CN208717418U - 一种真空镀膜室 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空镀膜室，包括有镀膜室罐体，镀膜室罐体底部设置有罐体安装支架，镀膜室罐体内设置有安装转架，安装转架之间设置有筒体，筒体内固定安装有与该筒体形状相配合的气密封空心筒；气密封空心筒内平行设置有多个隔离板，隔离板将气密封空心筒分割为多个区域，每个隔离板内部平行设置有多条通气管道，通气管道的两侧隔离板上以及构成通气管道的上、下隔离板上均设置有抽气孔，多条通气管道通过抽气孔彼此连通，在气密封空心筒上还设置有两个抽气通道，抽气通道与通气管道相通，抽气通道的另一端与镀膜室罐体上的抽气孔相通。本实用新型可以缩短抽真空的时间、提高真空抽气的均匀性以及节约电能的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜室。
背景技术
现有技术中的真空镀膜室，在对板材镀膜时候，首先需要通过真空泵将镀膜室罐体内的气体抽走，使得镀膜室体内达到一定的真空度，由于镀膜室罐体内的空间较大，使用真空泵抽真空的时间相对较长，真空泵的功率也比较大，达不到节能的要求；此外，传统的真空镀膜室由于腔室很大，在对这种腔室进行抽真空的时候，只能设置几个定点的抽气孔，在抽气的时候，外围的空气很快被抽走，中间的空气再慢慢的流向四周，最后通过抽气孔抽走，这样就会产生真空抽气不均匀现象，极易造成镀膜膜层的不均匀性。
实用新型内容
为解决现有技术的缺点和不足，提供一种真空镀膜室，从而达到缩短抽真空的时间、提高真空抽气的均匀性以及节约电能的目的。
为实现本实用新型目的而提供的一种真空镀膜室，包括有镀膜室罐体，所述镀膜室罐体底部设置有罐体安装支架，所述镀膜室罐体内设置有安装转架，所述安装转架之间设置有筒体，所述筒体内固定安装有与该筒体形状相配合的气密封空心筒；所述气密封空心筒内平行设置有多个隔离板，所述隔离板将所述气密封空心筒分割为多个区域，每个隔离板内部平行设置有多条通气管道，所述通气管道的两侧隔离板上以及构成通气管道的上、下隔离板上均设置有抽气孔，多条通气管道通过抽气孔彼此连通，在气密封空心筒上还设置有两个抽气通道，所述抽气通道与所述通气管道相通，所述抽气通道的另一端与镀膜室罐体上的抽气孔相通。
作为上述方案的进一步改进，所述气密封空心筒外部固定设置有多条横向加强筋，所述横向加强筋平行焊接在所述气密封空心筒外部。
作为上述方案的进一步改进，所述气密封空心筒外部还设置有竖向加强筋，所述竖向加强筋与横向加强筋交错焊接在所述气密封空心筒外部。
作为上述方案的进一步改进，所述横向加强筋与竖向加强筋均设置为不锈钢实心条。
作为上述方案的进一步改进，所述隔离板设置为三块。
本实用新型的有益效果是：
与现有技术相比，本实用新型在筒体内固定安装有与该筒体形状相配合的气密封空心筒，当使用真空泵抽镀膜室罐体内的气体时候，相当于少抽了气密封空心筒所占空间体积的气体，即使采用功率较小的真空泵也能在相对较短时间内，使得镀膜室罐体内达到所需要的真空度，由于可以采用较小功率的真空泵，所以使用本实用新型的真空镀膜室对板材镀膜时候，节约了电能，提高了效率，降低了真空泵的采购成本；此外，气密封空心筒内平行设置有多个隔离板，隔离板将气密封空心筒分割为多个区域，每个隔离板内部平行设置有多条通气管道，通气管道的两侧隔离板上以及构成通气管道的上、下隔离板上均设置有抽气孔，多条通气管道通过抽气孔彼此连通，在气密封空心筒上还设置有两个抽气通道，抽气通道与通气管道相通，抽气通道的另一端与镀膜室罐体上的抽气孔相通，通过采用通气管道，从通常的两侧抽气创新为上、下、左、右等多方位对气密封空心筒进行抽气，有效提高了真空抽气的均匀性，防止镀膜室局部抽气不均匀现象的发生。
附图说明
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明，其中：
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的气密封空心筒的外部结构示意图。
具体实施方式
