CN208717464U - 一种单晶炉的水冷热屏结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉的水冷热屏结构，包括单晶炉炉盖以及与该单晶炉炉盖滑动配合的环状的水冷热屏，水冷热屏具有进水口、出水口，水冷热屏包括外屏、内屏，外屏和内屏上下两端密封配合形成内腔，内腔内具有第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板，且第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板将所述的内腔分隔形成供水流单向流动的流道，进水口、出水口均连接有连接管，且所述连接管与炉盖滑动配合。机构简单、维护方便、可靠性高，通过热屏升降装置，升降水冷热屏，保证拉晶速度的均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉的水冷热屏结构。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
单晶炉用水冷热屏结构的作用如下：在单晶硅拉制过程中，通过水冷热屏结构加快晶棒的冷却速度，从而提高拉速，从而降低单晶硅的成本。一般的单晶炉，都没有这种结构，或者是采用固定式的水冷热屏，这种水冷热屏对晶棒的冷却效率不是很高，容易造成拉晶的速度不均匀等现象。
发明内容
针对上述技术问题，本实用新型提供了一种单晶炉的水冷热屏结构，机构简单、维护方便、可靠性高，通过热屏升降装置，升降水冷热屏，保证拉晶速度的均匀性。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种单晶炉的水冷热屏结构，包括单晶炉炉盖以及与该单晶炉炉盖滑动配合的环状的水冷热屏，水冷热屏具有进水口、出水口，水冷热屏包括外屏、内屏，外屏和内屏上下两端密封配合形成内腔，内腔内具有第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板，且第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板将所述的内腔分隔形成供水流单向流动的流道，
第一导流板、第二导流板在所述内屏外壁或外屏内壁上由上至下设置，第一导流板和第二导流板将内屏外壁或外屏内壁分隔出第一弧面、第二弧面，
第一导流板与所述内屏、外屏之间密封配合，第二导流板上除其下端与内屏、外屏之间形成缺口外与所述内屏、外屏密封配合，
第三导流板在所述内屏外壁或外屏内壁的第二弧面上沿周向设置且相邻两个第三导流板在水冷热屏轴线方向上间隔设置，
相邻两个第三导流板中，一个导流板的一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板之间间隔配合；另一个导流板一端与第一导流板之间间隔配合，另一端与第二导流板密封配合，且位于最下端的第三导流板一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板间隔配合，
进水口设置在所述内屏或外屏上并连通第一弧面对应的空腔部分，出水口设置在所述内屏或外屏上并连通第二弧面对应的空腔部分上端，
进水口、出水口均连接有连接管，且所述连接管与炉盖滑动配合。
作为上述方案的优选，连接管、外屏和内屏之间焊接连接。
作为上述方案的优选，炉盖为不锈钢水冷焊接件。
作为上述方案的优选，水冷热屏由固定在单晶炉炉盖上的升降装置带动执行升降动作。
本实用新型的有益效果是：本实用新型机构简单、维护方便、可靠性高，通过热屏升降装置，升降水冷热屏，保证拉晶速度的均匀性。
附图说明
图1是水冷热屏结构的结构示意图；
图2是水冷热屏的立体图；
图3是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。
如图1-3所示，一种单晶炉的水冷热屏结构，包括单晶炉炉盖2以及与该单晶炉炉盖滑动配合的环状的水冷热屏1，水冷热屏具有进水口13、出水口，水冷热屏包括外屏11、内屏12，外屏和内屏上下两端密封配合形成内腔，内腔内具有第一导流板14、第二导流板15以及若干个第三导流板16，且第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板将所述的内腔分隔形成供水流单向流动的流道，
第一导流板、第二导流板在所述内屏外壁或外屏内壁上由上至下设置，第一导流板和第二导流板将内屏外壁或外屏内壁分隔出第一弧面、第二弧面，
第一导流板与所述内屏、外屏之间密封配合，第二导流板上除其下端与内屏、外屏之间形成缺口17外与所述内屏、外屏密封配合，
第三导流板在所述内屏外壁或外屏内壁的第二弧面上沿周向设置且相邻两个第三导流板在水冷热屏轴线方向上间隔设置，
相邻两个第三导流板中，一个导流板的一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板之间间隔配合；另一个导流板一端与第一导流板之间间隔配合，另一端与第二导流板密封配合，且位于最下端的第三导流板一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板间隔配合，
进水口设置在所述内屏或外屏上并连通第一弧面对应的空腔部分，出水口设置在所述内屏或外屏上并连通第二弧面对应的空腔部分上端，
