CN208805056U - 一种连续式退火炉的送料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种连续式退火炉的送料装置，属于一种退火炉；其技术方案要点是包括贯穿退火炉的输送轴、第一夹持组件、第二夹持组件、第三夹持组件以及第四夹持组件；第一夹持组件包括和工作台滑移连接的边框以及设于边框内部的两个夹板，两个夹板和边框滑移连接且两个夹板能够做相向运动；边框一侧设有能够驱动两个夹板运动的动力组件；第二夹持组件、第三夹持组件以及第四夹持组件的结构和第一夹持组件的结构相同；本实用新型解决了输送工件频率不同导致工件质量低下的问题，达到了平均输送频率提高工件质量的效果。

Description

一种连续式退火炉的送料装置

技术领域

本实用新型涉及一种退火炉，更具体的说，它涉及一种连续式退火炉的送料装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底；连续式退火炉则使工件连续通过预热、加热、保温、缓冷、冷却，不受长度限制，保证工件均匀冷却。处理的产品内外表面光亮，产品质量高，生产率高。

现可参考授权公告号为CN205420475U的中国实用新型专利，其公开了一种连续式退火炉，所述的连续式退火炉，包括连续式加热炉，传送机构I、工件盘；所述的传送机构平行于连续式加热炉设置，其上设有滑动轨道；所述的传送机构的一端设置进料机构与连续式加热炉的进料炉门连接，传送机构的另一端设置出料机构与连续式加热炉的出料口连接；所述的工件盘设置于传送机构的滑动轨道上。该连续式退火炉结构设计科学，退火效率高，速度快，自动化程度高，工件在炉内间断性的运动，使每件工件经过的路径一致，从而每件工件所享受的温度基本一致，保证工件组织均匀一致。

常见的退火炉使用中，均是人工将工件连续的送进退火炉中，工件在退火炉中的运动过程是多个工件首尾贴合，在向退火炉中送入新的工件时，新的工件会对退火炉中的工件施力，进而推动工件运动；退火炉长度较长导致人工送料过于费力，且人工送料的频率不相同，导致工件在退火炉中残留的时间不同，导致工件的质量不同，影响工件的使用。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种连续式退火炉的送料装置，其通过多个夹持组件的配合运动，取代人工送料，达到了快速均匀的送料，使工件的质量较为平均的效果。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种连续式退火炉的送料装置，包括贯穿退火炉的输送轴、第一夹持组件、第二夹持组件、第三夹持组件以及第四夹持组件，输送轴的两端分别穿过第一夹持组件、第二夹持组件和第三夹持组件、第四夹持组件；

退火炉的两端分别固定连接有两个工作台，第一夹持组件和第二夹持组件位于退火炉进料端处的工作台上，第三夹持组件和第四夹持组件位于退火炉出料端的工作台上；

第一夹持组件包括和工作台滑移连接的边框以及设于边框内部的两个夹板，两个夹板和边框滑移连接且两个夹板能够做相向运动；

工坐台上设有能够驱动边框滑动的驱动件；

边框一侧设有能够驱动两个夹板运动的动力组件；

第二夹持组件、第三夹持组件以及第四夹持组件的结构和第一夹持组件的结构相同。

通过采用上述技术方案，常见连续式退火炉送料均是采用人工送料，导致工作效率低下，且人工送料的频率不一样，导致工件在退火炉内的时间不同，故工件的质量也均不相同，影响了工件的质量；在退火炉的进料端和出料端分别设置有第一夹持组件、第二夹持组件以及第三夹持组件、第四夹持组件；第一夹持组件和第三夹持组件夹持住输送轴进行支撑时，第二夹持组件和第四夹持组件会夹持住工件带动工件在输送轴上运动，第二夹持组件和第四夹持组件夹持工件运动一定距离后，会松开工件去对输送轴进行夹持，第一夹持组件和第三夹持组件松开输送轴，运动道工件处对工件进行夹持，且带动工件运动，带动工件运动到合适的位置，且带动过来的工件会对原先输送过来的工件进行推动，实现工件的持续送进，使工件的输送频率形同，进而使工件处于退火炉内部的时间相同，提高了工件的质量。

