CN208765686U - 单晶硅棒检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种单晶硅棒检测设备，包括支架、两个滑架、夹持驱动组件、两个夹头和旋转驱动组件。支架包括支撑面；两个滑架可滑动地设于支撑面，且沿第一方向设置，第一方向可为支撑面所在平面内的任意直线方向；夹持驱动组件设于支架，用于驱动两个滑架相向或背向移动；两个夹头一一对应的转动连接于两个滑架，且两个夹头正对设置；旋转驱动组件用于驱动至少一夹头相对滑架转动。本申请的单晶硅棒检测设备可自动旋转单晶硅棒，提高工作效率，防止单晶硅棒磕碰损坏。

Description

单晶硅棒检测设备

技术领域

本申请涉及单晶硅检测技术领域，具体而言，涉及一种单晶硅棒检测设备。

背景技术

单晶硅棒，是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的单晶硅产品，用于制造单晶硅片。在单晶硅棒机加完成后，需对机加工后的单晶硅棒的外观品质及几何尺寸进行检测，在检测时，需要对单晶硅棒进行旋转，以便对不同表面进行检测。目前，一般通过人工手动方式实现单晶硅棒的旋转，操作不便，劳动强度大，且容易造成磕碰而使单晶硅棒损坏。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种单晶硅棒检测设备，可代替人工手动方式旋转单晶硅棒，操作方便，提高工作效率，防止单晶硅棒磕碰损坏。

根据本申请的一个方面，提供一种单晶硅棒检测设备，包括：

支架，包括支撑面；

两个滑架，可滑动地设于所述支撑面，且沿第一方向设置，所述第一方向可为所述支撑面所在平面内的任意直线方向；

夹持驱动组件，设于所述支架，用于驱动两个所述滑架相向或背向移动；

两个夹头，一一对应的转动连接于两个所述滑架，且两个所述夹头正对设置；

旋转驱动组件，用于驱动至少一所述夹头相对所述滑架转动。

在本申请的一种示例性实施例中，每个所述滑架包括：

底座，与所述支撑面滑动配合；

夹板，设于所述底座；

两个所述夹头一一对应的设于各所述滑架的夹板。

在本申请的一种示例性实施例中，所述支架设有导轨，所述导轨沿所述第一方向设置，两个所述滑架均与所述导轨滑动配合。

在本申请的一种示例性实施例中，所述夹持驱动组件包括：

丝杠，设于所述支架且沿所述第一方向设置，所述丝杠具有旋向相反的两个螺纹段，两个所述滑架一一对应的螺纹连接于两个所述螺纹段；

驱动件，与所述丝杠连接，用于驱动所述丝杠往复转动。

在本申请的一种示例性实施例中，所述单晶硅棒检测设备还包括：

托板，设于所述支撑面，且位于两个所述滑架之间，所述托板用于承载单晶硅棒；

升降驱动组件，设于所述支架，用于驱动所述托板升降。

在本申请的一种示例性实施例中，所述单晶硅棒检测设备还包括：

垫块，设于所述支撑面和所述托板之间，且与所述托板或所述支撑面连接。

在本申请的一种示例性实施例中，所述托板远离所述支撑面的表面具有间隔的两个凸棱，所述单晶硅棒能限定于两个所述凸棱之间。

在本申请的一种示例性实施例中，所述支撑面设有通孔，所述升降驱动组件设于所述支撑面远离所述托板的一侧，并穿过所述通孔与所述托板连接。

在本申请的一种示例性实施例中，所述单晶硅棒检测设备还包括：

两个垫片，正对设置，且一一对应的设于两个所述夹头正对的端部。

在本申请的一种示例性实施例中，所述支架还包括：

多个支脚，固定于所述支撑面远离所述滑架的一侧，且各所述支脚能够固定于一安装面。

本申请的单晶硅棒检测设备，在使用时，可将支架固定于地面或其它安装面；可通过夹持驱动组件驱动两个滑架相向移动，直至两个夹头夹持单晶硅棒。在检测时，可通过旋转驱动组件驱动至少一个夹头转动，从而使单晶硅棒同步旋转，可代替人工手动方式旋转单晶硅棒，以便对单晶硅棒进行检测，使工作效率提升，并避免因人工旋转造成的磕碰，防止单晶硅棒损坏。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施方式单晶硅棒检测设备的示意图。

