CN208860744U - 一种用于icp发射光谱仪用气体控制装置 - Google Patents

一种用于icp发射光谱仪用气体控制装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种用于ICP发射光谱仪用气体控制装置,所述气体控制装置包括:等离子气控制系统,所述等离子气控制系统直接设置在等离子气体的输气管路上;辅助气控制系统,所述辅助气控制系统直接设置在辅助气体的输气管路上;雾化气控制系统,所述雾化器控制系统直接设置在雾化气体的输气管路上;控制器,所述控制器分别与等离子气控制系统、辅助气控制系统和雾化气控制系统控制连接。本实用新型结构简单、操作方便、工作稳定有效,可实现单气体输入和流量等的自动控制。

Description

一种用于ICP发射光谱仪用气体控制装置
技术领域
本实用新型涉及一种气体控制装置,具体涉及一种用于ICP发射光谱仪用气体控制装置。
背景技术
在ICP发射光谱中,ICP的形成过程就是工作气体的电离过程。为了形成稳定的ICP炬焰需要四个条件:高频高强度电磁场、工作气体、维持气体放电的石英矩管以及电子-离子源。其中工作气体的流量控制也是形成稳定炬焰的重要前提。在点燃等离体并进行分析测试需要三种气体的配合才能完成,它们分别是等离子气,辅助气和雾化气。其中,等离子气的作用是作为工作气体形成等离子体并冷却石英矩管;辅助气用于辅助等离子的形成;雾化气用于将导入的试样形成气溶胶。三路气体分别起到不同的作用且每路气体的流量范围不同和精度不同,故三路气体需分别独立控制。
因此,为解决ICP发射光谱仪的气体自动控制和流量的精确调节,对于等离子体的行成和分析测定具有十分重要的意义。
实用新型内容
本实用新型为了解决上述问题,从而提供一种用于ICP发射光谱仪用气体控制装置。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:
一种用于ICP发射光谱仪用气体控制装置,所述气体控制装置包括:
等离子气控制系统,所述等离子气控制系统直接设置在等离子气体的输气管路上;
辅助气控制系统,所述辅助气控制系统直接设置在辅助气体的输气管路上;
雾化气控制系统,所述雾化气控制系统直接设置在雾化气体的输气管路上;
控制器,所述控制器分别与等离子气控制系统、辅助气控制系统和雾化气控制系统控制连接。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述等离子气控制系统包括第一进气口截止阀、第一压力传感器、第一压力调节阀和若干个第一电磁阀,所述第一进气口截止阀、第一压力传感器、第一压力调节阀分别依次设置在等离子气体的输气管路上,若干个第一电磁阀分别并联设置在等离子气体的输气管路上,所述控制器分别连接第一进气口截止阀、第一压力传感器、第一压力调节阀和若干个第一电磁阀。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述辅助气控制系统包括第二进气口截止阀、第二压力传感器、第二压力调节阀和若干个第二电磁阀,所述第二进气口截止阀、第二压力传感器、第二压力调节阀分别依次设置在辅助气体的输气管路上,若干个第二电磁阀分别并联设置在辅助气体的输气管路上,所述控制器分别连接第二进气口截止阀、第二压力传感器、第二压力调节阀和若干个第二电磁阀。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述雾化气控制系统包括第三进气口截止阀、第三压力传感器、第三压力调节阀和若干个第三电磁阀,所述第三进气口截止阀、第三压力传感器、第三压力调节阀分别依次设置在雾化气体的输气管路上,若干个第三电磁阀分别并联设置在雾化气体的输气管路上,所述控制器分别连接第三进气口截止阀、第三压力传感器、第三压力调节阀和若干个第三电磁阀。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型结构简单、操作方便、工作稳定有效,可实现单气体输入和流量等的自动控制。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为控制器的控制示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
