CN208848859U - 一种手动酸洗旋转治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种手动酸洗旋转治具，包括水箱箱体及固定工装，固定工装包括两个酸洗框，两个酸洗框之间垂直设有数个支撑杆，每个支撑杆的中部设有至少一个环形卡槽；两个酸洗框外侧分别设有支架，酸洗框外侧分别通过转动连接轴转动连接于支架第一安装孔内；其中一个转动连接轴上设有第一齿轮；箱体上设有第二安装孔，内设有传动轴，传动轴上设有第二齿轮，第二齿轮与第一齿轮齿合连接。综上所述，通过手柄手摇齿轮转动带动产品转动，使产品旋转酸洗，产品受酸洗的程度一致使产品质量更加理想化，而且不同深度压力对酸洗程度都是有影响的。操作员不与酸洗液接触，进一步保障了操作员安全，且手摇代替翻转推拉，更加省劲，效率更高。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体材料清洗设备技术领域，具体涉及一种手动酸洗旋转治具。
背景技术
半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷。
硅产品酸洗的酸洗液主要性质为强酸性、强腐蚀性和易挥发性，材料化学清洗中主要利用其强酸性和强腐蚀性来去除材料表面的杂质沾污及对零件进行工艺腐蚀处理。现有的手动清洗装置为平躺式手动移动工装来清洗，而旋转工装则是通过齿轮旋转带动主轴转动使零件旋转从而达到零件表面与清洗液充分均匀接触，保证工件达到工艺要求。对于像硅这种脆性材料而言，在酸洗操作过程中，对零件必须先固定牢，防止在旋转过程中移位滑脱而导致零件损伤。
现有的手动酸洗对于小型硅片可通过镊子夹取在酸洗槽中翻转拖动来有效清洗，对于大型硅片则是通过工装固定好后卧放酸洗槽中通过来回拖动工装达到清洗零件目的。以上两种工装虽然可以使酸洗后的零件达到工艺要求，但是使用镊子夹取零件时，存在危险因素，如操作人员夹取力度不够，零件可能会从镊子中滑落造成零件损伤；在翻转零件时也可能会发生磕碰造成损伤，且在翻转过程中无法保证零件与酸洗液均匀接触，零件的翻转带动液体，可能会使液体从洗槽中飞溅出来，尽管操作员穿戴了防护服，但还是存在一定风险。平卧式手动酸洗工装也是如此，通过4根外圆带有V型槽的支杆将零件固定住，在洗槽中手动推拉工装也会使酸液飞溅，且操作过于费力，效率不高。
因此现有的酸洗治具有以下缺点：
1)传统手动酸洗零件大都需要近距离接触酸液，尽管操作员穿戴了防护装备，但无法完全保障其自身安全；
2)使用镊子夹取或卧推酸洗框架则十分吃力且无法保证零件的安全；
3)用镊子夹取酸洗及卧推酸洗无法保证酸洗均匀性，小孔的圆整度达不到要求。
针对上述问题，提出本实用新型。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种手动酸洗旋转治具。
为实现上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是：一种手动酸洗旋转治具，包括水箱箱体13及固定工装，其中：
固定工装包括两个酸洗框2，两个酸洗框2平行、间隔设置，两个酸洗框 2之间垂直设有数个支撑杆3，每个支撑杆3的两个端部分别连接于两个酸洗框2上；每个支撑杆3的中部的相应位置处设有至少一个环形卡槽4；两个酸洗框2外侧分别设有支架1，每个支架1上设有第一安装孔12，两个所述酸洗框2外侧分别通过两个转动连接轴8转动连接于支架1第一安装孔12内，所述酸洗框2底部高于支架1底部；其中一个转动连接轴8上设有第一齿轮7；
箱体13上设有第二安装孔14，第二安装孔14内设有传动轴，传动轴的一端设于箱体13外侧，另一端设有第二齿轮5，第二齿轮5与第一齿轮7齿合连接，转动所述传动轴以带动酸洗框2在支架1内竖直转动。
其中，支撑杆3通过可拆卸锁紧装置锁紧固定于酸洗框2上。
其中，第一齿轮7与第二齿轮5之间通过第三齿轮6齿合连接，所述第一齿轮7，第二齿轮5及第三齿轮6分别从下往上排布。
其中，支撑杆3数量至少三个。
其中，环形卡槽4槽体横截面为V型。
其中，第一安装孔12为斜槽，斜槽顶部与支架1顶部相通。
其中，传动轴设于箱体13外侧的一端设有手柄11。