图2为本申请实施方式单晶硅棒检测设备的前视图。

图中：1、支架；101、支撑面；1011、通孔；102、支脚；2、滑架；21、底座；22、夹板；3、夹持驱动组件；31、丝杠；32、驱动件；4、夹头；5、旋转驱动组件；6、托板；61、凸棱；7、升降驱动组件；8、导轨；9、垫块；10、安装座；11、垫片；12、第一护罩；13、第二护罩；14、控制箱。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“一个”、“一”、“该”、“所述”和“至少一个”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。

本申请实施方式提供了一种单晶硅棒检测设备，可用于单晶硅棒的检测，单晶硅棒的外周面可包括多个待检测的表面。

如图1和图2所示，该单晶硅棒检测设备可以包括支架1、滑架2、夹持驱动组件3、夹头4和旋转驱动组件5，其中：

支架1具有支撑面101。

滑架2的数量为两个，两个滑架2可滑动地设于支撑面101且沿第一方向设置，第一方向可为支撑面101所在平面内的任意直线方向。

夹持驱动组件3设于支架1，并可用于驱动两个滑架2相向或背向移动。

夹头4的数量为两个，两个夹头4一一对应的转动连接于两个滑架2，且两个夹头4正对设置。

旋转驱动组件5用于驱动至少一夹头4相对滑架2转动。

本申请的单晶硅棒检测设备，在使用时，可将支架1固定于地面或其它安装面；可通过夹持驱动组件3驱动两个滑架2相向移动，直至两个夹头4夹持单晶硅棒。在检测时，可通过旋转驱动组件5驱动至少一个夹头4转动，从而使单晶硅棒同步旋转，可代替人工手动方式旋转单晶硅棒，以便对单晶硅棒进行检测，避免人工操作，使工作效率提升，并避免因人工旋转造成的磕碰，防止单晶硅棒损坏。

下面对本申请实施方式单晶硅棒检测设备的各部分进行详细说明：

如图1和图2所示，支架1可以包括一支撑面101，在使用时，可使支撑面101水平设置。举例而言，支架1可包括支撑面101和支脚102，其中：支脚102的数量可为多个，且均可通过地脚螺钉固定于地面，每个支脚102的高度相同。支撑面101可连接于各支脚102远离地面的一端，且支撑面101可水平设置。支撑面101与支脚102可以是一体成型连接，也可以通过焊接或利用螺栓连接等方式连接。支架1可由40mm×40mm方形钢管与厚度5mm钢板焊接而成。

当然，支架1也可以是其它结构，在此不再一一列举，只要具有上述的支撑面101即可。

如图1和图2所示，滑架2的数量可为两个，两个滑架2可滑动地设于支撑面101且沿第一方向设置，两个滑架2正对设置。第一方向可为支撑面101所在平面内的任意直线方向。支撑面101可固定有导轨8，导轨8可沿直线延伸，并沿第一方向设置，两个滑架2均可与导轨8滑动配合，从而可沿第一方向相向或背向滑动。当然，也可在支撑面101设置滑槽，滑架2上设置配合置入滑槽的滑块，同样可实现滑架2与支撑面101的滑动连接。导轨8的数量可以是多个，例如两个，各导轨8间隔且平行设置，两个滑架2均与各导轨8滑动配合。