本实用新型进一步设置为：所述夹板相互靠近的侧壁上均开设有能够贴合在工件表面上的卡槽。

通过采用上述技术方案，因为工件和输送轴均是圆柱的形状，所以夹板在对工件进行夹持时，夹板和工件的接触是线接触，夹板不能够很好的对工件进行夹持，夹板相互靠近的侧壁上开设有卡槽，卡槽能够和工件的表面贴合，使夹板夹持工件时的线接触变成面接触，使夹板能够更好的对工件进行夹持，确保夹板能够夹住工件，使工件随着第一夹持组件运动。

本实用新型进一步设置为：所述卡槽的内壁上开设有竖直的防滑纹。

通过采用上述技术方案，卡槽内壁上的防滑纹能够增加卡槽和工件或输送轴之间的摩擦力，在夹板对工件或输送轴进行夹持时，能够以较少的力夹住工件，防止过大的夹持力导致工件发生变形，第一夹持组件带动工件运动时水平运动，竖直的防滑纹更好的加强了工件和夹板水平方向的摩擦力，使夹板能够更好的带动工件进行运动。

本实用新型进一步设置为：所述动力组件包括设于边框内部的对丝螺杆，对丝螺杆的两端分别边框两内侧壁转动连接，两个夹板均和对丝螺杆螺纹连接，且连接处位于卡槽的下方，竖板远离夹板的侧壁上固定连接有托板，托板上固定连接有驱动电机，且驱动电机的输出轴和对丝螺杆固定连接。

通过采用上述技术方案，如果两个夹板采用单独的动力装置，则两个夹板的运动容易发生不同步的现象，导致两个夹板不能够夹持住工件或输送轴，甚至对工件造成损坏；所以两个夹板和同一个对丝螺杆螺纹连接，因为对丝螺杆从中间分开作于两部分的螺旋方向不同，所以电机驱动对丝螺杆转动，能够使两个夹板同步相向运动，进而对工件或输送轴进行夹持。

本实用新型进一步设置为：所述两个夹板相互背离的侧壁上均固定连接有直角三角形的支撑块，支撑块较长的直角边侧壁和夹板的侧壁固定连接，且支撑块也和对丝螺杆螺纹连接。

通过采用上述技术方案，夹板和对丝螺杆的连接处位于夹板靠近下端的部分上，在对丝螺杆驱动夹板运动的过程中，夹板的上端受到的驱动力更小，当夹板和工件或输送轴接触时，夹板的上端容易停止运动，而夹板的下端在对丝螺杆的驱动下会继续运动，夹板呈下端紧上端松弛的状态，夹板不能够很好的夹持工件或输送轴，两个夹板相互背离侧壁上的支撑块能够将对丝螺杆产生的驱动力传递到夹板的上端，使夹板的上端能够和夹板的下端一起运动，对工件进行更好的夹持。

本实用新型进一步设置为：所述支撑块远离夹板的顶角上开设有竖直的平面。

通过采用上述技术方案，支撑块为直角三角形，且支撑块长直角边的侧壁和夹板的侧壁固定连接，所以支撑块远离夹板的顶角和边框内壁的距离较近，使夹板做分离运动时位移的距离较小，夹板和工件之间的距离较小，夹板在移动的过程中容易碰触工件，使工件发生位移，第二夹持组件不能够夹持到工件，影响工件的输送；平面能够增加支撑块远离夹板的顶角和边框内壁之间的距离，夹板做分离运动时能够运动较大的位移，夹板和工件之间距离较大，防止夹板移动的过程中碰触到工件，防止工件发生移动，使第二夹持组件能够夹持住工件。

本实用新型进一步设置为：所述边框的下表面固定连接有两个凸块，工作台的上表面开设有两个滑槽，且滑槽的方向和工作台的长度方向相同，凸块能够在滑槽内滑动。

通过采用上述技术方案，边框的长度较长，且边框的滑动方向和边框的长度方向垂直，所以边框的滑动的过程中容易发生偏移，导致边框的长度和输送轴的轴线不能够垂直，影响夹板去夹持工件；通过边框下表面均匀设置的凸块和工作台上的两个滑槽配合，对边框的滑动进行限定，防止边框滑动的过程中发生偏移，确保夹板能够对工件进行夹持。

本实用新型进一步设置为：所述驱动件为气缸，气缸的伸缩杆和下方的横板固定连接。

通过采用上述技术方案，第一夹持组件的完整运动过程为三步，且每步移动的距离均不相同，所以第一夹持组件的运动过程较为复杂，气缸控制第一夹持组件的运动，使第一夹持组件的控制更加方便，且简化了第一夹持组件动力件的结构，简单的动力件结构方便安装，且占用空间小，提高了安装第一夹持组件的效率。

