CN208814939U - 电浆制程设备内装置元件保护膜及其安装治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种电浆制程设备内装置元件保护膜及其安装治具，其所设一保护膜设为具有电浆、高温耐受能力且不带有金属离子的材质所制成，并依据电浆制程设备的腔室内所欲保护装置元件的形状裁切而成，又该保护膜的一面涂布有一粘胶层；凭借以该保护膜粘贴于电浆制程设备内的装置元件，来保护该装置元件不受电浆的渗透影响而干扰其电浆制程。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产设备，尤指一种电浆制程设备内装置元件保护膜及其安装治具的技术范畴。
背景技术
伴随化学反应的电浆放电，被广泛地用来改变材料表面的性质。对于电子产业采用的超大型积体电路的处理而言，基于电浆的表面处理是不可缺少的，例如，可在硅膜中或基质材料中可以电浆蚀刻出宽0.2微米、深4微米的沟槽等众多线路。
请参阅图7所示者，是一般电浆制程设备9的腔室91内的圆型平台92(即装置元件)放置硅晶圆93后，会从硅晶圆93上方处施予电浆94并投射至该硅晶圆93，以利进行蚀刻作业。若该装置元件(即圆型平台92)若未作任何防护的话，则腔室91内的电浆94将会局部侵蚀该装置元件，故一般传统保护方式系会对该装置元件的开孔或缝隙并采用环氧树脂(Epoxy)、O型环(O-ring)或对装置元件表面进行大面积处理，以防堵电浆侵蚀及降低其所引起其他不良干扰。
然而，上述方式都须将所欲保护的装置元件送回工厂进行加工处理，如此将会中断生产线而影响生产量，故前述传统保护方式实有需要加以改善。
实用新型内容
缘此，鉴于前述电浆制程设备内装置元件的传统保护方式的问题点，于是本实用新型设计人乃穷极心思开发出本实用新型电浆制程设备内装置元件保护膜及其安装治具，故本实用新型的主要目的在于：提供延长电浆制程设备内装置元件的使用寿命；本实用新型的次要目的在于：提供方便、可即时安装的一种电浆制程设备内装置元件保护膜。
为达上述目的，本实用新型运用了如下技术手段：
一种电浆制程设备内装置元件保护膜，包含有：一保护膜，设为具有电浆、高温耐受能力且不带有金属离子的材质所制成，并依据电浆制程设备的腔室内所欲保护装置元件的形状裁切而成，又该保护膜的一面涂布有一粘胶层；及一离型膜，系该离型膜得对应该保护膜的形状，并贴合于该保护膜的粘胶层。凭借以该保护膜粘贴于电浆制程设备内的装置元件，来保护该装置元件不受电浆的渗透影响而干扰其电浆制程。
上述该保护膜设为由一层聚对苯二甲酸乙二醇酯膜贴合于一层聚酰亚胺膜的一面，而该聚酰亚胺膜的另一面则涂上该粘胶层。
上述该聚对苯二甲酸乙二醇酯膜厚设为0.1mm～0.2mm之间。
上述该聚酰亚胺膜厚设为0.04mm～0.08mm之间。
上述该电浆制程设备的腔室内的装置元件设为一圆型平台，且该圆型平台周围设有一肩部。
上述该保护膜设为长条状并由一第一保护膜邻接一第二保护膜，且该第一保护膜宽度大于第二保护膜宽度，进而形成L型截断面以利装设并覆盖于该圆型平台的肩部。
上述该第一保护膜、第二保护膜设为一体成型并在第一保护膜、第二保护膜之间设有折痕；或者将第一保护膜、第二保护膜分别个别独立制造。
上述该保护膜设为二条，且分别装设并覆盖于该圆型平台的肩部的二侧。
一种安装治具，使用于前述电浆制程设备内装置元件保护膜，其中该安装治具设为块状体，其前端设为一唇缘部，而其后端则设为柄部。
上述该唇缘部对应该圆型平台的肩部形状而设为内凹弧形状，且该唇缘部的横断面则设为L形状。
上述该安装治具为压克力材质。
本实用新型运用上述技术手段，可以达成如下功效：
1.本实用新型保护膜设为使用具有电浆、高温耐受能力且不带有金属离子的材质所制成，有效隔离电浆对该装置元件的侵蚀，让该装置元件不干扰电浆制程设备的作业，另可延长该装置元件的使用寿命，有效降低维修频率，提高有效连续生产时间。
2.本实用新型保护膜容易安装，即可以在现场进行安装或替换，使受保护的装置元件不需要送出厂外，而中断生产线，进而影响产量。
3.本实用新型保护膜更换时，所需时间低于30分钟，配合设备维修时程，完全不影响厂区生产流程，有效维持生产。
附图说明
图1是本实用新型电浆制程设备内装置元件保护膜的外观暨截面图。
图2是本实用新型电浆制程设备内装置元件保护膜的分解图。
图3是本实用新型电浆制程设备内装置元件保护膜的保护作用的示意图。
图4是本实用新型图3的局部放大示意图。
图5是本实用新型安装治具的外观图。
图6是安装治具安装操作的示意图。
图7是一般电浆制程设备的腔室内部的示意图。
附图标记说明：[本实用新型]1-保护膜；101-苯二甲酸乙二酯膜；102-聚酰亚胺膜；103-粘胶层；11-第一保护膜；12-第二保护膜；2-离型膜；3-安装治具；31-唇缘部；32-柄部；4-电浆制程设备；41-腔室；42-圆型平台；421-肩部；43-电浆；[现有技术]9-电浆制程设备；91-腔室；92-圆型平台；921-肩部；93-硅晶圆；94-电浆。
具体实施方式
首先，请参阅图1至图7所示，本实用新型系关于一种电浆制程设备内装置元件保护膜及其安装治具，其包含有：
