CN208843031U - 一种硅片清洗机用废液收集装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片清洗机用废液收集装置，包括硅片清洗机和收集罐，所述硅片清洗机一侧设有出水口，出水口通过连接水管连接有水泵，所述收集罐上设有密封盖，密封盖与水泵之间连接有连接水管，所述收集罐上设有固定块，固定块内设有凹槽，所述固定块内侧壁通过弹簧连接有弧形的定位挡板，定位挡板对称分布在固定块的内部，所述定位挡板之间连接有收集罐，收集罐的高度等于1/2固定块的高度。该硅片清洗机用废液收集装置设有收集罐，将收集罐放置在硅片清洗机出水口处，可通过水泵将硅片清洗机清洗硅片产生的废水抽吸到收集罐内，从而可完成废水的收集，且收集罐设在移动推车上，可方便收集罐的移动。

Description

一种硅片清洗机用废液收集装置

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗机技术领域，具体为一种硅片清洗机用废液收集装置。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，硅片清洗通常采用硅片清洗机进行湿法清洗。

现有的硅片清洗机在清洗硅片后会产生大量的废水，通常这些废水会直接排出，会产生水资源的浪费，可将这些废水收集起来，经过处理可进行二次利用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗机用废液收集装置，以解决上述背景技术中提出的硅片清洗机在清洗硅片后废水会直接排出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片清洗机用废液收集装置，包括硅片清洗机和收集罐，所述硅片清洗机一侧设有出水口，出水口通过连接水管连接有水泵，所述收集罐上设有密封盖，密封盖与水泵之间连接有连接水管，所述收集罐上设有固定块，固定块内设有凹槽，所述固定块内侧壁通过弹簧连接有弧形的定位挡板，定位挡板对称分布在固定块的内部，所述定位挡板之间连接有收集罐，收集罐的高度等于1/2固定块的高度。

优选的，所述固定块下端固定连接有支撑板，支撑板下端两侧设有第二液压杆，且第二液压杆位于支撑板水平方向的轴线上。

优选的，所述定位挡板内侧设有橡胶垫，且定位挡板上端为切口结构。

优选的，所述支撑板下端开设有半圆形凹槽，凹槽内连接有连接轴，且连接轴下端固定连接有第一液压杆，并且凹槽的直径等于连接轴的外部直径。

优选的，所述第一液压杆与第二液压杆下端固定连接有移动推车。

优选的，所述弹簧内固定连接有橡胶柱，且橡胶柱的高度与弹簧的高度相等。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该硅片清洗机用废液收集装置设有收集罐，将收集罐放置在硅片清洗机出水口处，可通过水泵将硅片清洗机清洗硅片产生的废水抽吸到收集罐内，从而可完成废水的收集。该硅片清洗机用废液收集装置设有收集罐，可通过收集罐可收集硅片清洗机清洗硅片产生的废水，且收集罐设在移动推车上，可方便收集罐的移动，并且可通过液压系统提升收集罐，通过移动推车上两侧液压杆提升的高度不同，可使收集罐发生倾斜，从而可将收集罐中的废水倒入到指定地点。