本实用新型进一步设置为：所述夹板的上下两端均固定连接有滑块，边框的上下底面均开设有滑道，且滑道的方向和边框的长度方向相同，滑块能够在滑道内滑动。

通过采用上述技术方案，如果夹板只有一端和边框滑移连接，则夹板的运动的过程中，夹板的另外一端容易发生晃动，进而影响夹板的运动，甚至导致夹板不能够夹持工件或输送轴，夹板的两端均通过滑块以及滑道的配合和边框滑移连接在一起，夹板在运动过程中，夹板的两端均被限定，只能够沿着滑道运动，防止夹板的某端发生晃动，确保夹板能够正常工作，对工件或输送轴进行夹持。

综上所述，本实用新型相比于现有技术具有以下有益效果：

1.通过第一夹持组件、第二夹持组件、第三夹持组件以及第四夹持组件的配合，实现工件的自动输送，提高输送的效率，且使输送的频率相同，使工件在退火炉内的时间相同，使每个工件的质量较为平均，提高了工件的整体质量；

2.两个夹板均螺纹连接在同一个对丝螺杆上，能够使夹板同步运动，使夹板更好的对工件进行夹持，夹板上开设有能够贴合在供工件表面上的卡槽，卡槽内开设有竖直的防滑纹，进一步增加了夹板夹持工件的稳定性。

附图说明

图1是实施例中送料装置的应用图；

图2是实施例中突显第一夹持组件的结构图；

图3是实施例中突显夹板的示意图；

图4是实施例中突显动力组件的结构图。

图中：1、输送轴；2、第一夹持组件；21、边框；211、凸块；22、夹板；23、卡槽；231、防滑纹；24、滑块；25、滑道；26、支撑块；27、平面；3、第二夹持组件；4、第三夹持组件；5、第四夹持组件；6、工作台；61、滑槽；62、横板；63、气缸；7、动力组件；71、固定板；72、驱动电机；73、对丝螺杆。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

实施例：一种连续式退火炉的送料装置，如图1所示，包括贯穿退火炉的输送轴1以及设于退火炉两端的第一夹持组件2、第二夹持组件3、第三夹持组件4、第四夹持组件5以及用来支撑第一夹持组件2、第二夹持组件3、第三夹持组件4以及第四夹持组件5的两个工作台6；第一夹持组件2和第二夹持组件3处于同一工作台6上且位于退火炉的进料端，第三夹持组件4和第四夹持组件5处于同一个工作台6上且位于退火炉的出料端；退火炉进料端和出料端分别开设有进料孔和出料孔，且进料孔以及出料孔的直径大于工件的直径，便于工件进出退火炉；输送轴1通过进料孔以及出料孔且输送轴1的两端分别穿过第一夹持组件2和第二夹持组件3以及第三夹持组件4和第四夹持组件5；第一夹持组件2和第三夹持组件4先夹住输送轴1，对输送轴1起到支撑固定的作用；第二夹持组件3和第四夹持组件5夹持工件且带动工件在输送轴1上运动，第二夹持组件3和第四夹持组件5将工件送到一定距离后，第二夹持组件3和第四夹持组件5松开工件，向初始方向运动一定距离后对输送轴1进行夹持，此时第二夹持组件3和第四夹持组件5起到支撑和固定输送轴1的作用，第一夹持组件2和第三夹持组件4松开输送轴1，运动到第二夹持组件3和第四夹持组件5送过来的工件处对工件进行夹持输送，待第一夹持组件2和第三夹持组件4将工件输送到合适位置后；第一夹持组件2和第三夹持组件4松开工件，回到初始位置对输送轴1进行夹持，第二夹持组件3和第四夹持组件5松开输送轴1去夹持新的工件，如此往复运动，能够将工件输送；处于退火炉内部的工件能够被第一夹持组件2送过来的工件推动，使工件进行运动。

如图2和图3所示，第一夹持组件2、第二夹持组件3、第三夹持组件4以及第四夹持组件5的结构均相同，故在此只对第一夹持组件2进行详细的描述；第一夹持组件2包括和工作台6滑移连接的边框21以及设于边框21内部的两个夹板22；边框21为矩形，方便在边框21内部以及外侧连接零部件；两个夹板22和边框21滑动连接，两个夹板22能够做相向运动，两个夹板22相互靠近的侧壁上开设有弧形的卡槽23，卡槽23能够贴合在工件的表面上，且卡槽23内开设有竖直的防滑纹231；夹板22上如果没有卡槽23，且工件是圆管的形状，所以夹板22和工件的接触为线接触，导致夹板22不能够很好的夹持住工件，故在两个夹板22相互靠近的侧壁上开设有卡槽23，在夹板22夹住工件时，使夹板22和工件的线接触变成面接触，使夹板22能够稳定夹持住工件，防滑纹231能够增加夹板22和工件之间的摩擦力，使夹板22能够更好的夹持工件。