进水口、出水口均连接有连接管，且所述连接管与炉盖滑动配合。
连接管、外屏和内屏之间焊接连接。
炉盖为不锈钢水冷焊接件。
水冷热屏由固定在单晶炉炉盖上的升降装置带动执行升降动作。
在上述实施例的基础上，作进一步说明，升降装置可为两个丝杆组件，丝杆组件由丝杆和丝杆副构成，丝杆副与连接管固定连接，丝杆的轴向方向为竖直方向。
更具体的说，水冷热屏包括外屏11、内屏12，外屏和内屏上下两端密封配合形成内腔，内腔内具有第一导流板14、第二导流板15以及若干个第三导流板16。
第一导流板14、第二导流板15在所述内屏外壁或外屏内壁上由上至下设置，第一导流板和第二导流板将内屏外壁或外屏内壁分隔出第一弧面18、第二弧面19。
进水口设置在内屏上第一弧面所对应的区域，出水口设置在内屏上第二弧面所对应的区域。
第一导流板与所述内屏、外屏之间密封配合，第二导流板上除其下端与内屏、外屏之间形成缺口17外与所述内屏、外屏密封配合。
第三导流板在所述内屏外壁或外屏内壁的第二弧面上沿周向设置且相邻两个第三导流板在水冷热屏轴线方向上间隔设置。
相邻两个第三导流板中，一个导流板的一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板之间间隔配合；另一个导流板一端与第一导流板之间间隔配合，另一端与第二导流板密封配合，且位于最下端的第三导流板一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板间隔配合。
对于本领域的技术人员来说，依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种单晶炉的水冷热屏结构，其特征在于，包括单晶炉炉盖以及与该单晶炉炉盖滑动配合的环状的水冷热屏，水冷热屏具有进水口、出水口，水冷热屏包括外屏、内屏，外屏和内屏上下两端密封配合形成内腔，内腔内具有第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板，且第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板将所述的内腔分隔形成供水流单向流动的流道，
第一导流板、第二导流板在所述内屏外壁或外屏内壁上由上至下设置，第一导流板和第二导流板将内屏外壁或外屏内壁分隔出第一弧面、第二弧面，
第一导流板与所述内屏、外屏之间密封配合，第二导流板上除其下端与内屏、外屏之间形成缺口外与所述内屏、外屏密封配合，
第三导流板在所述内屏外壁或外屏内壁的第二弧面上沿周向设置且相邻两个第三导流板在水冷热屏轴线方向上间隔设置，
相邻两个第三导流板中，一个导流板的一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板之间间隔配合；另一个导流板一端与第一导流板之间间隔配合，另一端与第二导流板密封配合，且位于最下端的第三导流板一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板间隔配合，
进水口设置在所述内屏或外屏上并连通第一弧面对应的空腔部分，出水口设置在所述内屏或外屏上并连通第二弧面对应的空腔部分上端，
进水口、出水口均连接有连接管，且所述连接管与炉盖滑动配合。
2.如权利要求1所述的单晶炉的水冷热屏结构，其特征在于，连接管、外屏和内屏之间焊接连接。
3.如权利要求1所述的单晶炉的水冷热屏结构，其特征在于，炉盖为不锈钢水冷焊接件。
4.如权利要求1所述的单晶炉的水冷热屏结构，其特征在于，水冷热屏由固定在单晶炉炉盖上的升降装置带动执行升降动作。
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|---|---|---|---|---|
| CN112760709A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-05-07 | 晶澳太阳能有限公司 | 一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置和单晶硅生长方法 |
| CN115341278A (zh) * | 2022-07-28 | 2022-11-15 | 陕西斯瑞新材料股份有限公司 | 一种利用铜或铜合金制备的单晶炉水冷热屏及其制备方法 |
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| CN112760709B (zh) * | 2020-12-25 | 2022-04-08 | 晶澳太阳能有限公司 | 一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置和单晶硅生长方法 |
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| CN115341278B (zh) * | 2022-07-28 | 2023-10-10 | 陕西斯瑞新材料股份有限公司 | 一种利用铜或铜合金制备的单晶炉水冷热屏及其制备方法 |
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