举例而言，每个滑架2可包括底座21和夹板22，其中：

底座21可设于支撑面101，并与支撑面101上的导轨8滑动配合，底座21可为条状，且与导轨8垂直设置。

夹板22可设于底座21，并可与支撑面101垂直设置，每个夹板22可设有一个夹头4。两个滑架2的底座21可平行设置，夹板22也平行设置。

夹头4可为柱状结构，其数量可为两个，夹头4可平行于支撑面101设置，且沿第一方向正对设置，即两个夹头4的中轴线沿平行于支撑面101的直线共线设置。两个夹头4位于两个滑架2之间，且一一对应的转动连接于两个滑架2，且两个夹头4均可绕自身的中轴线转动。两个夹头4可夹持于单晶硅棒的两端。举例而言，两个夹头4一一对应的转动连接于两个夹板22，且正对设置。

如图1和图2所示，夹持驱动组件3可设于支撑面101，并可驱动两个滑架2相向或背向移动。举例而言，夹持驱动组件3可包括丝杠31和驱动件32，其中：

丝杠31可沿第一方向设置于支架1的支撑面101上。丝杠31可具有旋向相反的两个螺纹段，两个滑架2一一对应的螺纹连接于两个螺纹段。具体而言，支撑面101可设有两个安装座10，丝杠31的一端转动连接于一安装座10，另一端转动连接于另一安装座10，从而将丝杠31可转动地设于支撑面101。安装座10的材质可为45号钢或其他材料，在此不对其材料做特殊限定。

驱动件32可固定于支撑面101，并与丝杠31连接，可驱动丝杠31往复转动，从而使两个滑架2相向或背向移动。驱动件32可以是电机。驱动件32外可设有第一护罩12。

如图1和图2所示，旋转驱动组件5可设于一滑架2，并可与该滑架2上的夹头4连接，用于驱动该夹头4相对该滑架2转动。当然，旋转驱动组件5也可以设于另一滑架2上并与该滑架2上的夹头4连接，以驱动该夹头4转动，在此不对其驱动的夹头4做特殊限定，也可以通过两个旋转驱动组件5分别驱动两个夹头4独立转动。旋转驱动组件5可以是电机。滑架2可设有第二护罩13，旋转驱动组件5可设于第二护罩13内。

如图1和图2所示，本申请实施方式的单晶硅棒检测设备还可包括托板6和升降驱动组件7，其中：

托板6可设于支撑面101上，并可与支撑面101接触，也可不接触，只要能在支撑面101上升降即可，即沿垂直于支撑面101的方向远离或靠近所述支撑面101运动。

托板6远离支撑面101的表面可具有间隔的两个凸棱61，单晶硅棒能限定于两个凸棱61之间，通过两个凸棱61可对单晶硅棒进行限位，防止其滚落。凸棱61的材料可以是聚丙烯，当然，也可以是其它材料，以防止划伤单晶硅棒。

如图1和图2所示，升降驱动组件7可设于支撑面101远离托板6的一侧，即支撑面101的下方，且升降驱动组件7可与支架1固定连接，例如，在支撑面101远离托板6的一侧设置安装架，升降驱动组件7可固定于该安装架上。同时，支撑面101可设有通孔1011，升降驱动组件7可设于支撑面101远离托板6的一侧，并可从通孔1011穿过，且与托板6连接，以便驱动托板6升降。升降驱动组件7可以是气缸，例如双杆双轴TDN系列气缸，通过气缸的伸缩，实现托板6的上升和下降动作，从而实现单晶硅棒上升和下降。当然，升降驱动组件7也可以是液压缸、直线电机等，在此不再一一列举。

如图1和图2所示，本申请实施方式的单晶硅棒检测设备还可包括垫块9，垫块9可位于托板6和支撑面101之间，垫块9可与支撑面101或托板6连接，从而可对托板6进行支撑，垫块9的数量为多个，用于防止托板6贴合支撑面101，对托板6的下降进行限位。同时，垫块9的材料可为聚氨酯，也可以是橡胶或其它弹性材料。