一保护膜1，如图1及图7所示，设为具有电浆、高温耐受能力且不带有金属离子的材质所制成，并依据一电浆制程设备4的腔室41内所欲保护装置元件的形状裁切而成，又该保护膜1的一面涂布有一粘胶层103，其中该保护膜1设为由一层聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(polyethyleneterephthalate，简称PET)101贴合于一层聚酰亚胺膜(Polyimide，简称PI)102的一面，而该聚酰亚胺膜102的另一面则涂上该粘胶层103，进一步，将该聚对苯二甲酸乙二醇酯膜101的厚度设为0.1mm～0.2mm之间，而较佳厚度为0.175mm，将该聚酰亚胺膜102的厚度设为0.04mm～0.08mm之间，而较佳厚度为0.065mm；
进一步，如图1、图2及图3所示，该保护膜1设为长条状并由一第一保护膜11邻接一第二保护膜12，且该第一保护膜11的宽度大于第二保护膜12的宽度，进而形成L型截断面，以利装设并覆盖于该电浆制程设备9腔室91内部的装置元件(即本实施例中的装置元件系指圆型平台92的肩部921)，特别一提，该第一保护膜11、第二保护膜12可以是一体成型并在第一保护膜11、第二保护膜12之间设有折痕，或者将第一保护膜11、第二保护膜12分别个别独立制造。因此，该保护膜1可设为二条，如图3所示者，且分别装设并覆盖于该圆型平台92的肩部921的二侧；及
一离型膜2，如图1所示，系该离型膜2得对应该保护膜1的形状，并贴合于该保护膜1的粘胶层103面。及
一安装治具3，如图2及图5所示，且该安装治具3设为块状体，其前端设为一唇缘部31，而其后端则设为柄部32。进一步，将该安装治具3的唇缘部31得对应该圆型平台42的肩部421形状而设为内凹弧形状，且该唇缘部31的横断面则设为L形状。特别一提，该安装治具的整体设为压克力材质。
凭借以该保护膜1粘贴于电浆制程设备4腔室41内部的欲受保护的装置元件，如图3所示，来保护该装置元件不受电浆94的渗透影响而干扰其电浆制程作业，而前述腔室41内部的装置元件不以圆型平台42为限，只要欲受保护的装置元件以防电浆94渗透侵蚀均可。
换言之，如图3所示，将该保护膜1，依据电浆制程设备4的腔室41内所欲保护装置元件的形状裁切而成，然后撕离该保护膜1粘胶层13上的离型膜2，进而将该保护膜1粘贴于该装置元件所欲保护的表面，再以该安装治具3的唇缘部31压平该保护膜1，让该保护膜1粘紧于该装置元件的表面。
即于本实施例中，如图6所示，该装置元件所欲保护的表面系指该圆型平台42的肩部421，然后撕离该保护膜1粘胶层13上的离型膜2后，进一步将该保护膜1的第一保护膜11、第二保护膜12弯折成L形状，然后该第一保护膜11、第二保护膜12上的粘胶层13面向该圆型平台42四周围的肩部421后粘贴于该肩部421的外表面，最后再以该安装治具3的唇缘部31压平该L形状的粘胶层13。
以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (11)
1.一种电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征是包含有：
一保护膜，以具有电浆、高温耐受能力且不带有金属离子的材质所制成，并依据电浆制程设备的腔室内所欲保护装置元件的形状裁切而成，该保护膜的一面涂布有一粘胶层；
一离型膜，该离型膜具有对应该保护膜的形状，并贴合于该保护膜的粘胶层。
2.如权利要求1所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该保护膜为由一层聚对苯二甲酸乙二醇酯膜贴合于一层聚酰亚胺膜的一面，而该聚酰亚胺膜的另一面则涂上该粘胶层。
3.如权利要求2所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该聚对苯二甲酸乙二醇酯膜的厚度介于0.1mm～0.2mm之间。
4.如权利要求2所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该聚酰亚胺膜的厚度介于0.04mm～0.08mm之间。
5.如权利要求1所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该电浆制程设备的腔室内的装置元件为一圆型平台，且该圆型平台周围设有一肩部。
6.如权利要求5所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该保护膜为长条状并由一第一保护膜邻接一第二保护膜，且该第一保护膜宽度大于第二保护膜宽度，进而形成L型截断面，以供覆盖于该圆型平台的肩部。
7.如权利要求6所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该第一保护膜、第二保护膜为一体成型并在第一保护膜、第二保护膜之间设有折痕；或者将第一保护膜、第二保护膜分别独立制造。
8.如权利要求6所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该保护膜具有二条，且分别装设并覆盖于该圆型平台的肩部的二侧。
9.一种安装治具，使用于前述权利要求5～7中任一项所述电浆制程设备内装置元件保护膜，其特征在于：该安装治具设为块状体，其前端设为一唇缘部，而其后端则设为柄部。
10.如权利要求9所述安装治具，其特征在于：该唇缘部对应该圆型平台的肩部形状而设为内凹弧形状，且该唇缘部的横断面则设为L形状。
11.如权利要求9所述安装治具，其特征在于：该安装治具为压克力材质。
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