侧，包括设置在所述架体12上的第一固定板13和与所述第一固定板13连接，用于固定所述喷淋装置的第二固定板4。
上述水膜保护装置，喷淋液储存装置7通过喷淋管路6为喷淋装置提供需要喷淋的液体，喷淋液体为纯水，待喷淋物为硅片，将硅片按顺序成排放置在架体12上，喷淋装置的出口朝向硅片设置，喷淋装置直接对硅片进行喷淋，在喷淋管路6上设置有控制纯水流量的阀体，通过控制单元8控制喷淋管路6上的阀体和喷淋装置来控制纯水的喷出量，且由于喷淋装置通过第一固定板和第二固定板固定在架体上，这样即使纯水的出水量较大或流速较快，也能保证喷淋装置不会发生晃动，纯水在硅片的表面形成一层厚度均匀的水膜，避免了硅片边缘少刻或者过刻，提高了硅片的质量，降低了硅片在生产过程中的不良率。
在架体12中间设有用于连接两支撑杆的连接件，由于架体12的长度过长，需要辅助连接件作为连接来保证架体12的支撑强度及连接刚度。
在本实施例中至少一组喷淋装置为八组，喷淋装置越多，喷淋的硅片越多，单位时间完成的工作量越大，提高工作效率高。
所述喷淋装置包括设置在所述第二固定板4上的微型水泵5、与所述微型水泵5连接的第三固定板3以及设于所述第三固定板3上的若干喷嘴组件。具体地，所述喷嘴组件包括内置有通孔的刀面2和与所述通孔贯通设置的喷嘴1。
喷淋装置包括微型水泵5、刀面2和喷嘴1，微型水泵5中的纯水经过刀面2由喷嘴1喷出，在刀面2的内部设置有允许纯水通过的通孔，和与刀面连通的喷嘴1，在靠近喷嘴1的刀面处设有内螺纹，喷嘴1与刀面螺纹连接，螺纹连接的结构简单，连接可靠，便于装拆与维修。在本实施例中，喷嘴1为九个。
还包括设于喷淋液储存装置7与所述喷淋管路6之间的稳压装置9。具体地，所述稳压装置9为稳压桶。
喷淋液储存装置内的纯水通过气动阀或手动阀输送给稳压装置9，起到了稳定纯水压力的作用，防止喷淋液储存装置7直接将纯水输送给喷淋管路6，使得喷淋装置喷出的纯水压力不稳定，导致硅片表面喷淋不均匀的问题。
稳压装置9内纯水的添加或补给由稳压装置9内的液位控制，当稳压装置9内的液位处于低水位时，控制器8及时给稳压装置9添加纯水，当液位处于超高水位或正常水位时，则不需要添加纯水。
所述喷淋管路6包括与所述稳压装置9的出口连接的主管路10和并联在所述主管路10上的若干子管路11，所述子管路11的出口分别连通至喷淋装置的进口。
喷淋管路6的主管路10与稳压装置9连通，并联在所述主管路10上的若干子管路11分别与喷淋装置上的微型水泵5连接，且子管路11与微型水泵5一一对应，相对于喷淋管路6的主管路10直接与微型水泵5相连的结构，使输送的液体压力更稳定，子管路11同时也起到了支撑的作用，与第一固定板13和第二固定板4配合，共同将喷淋装置固定，使其不会因液体的流量或压力过大导致喷出的液体发生偏移。
具体地，子管路11与微型水泵5均为8个。
作为一种具体的实施方式，喷嘴1的直径为0.02-0.07微米。这样设计的目的是使得喷出来的纯水呈雾状，在硅片的表面形成一层均匀的水膜，避免因喷出来的纯水过量，导致出现硅片在后序的工序中不易吹干的问题。
本实用新型提供的一种水膜保护装置的具体工作过程：喷淋液储存装置7与稳压装置9连通，喷淋管路6的主管路10与稳压装置9连通，并联在主管路10上的若干子管路11分别与喷淋装置上的微型水泵5连接，微型水泵5中的纯水经过刀面2由喷嘴1喷出，将硅片放置在架体12上，喷嘴1的出口朝向硅片设置，进入喷嘴1中的纯水直接对硅片进行喷淋，在喷淋管路6上设置有控制纯水流量的阀体，通过控制单元8控制喷淋管路6上的阀体和喷淋装置来控制纯水的喷出量，由于喷淋装置牢固安装在支撑装置14的第二固定板4上，从而保证了喷淋装置在喷水时的稳定性，进而在硅片的表面形成一层厚度均匀的水膜，避免了硅片边缘少刻或者过刻，提高了硅片的质量，降低了硅片在生产过程中的不良率。
水膜保护装置通常与抛光深沟槽滚轮配套使用，抛光滚轮有很强的带液作用，且传动速度不大，不会造成药水飞溅情况，只会将药水均匀地腐蚀硅片下表面及周边，偶尔的药水进入硅片上表面，但是由于纯水的稀释作用，也不会造成硅片的过刻现象，由于用到的是纯水，不会对硅片蚀刻工艺造成影响，对环境的排放不增加负担，避免了硅片边缘少刻或者过刻，提高了硅片的质量，降低了硅片在生产过程中的不良率。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
Claims (7)
1.一种水膜保护装置，其特征在于，包括：
架体(12)，待喷淋物置于所述架体(12)上；
至少一组喷淋装置，所述喷淋装置的进口通过喷淋管路(6)连接至喷淋液储存装置(7)，所述喷淋装置的出口朝向所述待喷淋物设置；
支撑装置(14)，设于所述喷淋管路(6)的一侧，包括设置在所述架体(12)上的第一固定板(13)和与所述第一固定板(13)连接，用于固定所述喷淋装置的第二固定板(4)。
2.根据权利要求1所述的水膜保护装置，其特征在于，所述喷淋装置包括设置在所述第二固定板(4)上的微型水泵(5)、与所述微型水泵(5)连接的第三固定板(3)以及设于所述第三固定板(3)上的若干喷嘴组件。
3.根据权利要求2所述的水膜保护装置，其特征在于，所述喷嘴组件包括内置有通孔的刀面(2)和与所述通孔贯通设置的喷嘴(1)。
4.根据权利要求1所述的水膜保护装置，其特征在于，还包括设于喷淋液储存装置(7)与所述喷淋管路(6)之间的稳压装置(9)。
5.根据权利要求4所述的水膜保护装置，其特征在于，所述稳压装置(9)为稳压桶。
6.根据权利要求4所述的水膜保护装置，其特征在于，所述喷淋管路(6)包括与所述稳压装置(9)的出口连接的主管路(10)和并联在所述主管路(10)上的若干子管路(11)，所述子管路(11)的出口分别连通至喷淋装置的进口。
7.根据权利要求3所述的水膜保护装置，其特征在于，所述喷嘴(1)的直径为0.02-0.07微米。
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2018
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