如图1和图2所示，本申请实施方式的单晶硅棒检测设备还可以包括垫片11，垫片11的数量为两个，两个垫片11正对设置，且一一对应的设于两个夹头4正对的端部，在夹持单晶硅棒时，垫片11可增大摩擦力，防止单晶硅棒掉落。垫片11的材料可为聚氨酯等能够增大摩擦的材料。

如图1和图2所示，本申请实施方式单晶硅棒检测设备还可以包括控制箱14，控制箱14可设于支架1，其可用于控制夹持驱动组件3、旋转驱动组件5和升降驱动组件7。控制箱14可包括箱体、处理器和按钮等，只要能控制夹持驱动组件3、旋转驱动组件5和升降驱动组件7即可。举例而言，夹持驱动组件3的驱动件32和旋转驱动组件5均为电机，升降驱动组件7为气缸，控制箱14可控制电机的启、停、转速和转向，还可控制气缸的启、停和换向。

下面对单晶硅棒检测设备的工作原理进行说明：

可将待检测的单晶硅棒沿第一方向置于托板6上，并通过凸棱61进行限位。然后，可通过升降驱动组件7驱动托板6上升至预设位置，使单晶硅棒的中轴线与夹头4的中轴线共线。然后，可通过驱动件32驱动丝杠31转动，带动两个滑架2相向移动，将单晶硅棒加紧。此时，升降驱动组件7驱动托板6下降复位。若需要检测单晶硅棒的不同表面，可通过旋转驱动组件5驱动一夹头4转动，带动单晶硅棒转动，对单晶硅棒进行旋转，以便对各待检测的表面进行检测。由此，可避免人工搬运和旋转单晶硅棒，可免于人工操作，降低劳动强度，防止单晶硅棒因人工旋转而造成损坏。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的实用新型后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims (10)

1.一种单晶硅棒检测设备，其特征在于，包括：

支架，包括支撑面；

两个滑架，可滑动地设于所述支撑面，且沿第一方向设置，所述第一方向可为所述支撑面所在平面内的任意直线方向；

夹持驱动组件，设于所述支架，用于驱动两个所述滑架相向或背向移动；

两个夹头，一一对应的转动连接于两个所述滑架，且两个所述夹头正对设置；

旋转驱动组件，用于驱动至少一所述夹头相对所述滑架转动。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，每个所述滑架包括：

底座，与所述支撑面滑动配合；

夹板，设于所述底座；

两个所述夹头一一对应的设于各所述滑架的夹板。

3.根据权利要求1所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述支架设有导轨，所述导轨沿所述第一方向设置，两个所述滑架均与所述导轨滑动配合。

4.根据权利要求1所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述夹持驱动组件包括：

丝杠，设于所述支架且沿所述第一方向设置，所述丝杠具有旋向相反的两个螺纹段，两个所述滑架一一对应的螺纹连接于两个所述螺纹段；

驱动件，与所述丝杠连接，用于驱动所述丝杠往复转动。

5.根据权利要求1至4任一项所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述单晶硅棒检测设备还包括：

托板，设于所述支撑面，且位于两个所述滑架之间，所述托板用于承载单晶硅棒；

升降驱动组件，设于所述支架，用于驱动所述托板升降。

6.根据权利要求5所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述单晶硅棒检测设备还包括：

垫块，设于所述支撑面和所述托板之间，且与所述托板或所述支撑面连接。

7.根据权利要求5所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述托板远离所述支撑面的表面具有间隔的两个凸棱，所述单晶硅棒能限定于两个所述凸棱之间。

8.根据权利要求5所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述支撑面设有通孔，所述升降驱动组件设于所述支撑面远离所述托板的一侧，并穿过所述通孔与所述托板连接。

9.根据权利要求1所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述单晶硅棒检测设备还包括：

两个垫片，正对设置，且一一对应的设于两个所述夹头正对的端部。

10.根据权利要求1所述的单晶硅棒检测设备，其特征在于，所述支架还包括：

多个支脚，固定于所述支撑面远离所述滑架的一侧，且各所述支脚能够固定于一安装面。