参见图1,本实用新型提供的用于ICP发射光谱仪用气体控制装置,其包括等离子气控制系统100、辅助气控制系统200、雾化气控制系统300和控制器400。
等离子气控制系统100,其直接设置在等离子气体的输气管路510上,其是用于控制输气管路510的开关以及上输气管路510的等离子气体的流量和压力。
等离子气控制系统100具体包括第一进气口截止阀110、第一压力传感器 120、第一压力调节阀130和若干个第一电磁阀140。
第一进气口截止阀110、第一压力传感器120、第一压力调节阀130分别依次设置在输气管路510上,第一进气口截止阀110可控制输气管路510上等离子气体的进入,而第一压力传感器120可检测进入输气管路510内的离子气体的压力,而第一压力调节阀130可调节输气管路510内的等离子气体的压力。
若干个第一电磁阀140分别并联设置在输气管路510上,经过第一压力调节阀130调节后的等离子气体可进入任意一个设置其中一个第一电磁阀140的支路上,然后再回到输气管路510的主路上,进行输出。
第一电磁阀140的个数具体为五个,流量分别为1L/min、2L/min、4L/min、 8L/min和16L/min,这样可根据实际需求,选择对应流量的第一电磁阀140开启或者两个第一电磁阀140相加得到对应需求的流量,将其他的关闭即可。
辅助气控制系统200,其直接设置在辅助气体的输气管路520上,其是用于控制输气管路520的开关以及上输气管路520的辅助气体的流量和压力。
辅助气控制系统200具体包括第二进气口截止阀210、第二压力传感器 220、第二压力调节阀230和若干个第二电磁阀240。
第二进气口截止阀210、第二压力传感器220、第二压力调节阀230分别依次设置在输气管路520上,第二进气口截止阀210可控制输气管路520上辅助气体的进入,而第二压力传感器220可检测进入输气管路520内的辅助气体的压力,而第二压力调节阀230可调节输气管路520内的辅助气体的压力。
若干个第二电磁阀240分别并联设置在输气管路520上,经过第二压力调节阀230调节后的辅助气体可进入任意一个设置其中一个第二电磁阀240的支路上,然后再回到输气管路520的主路上,进行输出。
第二电磁阀240的个数具体为五个,流量分别为0.1L/min、0.2L/min、 0.4L/min、0.8L/min和1.6L/min,这样可根据实际需求,选择对应流量的第二电磁阀140开启或者两个第一电磁阀140相加得到对应需求的流量,将其他的关闭即可。
雾化气控制系统300,其直接设置在雾化气体的输气管路530上,其是用于控制输气管路530的开关以及上输气管路530的雾化气体的流量和压力。
雾化气控制系统300具体包括第三进气口截止阀310、第三压力传感器 320、第三压力调节阀330和若干个第三电磁阀340。
第三进气口截止阀310、第三压力传感器320、第三压力调节阀330分别依次设置在输气管路530上,第三进气口截止阀310可控制输气管路510上雾化气体的进入,而第三压力传感器320可检测进入输气管路530内的雾化气体的压力,而第三压力调节阀330可调节输气管路530内的雾化气体的压力。
若干个第一电磁阀340分别并联设置在输气管路530上,经过第三压力调节阀330调节后的雾化气体可进入任意一个设置其中一个第三电磁阀340的支路上,然后再回到输气管路530的主路上,进行输出。
第三电磁阀340的个数具体为五个,流量分别为0.1L/min、0.2L/min、 0.4L/min、0.8L/min和1.6L/min,这样可根据实际需求,选择对应流量的第三电磁阀340开启或者两个第一电磁阀140相加得到对应需求的流量,将其他的关闭即可。
控制器400,其分别与等离子气控制系统100、辅助气控制系统200、雾化气控制系统300控制连接,其可分别控制等离子气控制系统100、辅助气控制系统200、雾化气控制系统300工作。