其中，两个支架1均为板状支撑板，两个支撑板外侧分别可拆卸固定于箱体13相对的两个内壁上。
其中，酸洗框2上设有数个通孔10。
其中，固定工装为PVDF耐腐蚀性材料。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型的手动酸洗旋转治具，通过手柄手摇齿轮转动带动产品转动，使产品旋转酸洗，产品受酸洗的程度一致使产品质量更加理想化，在酸洗过程中，不同深度压力对酸洗程度都是有影响的。操作员除了装卸产品外不与酸洗液接触，进一步保障了操作员安全，且手摇代替翻转推拉，更加省劲，效率更高。
附图说明
当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，能够更完整更好地理解本实用新型以及容易得知其中许多伴随的优点，但此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定，其中：
图1是本实用新型的一种手动酸洗旋转治具的侧面结构示意图；
图2是本实用新型的一种手动酸洗旋转治具的立体结构示意图；
图3是本实用新型的一种手动酸洗旋转治具的爆炸结构示意图；
图4是本实用新型的一种手动酸洗旋转治具的箱体结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1-4所示，一种手动酸洗旋转治具，包括水箱箱体13及固定工装，其中：
固定工装包括两个酸洗框2，两个酸洗框2平行、间隔设置，两个酸洗框 2之间垂直设有数个支撑杆3，每个支撑杆3的两个端部分别连接于两个酸洗框2上；每个支撑杆3的中部的相应位置处设有至少一个环形卡槽4；两个酸洗框2外侧分别设有支架1，每个支架1上设有第一安装孔12，两个酸洗框2 外侧分别通过两个转动连接轴8转动连接于支架1第一安装孔12内，酸洗框 2底部高于支架1底部；其中一个转动连接轴8上设有第一齿轮7；
箱体13上设有第二安装孔14，第二安装孔14内设有传动轴，传动轴的一端设于箱体13外侧，另一端设有第二齿轮5，第二齿轮5与第一齿轮7齿合连接，转动所述传动轴以带动酸洗框2在支架1内竖直转动。
工作原理：酸洗工件9夹持在数个支撑杆3的环形卡槽4内，数个支撑杆从不同方向将其夹持固定在酸洗框内，酸洗框2转动连接于两侧的支架1 上，并放置于水箱箱体13内，通过转动传动轴带动第二齿轮和第一齿轮转动，从而带动转动连接轴8转动，转动连接轴8带动酸洗框2转动，从而带动酸洗工件转动，由于水箱箱体13内盛装酸洗液，所以酸洗工件可以均匀在酸洗液内转动，使酸洗工件表面与酸洗液充分均匀接触，保证工件达到工艺要求，而且这种夹持方式，不容易损伤零件，而且夹持固定牢固；操作人员与酸洗液不接触，保障了操作人员的安全。
更优的技术方案，支撑杆3通过可拆卸锁紧装置锁紧固定于酸洗框2上。可拆卸锁紧装置优选成本低的螺纹螺母，便于拆卸调整及更换支撑杆3。
更优的技术方案，第一齿轮7与第二齿轮5之间通过第三齿轮6齿合连接，所述第一齿轮7，第二齿轮5及第三齿轮6分别从下往上排布。多个齿轮齿合连接，而且上下排布，可以使箱体13上的第二安装孔的位置高于酸洗框，使酸洗液的液面可以高于酸洗框。
更优的技术方案，支撑杆3数量至少三个。从至少三个方向去夹持固定工件可以使固定效果更好，更优的支撑杆3的数量为四个。
更优的技术方案，环形卡槽4槽体横截面为V型。V型槽体与工件夹持的边缘更吻合，可以使夹持更牢固，而且避免损伤工件边缘。
更优的技术方案，第一安装孔12为斜槽，斜槽顶部与支架1顶部相通。酸洗框两侧的两个转动连接轴8从第一安装孔顶部放入斜槽内并沿斜槽滑入底部固定，便于拆装。
更优的技术方案，传动轴设于箱体13外侧的一端设有手柄11。通过便于转动。
更优的技术方案，两个支架1均为板状支撑板，两个支撑板外侧分别可拆卸固定于箱体13相对的两个内壁上。使箱体内壁加厚，防止随着酸洗液的加入，箱体中部由于压力增大向外鼓起，使传动轴与箱体无法正常接触，影响旋转酸洗。
更优的技术方案，酸洗框2上设有数个通孔10，部分通孔10更优的设于酸洗框2的上部外缘处，一方面可以节省材料，另一方面便于操作人员使用工具勾取酸洗框，避免操作人员近距离接触酸洗液。
更优的技术方案，固定工装为PVDF耐腐蚀性材料，延长使用寿命。