附图说明

图1为本实用新型一种硅片清洗机用废液收集装置正视图；

图2为本实用新型一种硅片清洗机用废液收集装置收集罐侧视图；

图3为本实用新型一种硅片清洗机用废液收集装置固定块俯视图；

图4为本实用新型一种硅片清洗机用废液收集装置图3中A处放大结构示意图；

图5为本实用新型一种硅片清洗机用废液收集装置支撑板俯视图；

图6为本实用新型一种硅片清洗机用废液收集装置图3中B处放大结构示意图。

图中：1、硅片清洗机，2、连接水管，3、收集罐，4、密封盖，5、固定块，6、第一液压杆，7、移动推车，8、第二液压杆，9、水泵，10、出水口，11、定位挡板，12、支撑板，13、弹簧，14、橡胶垫，15、连接轴，16、凹槽，17、橡胶柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片清洗机用废液收集装置，包括硅片清洗机1和收集罐3，硅片清洗机1一侧设有出水口10，出水口10通过连接水管2连接有水泵9，收集罐3上设有密封盖4，密封盖4与水泵9之间连接有连接水管2，收集罐3上设有固定块5，固定块5内设有凹槽，固定块5下端固定连接有支撑板12，支撑板12下端两侧设有第二液压杆8，且第二液压杆8位于支撑板12水平方向的轴线上，此结构可通过液压作用提升支撑板12，且第二液压杆8设有两个，可通过两个第二液压杆8提升高度的不同使收集罐3发生倾斜，从而可以倾倒收集罐3内部的废水，支撑板12下端开设有半圆形凹槽16，凹槽16内连接有连接轴15，且连接轴15下端固定连接有第一液压杆6，并且凹槽16的直径等于连接轴15的外部直径，此结构可使支撑板12通过凹槽16嵌合在连接轴15上，且支撑板12在发生倾斜时，连接轴15可支撑住支撑板12，能增大支撑板12的支撑力，第一液压杆6与第二液压杆8下端固定连接有移动推车7，此结构可方便收集罐3的移动，固定块5内侧壁通过弹簧13连接有弧形的定位挡板11，定位挡板11对称分布在固定块5的内部，定位挡板11内侧设有橡胶垫14，且定位挡板11上端为切口结构，此结构可通过橡胶垫14受力变形后增大定位挡板11与收集罐3之间的摩擦力，从而能使收集罐3固定的更加稳定，且定位挡板11的切口结构可使收集罐3更好的进入到固定块5中，弹簧13内固定连接有橡胶柱17，且橡胶柱17的高度与弹簧13的高度相等，此结构可通过橡胶柱17能保证弹簧13的稳定性，使弹簧13压缩时不会出现歪曲，定位挡板11之间连接有收集罐3，收集罐3的高度等于1/2固定块5的高度，此结构可通过弹簧13使定位挡板11能够弹性移动，从而可将收集罐3固定在固定块5的内部，能使收集罐3摆放的更加稳定，防止废水的冲击力过大造成收集罐3的位置发生变动，且可通过水泵9将废水抽送至收集罐3的内部，从而可达到收集废水的效果。

工作原理：在使用该硅片清洗机用废液收集装置时，首先将收集罐3沿着定位挡板11上端的切口结构放置进定位挡板11之间，收集罐3向定位挡板11施力，定位挡板11受力向外挤压弹簧13与橡胶柱17，橡胶柱17与弹簧13受力会施力于定位挡板11，从而可将收集罐3固定在固定块5的内部，定位挡板11上的橡胶垫14受力变形后可增加固定块5与收集罐3之间的摩擦力，然后通过移动推车7将收集罐3移动至硅片清洗机1上出水口10处，通过移动推车7上移动脚轮的自锁功能将移动推车7固定在指定地点，然后通过连接水管2将水泵9与收集罐3连接起来，启动水泵9，水泵9可通过连接水管2将废水抽送至收集罐3的内部，待收集罐3中废水收集满后，接着通过移动推车7将收集罐3推送至废水收集处，打开密封盖4，然后同时启动第一液压杆6与第二液压杆8通过液压作用提升支撑板12，待支撑板12提升到指定高度时，停止第一液压杆6与右侧的第二液压杆8，左侧的第二液压杆8会继续向上提升支撑板12，支撑板12会由于两侧第二液压杆8之间的高度差沿着嵌合在凹槽16内部的连接轴15发生倾斜，从而可将收集罐3内部的废水倾倒出来，然后对废水进行下一步处理，这就是该硅片清洗机用废液收集装置的工作过程。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种硅片清洗机用废液收集装置，其特征在于：包括硅片清洗机(1)和收集罐(3)，所述硅片清洗机(1)一侧设有出水口(10)，出水口(10)通过连接水管(2)连接有水泵(9)，所述收集罐(3)上设有密封盖(4)，密封盖(4)与水泵(9)之间连接有连接水管(2)，所述收集罐(3)上设有固定块(5)，固定块(5)内设有凹槽，所述固定块(5)内侧壁通过弹簧(13)连接有弧形的定位挡板(11)，定位挡板(11)对称分布在固定块(5)的内部，所述定位挡板(11)之间连接有收集罐(3)，收集罐(3)的高度等于1/2固定块(5)的高度。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用废液收集装置，其特征在于：所述固定块(5)下端固定连接有支撑板(12)，支撑板(12)下端两侧设有第二液压杆(8)，且第二液压杆(8)位于支撑板(12)水平方向的轴线上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用废液收集装置，其特征在于：所述定位挡板(11)内侧设有橡胶垫(14)，且定位挡板(11)上端为切口结构。

4.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机用废液收集装置，其特征在于：所述支撑板(12)下端开设有半圆形凹槽(16)，凹槽(16)内连接有连接轴(15)，且连接轴(15)下端固定连接有第一液压杆(6)，并且凹槽(16)的直径等于连接轴(15)的外部直径。

5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗机用废液收集装置，其特征在于：所述第一液压杆(6)与第二液压杆(8)下端固定连接有移动推车(7)。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用废液收集装置，其特征在于：所述弹簧(13)内固定连接有橡胶柱(17)，且橡胶柱(17)的高度与弹簧(13)的高度相等。