如图2和图3所示，边框21的下表面固定连接由两个均匀设置的凸块211，工作台6的上表面开设有和工作台6长度方向相同的两个滑槽61，凸块211能够在滑槽61内滑动，所以边框21和工作台6滑移连接在一起，且在工作台6的两端均固定连接有横板62，横板62的固定连接有气缸63，气缸63的伸缩杆和边框21固定连接；气缸63能够推动边框21滑动，气缸63相对其他的驱动装置，气缸63推动边框21运动更加平稳，也更加可控，且结构简单，便于设备的维修；边框21的长度较长，且边框21的滑动方向和其长度方向垂直，故边框21在滑动过程中容易发生偏移，导致第一夹持组件2不能够对工件进行夹持；故边框21的下表面固定连接有两个均匀设置的凸块211，工作台6上也开设有两个滑槽61，使边框21的滑动受到两个凸块211和滑槽61的限定，防止边框21滑动的过程中发生偏移，使第一夹持组件2能够正常使用。

如图3和图4所示，在边框21的一侧设有动力组件7；动力组件7包括和边框21侧壁固定连接的固定板71以及固定连接在固定板71上的驱动电机72；动力组件7还包括设于边框21内部的对丝螺杆73，对丝螺杆73的两端分别和边框21的两内侧壁转动连接，两个夹板22对称设置且和对丝螺杆73螺纹连接，且夹板22和对丝螺杆73的连接处处于卡槽23的下方；驱动电机72的输出轴和对丝螺杆73固定连接；驱动电机72能够驱动对丝螺杆73转动，对丝螺杆73从中间分开左右两部分的旋向不同，且两个夹板22分别螺纹连接在不同旋向的部分上，所以对丝螺杆73转动能够使两个夹板22同步做相向运动，使两个夹板22同步运动，能够更好的对工件进行夹持。

如4所示，两个夹板22的上下两端均固定连接有滑块24，边框21内部上下底面上均开设有滑道25，滑块24能够在滑道25内滑动；如果夹板22只有一端和边框21滑移连接，则夹板22在滑动的过程中，夹板22另外一端在滑动的容易左右晃动，从而导致夹板22不能够正常运动；故夹板22的上下两端均固定连接有滑块24，滑块24能够在滑道25内滑动，夹板22的上下两端均和边框21滑移连接，使夹板22能够更好的在边框21内滑动。

如图2所示，两个夹板22相互背离的侧壁上固定连接有直角三角形的支撑块26，且支撑块26也和对丝螺杆73螺栓连接；支撑块26较长的直角边侧壁和夹板22的侧壁固定连接，支撑块26远离夹板的顶角处开设有竖直的平面27；对丝螺杆73和夹板22的连接处靠近夹板22的下端，故夹板22的受力点比较靠下，在对丝螺杆73带动夹板22运动时，夹板22和工件或输送轴1刚接触时，夹板22因为受到的驱动力较小，所以夹板22的上端受到阻力容易停止运动，而夹板22的下端在对丝螺杆73的带动下会继续运动，则两个夹板22呈下端夹紧上端松弛的状态，不能够很好的对工件进行夹持，故设有支撑块26，三角形的支撑块26能够将对丝螺杆73施加的力传递给夹板22的上部分，使夹板22的上部分能够受到较大的驱动力，进而使夹板22能够夹紧工件；支撑块26远离夹板22的顶角开设有竖直的平面27，能够增加支撑块26和边框21内壁之间的距离，进而增加了夹板22的移动距离，使夹板22能够完全松开工件，如果夹板22移动的距离太小，夹板22和工件之间容易存在接触，将工件带动，使工件发生位移，导致第二夹持组件3不能够夹持住工件，所以平面27增加了夹板22的运动距离，确保夹板22不会带动工件运动。