综上所述，本实用新型的手动酸洗旋转治具，通过手柄手摇齿轮转动带动产品转动，使产品旋转酸洗，产品受酸洗的程度一致使产品质量更加理想化，在酸洗过程中，不同深度压力对酸洗程度都是有影响的。操作员除了装卸产品外不与酸洗液接触，进一步保障了操作员安全，且手摇代替翻转推拉，更加省劲，效率更高。
Claims (10)
1.一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，包括水箱箱体(13)及固定工装，其中：
所述固定工装包括两个酸洗框(2)，两个所述酸洗框(2)平行、间隔设置，两个所述酸洗框(2)之间垂直设有数个支撑杆(3)，每个所述支撑杆(3)的两个端部分别连接于两个酸洗框(2)上；每个所述支撑杆(3)的中部的相应位置处设有至少一个环形卡槽(4)；两个所述酸洗框(2)外侧分别设有支架(1)，每个所述支架(1)上设有第一安装孔(12)，两个所述酸洗框(2)外侧分别通过两个转动连接轴(8)转动连接于支架(1)第一安装孔(12)内，所述酸洗框(2)底部高于支架(1)底部；其中一个所述转动连接轴(8)上设有第一齿轮(7)；
所述箱体(13)上设有第二安装孔(14)，所述第二安装孔内设有传动轴，所述传动轴的一端设于箱体(13)外侧，另一端设有第二齿轮(5)，所述第二齿轮(5)与第一齿轮(7)齿合连接，转动所述传动轴以带动酸洗框(2)在支架(1)内竖直转动。
2.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，所述支撑杆(3)的端部通过可拆卸锁紧装置锁紧固定于酸洗框(2)上。
3.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，所述第一齿轮(7)与第二齿轮(5)之间通过第三齿轮(6)齿合连接，所述第一齿轮(7)，第二齿轮(5)及第三齿轮(6)分别从下往上排布。
4.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，所述支撑杆(3)数量至少三个。
5.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，所述环形卡槽(4)槽体横截面为V型。
6.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，所述第一安装孔(12)为斜槽，所述斜槽顶部与支架(1)顶部相通。
7.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，所述传动轴设于箱体(13)外侧的一端设有手柄(11)。
8.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，两个所述支架(1)均为板状支撑板，两个所述支撑板外侧分别可拆卸固定于箱体(13)相对的两个内壁上。
9.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，所述酸洗框(2)上设有数个通孔(10)。
10.根据权利要求1所述的一种手动酸洗旋转治具，其特征在于，所述固定工装为PVDF耐腐蚀性材料。
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| CN201821496783.7U CN208848859U (zh) | 2018-09-13 | 2018-09-13 | 一种手动酸洗旋转治具 |
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| CN (1) | CN208848859U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109087879A (zh) * | 2018-09-13 | 2018-12-25 | 北京亦盛精密半导体有限公司 | 一种手动酸洗旋转治具 |
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2018
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