控制器400具体分别与第一进气口截止阀110、第一压力传感器120、第一压力调节阀130、若干个第一电磁阀140、第二进气口截止阀210、第二压力传感器220、第二压力调节阀230、若干个第二电磁阀240、第三进气口截止阀 310、第三压力传感器320、第三压力调节阀330和若干个第三电磁阀340控制连接。
控制器400通过分别控制第一进气口截止阀110、第二进气口截止阀210 和第三进气口截止阀310的开关,可分别控制等离子气体、辅助气体和雾化气体的通入。
第一压力传感器120、第二压力传感器220和第三压力传感器320可分别将检测到压力信号发送给控制器400,而控制器400根据接受到的控制信号与其设置的设定值进行对比,并根据对比的结果分别控制第一压力调节阀130、第二压力调节阀230和第三压力调节阀330工作,从而可对等离子气体、辅助气体和雾化气的压力进行调节。
控制器400分别与各个第一电磁阀140、各个第二电磁阀240和各个第三电磁阀340控制连接,这样根据实际需求可通过控制器400控制对应流量的第一电磁阀140、第二电磁阀240和第三电磁阀340开启或者两个第一电磁阀140、两个第二电磁阀240、两个第三电磁阀340相加得到对应需求的流量,将其他的关闭,就可输出需求流量的气体。
控制器400具体为型号为AT89C51ED2的单片机,控制器400与各个阀组件的连接如下:
控制器400的P0.7口连接第一进气口截止阀110,控制器400的P2.7口、 P2.5口、P2.6口、P2.4口和P2.3口分别连接5个第一电磁阀140。
控制器400的P2.2口连接第二进气口截止阀210,控制器400的P2.1口、 P2.0口、P3.6口、P3.7口和P3.5口分别连接5个第二电磁阀240。
控制器400的P3.3口连接第三进气口截止阀310,控制器400的P1.7口、 P1.6口、P1.5口、P1.4口和P1.2口分别连接5个第三电磁阀340。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (4)

1.一种用于ICP发射光谱仪用气体控制装置,其特征在于,所述气体控制装置包括:
等离子气控制系统,所述等离子气控制系统直接设置在等离子气体的输气管路上;
辅助气控制系统,所述辅助气控制系统直接设置在辅助气体的输气管路上;
雾化气控制系统,所述雾化气控制系统直接设置在雾化气体的输气管路上;
控制器,所述控制器分别与等离子气控制系统、辅助气控制系统和雾化气控制系统控制连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于ICP发射光谱仪用气体控制装置,其特征在于,所述等离子气控制系统包括第一进气口截止阀、第一压力传感器、第一压力调节阀和若干个第一电磁阀,所述第一进气口截止阀、第一压力传感器、第一压力调节阀分别依次设置在等离子气体的输气管路上,若干个第一电磁阀分别并联设置在等离子气体的输气管路上,所述控制器分别连接第一进气口截止阀、第一压力传感器、第一压力调节阀和若干个第一电磁阀。
3.根据权利要求1所述的一种用于ICP发射光谱仪用气体控制装置,其特征在于,所述辅助气控制系统包括第二进气口截止阀、第二压力传感器、第二压力调节阀和若干个第二电磁阀,所述第二进气口截止阀、第二压力传感器、第二压力调节阀分别依次设置在辅助气体的输气管路上,若干个第二电磁阀分别并联设置在辅助气体的输气管路上,所述控制器分别连接第二进气口截止阀、第二压力传感器、第二压力调节阀和若干个第二电磁阀。
4.根据权利要求1所述的一种用于ICP发射光谱仪用气体控制装置,其特征在于,所述雾化气控制系统包括第三进气口截止阀、第三压力传感器、第三压力调节阀和若干个第三电磁阀,所述第三进气口截止阀、第三压力传感器、第三压力调节阀分别依次设置在雾化气体的输气管路上,若干个第三电磁阀分别并联设置在雾化气体的输气管路上,所述控制器分别连接第三进气口截止阀、第三压力传感器、第三压力调节阀和若干个第三电磁阀。
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