具体使用方式：将安装有第一夹持组件2和第二夹持组件3的工作台6固定在连续式退火炉的进料端，将安装有第三夹持组件4和第四夹持组件5的另外一个工作台6固定在连续式退火炉的出料端，且使两个工作台6的中心线和连续式退火炉的中心线处于同一竖直平面27内，然后将输送轴1穿过出料口和进料口安装进连续式退火炉内，且输送轴1的两端分别穿过第一夹持组件2、第二夹持组件3和第三夹持组件4、第四夹持组件5；在输送轴1上套接多个工件；第二夹持组件3和第四夹持组件5首先对输送轴1进行夹持并且进行支撑，第一夹持组件2和第三夹持组件4夹持工件并且带动工件在输送轴1上运动进行工件的输送，第一夹持组件2和第三夹持组件4将工件输送一定位置后，松开组件，往回运动一定距离夹持输送轴1并且进行支撑，第一夹持组件2和第三夹持组件4松开输送轴1，去对工件进行夹持，并且带动工件在输送轴1上运动，将工件输送一定距离后，回到初始位置对输送轴1进行夹持，第二夹持组件3和第四夹持组件5松开输送轴1对工件进行夹持并且进行输送，如此往复运动，并且后续的工件能够对前边的工件进行推送，实现了工件的持续输送。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种连续式退火炉的送料装置，其特征在于：包括贯穿退火炉的输送轴（1）、第一夹持组件（2）、第二夹持组件（3）、第三夹持组件（4）以及第四夹持组件（5），输送轴（1）的两端分别穿过第一夹持组件（2）、第二夹持组件（3）和第三夹持组件（4）、第四夹持组件（5）；

退火炉的两端分别固定连接有两个工作台（6），第一夹持组件（2）和第二夹持组件（3）位于退火炉进料端处的工作台（6）上，第三夹持组件（4）和第四夹持组件（5）位于退火炉出料端的工作台（6）上；

第一夹持组件（2）包括和工作台（6）滑移连接的边框（21）以及设于边框（21）内部的两个夹板（22），两个夹板（22）和边框（21）滑移连接且两个夹板（22）能够做相向运动；

工坐台上设有能够驱动边框（21）滑动的驱动件；

边框（21）一侧设有能够驱动两个夹板（22）运动的动力组件（7）；

第二夹持组件（3）、第三夹持组件（4）以及第四夹持组件（5）的结构和第一夹持组件（2）的结构相同。

2.根据权利要求1所述的一种连续式退火炉的送料装置，其特征在于：所述夹板（22）相互靠近的侧壁上均开设有能够贴合在工件表面上的卡槽（23）。

3.根据权利要求2所述的一种连续式退火炉的送料装置，其特征在于：所述卡槽（23）的内壁上开设有竖直的防滑纹（231）。

4.根据权利要求1所述的一种连续式退火炉的送料装置，其特征在于：所述动力组件（7）包括设于边框（21）内部的对丝螺杆（73），对丝螺杆（73）的两端分别边框（21）两内侧壁转动连接，两个夹板（22）均和对丝螺杆（73）螺纹连接，且连接处位于卡槽（23）的下方，竖板远离夹板（22）的侧壁上固定连接有托板，托板上固定连接有驱动电机（72），且驱动电机（72）的输出轴和对丝螺杆（73）固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种连续式退火炉的送料装置，其特征在于：所述两个夹板（22）相互背离的侧壁上均固定连接有直角三角形的支撑块（26），支撑块（26）较长的直角边侧壁和夹板（22）的侧壁固定连接，且支撑块（26）也和对丝螺杆（73）螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的一种连续式退火炉的送料装置，其特征在于：所述支撑块（26）远离夹板（22）的顶角上开设有竖直的平面（27）。

7.根据权利要求6所述的一种连续式退火炉的送料装置，其特征在于：所述边框（21）的下表面固定连接有两个凸块（211），工作台（6）的上表面开设有两个滑槽（61），且滑槽（61）的方向和工作台（6）的长度方向相同，凸块（211）能够在滑槽（61）内滑动。

8.根据权利要求6所述的一种连续式退火炉的送料装置，其特征在于：所述驱动件为气缸（63），气缸（63）的伸缩杆和下方的横板（62）固定连接。

9.根据权利要求1所述的一种连续式退火炉的送料装置，其特征在于：所述夹板（22）的上下两端均固定连接有滑块（24），边框（21）的上下底面均开设有滑道（25），且滑道（25）的方向和边框（21）的长度方向相同，滑块（24）能够在滑道（25）内滑动。