如图1、图2所示，本实用新型提供的一种真空镀膜室，包括有镀膜室罐体1，镀膜室罐体1底部设置有罐体安装支架2，镀膜室罐体1内设置有安装转架3，安装转架3之间设置有筒体4，筒体4内固定安装有与该筒体4形状相配合的气密封空心筒5；气密封空心筒5内平行设置有多个隔离板6，具体可以设置为三块，隔离板6将气密封空心筒5分割为多个区域，每个隔离板6内部平行设置有多条通气管道7，通气管道7的两侧隔离板6上以及构成通气管道7的上、下隔离板6上均设置有抽气孔8，多条通气管道7通过抽气孔8彼此连通，在气密封空心筒5上还设置有两个抽气通道9，抽气通道9与通气管道7相通，抽气通道9的另一端与镀膜室罐体1上的抽气孔8相通。由于在热工作状态下，气密封空心筒5需要具有良好的刚度稳定性，同时要防止过大的应力变形。故在本实用新型中，气密封空心筒5采用如下实施例：气密封空心筒5外部固定设置有多条横向加强筋10，横向加强筋10平行焊接在气密封空心筒5外部。气密封空心筒5外部还设置有竖向加强筋11，竖向加强筋11与横向加强筋10交错焊接在气密封空心筒5外部。其中，横向加强筋10与竖向加强筋11均设置为不锈钢实心条。采用这种实施例，即使在热工作状态下也不会变形，而且这种结构简单，改进成本低，加工难度低，实用性很强。与现有技术相比，本实用新型在筒体4内固定安装有与该筒体4形状相配合的气密封空心筒5，当使用真空泵抽镀膜室罐体1内的气体时候，相当于少抽了气密封空心筒5所占空间体积的气体，即使采用功率较小的真空泵也能在相对较短时间内，使得镀膜室罐体1内达到所需要的真空度，由于可以采用较小功率的真空泵，所以使用本实用新型的真空镀膜室对板材镀膜时候，节约了电能，提高了效率，降低了真空泵的采购成本；此外，气密封空心筒5内平行设置有多个隔离板6，隔离板6将气密封空心筒5分割为多个区域，每个隔离板6内部平行设置有多条通气管道7，通气管道7的两侧隔离板6上以及构成通气管道7的上、下隔离板6上均设置有抽气孔8，多条通气管道7通过抽气孔8彼此连通，在气密封空心筒5上还设置有两个抽气通道9，抽气通道9与通气管道7相通，抽气通道9的另一端与镀膜室罐体1上的抽气孔8相通，当进行真空抽气的时候，位于隔离板6两侧的空气会从通气管道7两侧的抽气孔8进入通气管道7，实现横向输送；然后再由通气管道7上方和下方的抽气孔8，在各个平行的通气管道7之间流动至抽气通道9，实现纵向输送，最后再由抽气通道9经过抽气孔8排出，通过采用通气管道7，从通常的两侧抽气创新为横向、纵向对气密封空心筒5进行抽气，有效提高了真空抽气的均匀性，防止镀膜室局部抽气不均匀现象的发生。
以上实施例不局限于该实施例自身的技术方案，实施例之间可以相互结合成新的实施例。以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而并非对其进行限制，凡未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换，其均应涵盖在本实用新型技术方案的范围内。
Claims (5)
1.一种真空镀膜室，包括有镀膜室罐体(1)，其特征在于：所述镀膜室罐体(1)底部设置有罐体安装支架(2)，所述镀膜室罐体(1)内设置有安装转架(3)，所述安装转架(3)之间设置有筒体(4)，所述筒体(4)内固定安装有与该筒体(4)形状相配合的气密封空心筒(5)；所述气密封空心筒(5)内平行设置有多个隔离板(6)，所述隔离板(6)将所述气密封空心筒(5)分割为多个区域，每个隔离板(6)内部平行设置有多条通气管道(7)，所述通气管道(7)的两侧隔离板(6)上以及构成通气管道(7)的上、下隔离板(6)上均设置有抽气孔(8)，多条通气管道(7)通过抽气孔(8)彼此连通，在气密封空心筒(5)上还设置有两个抽气通道(9)，所述抽气通道(9)与所述通气管道(7)相通，所述抽气通道(9)的另一端与镀膜室罐体(1)上的抽气孔(8)相通。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜室，其特征在于：所述气密封空心筒(5)外部固定设置有多条横向加强筋(10)，所述横向加强筋(10)平行焊接在所述气密封空心筒(5)外部。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜室，其特征在于：所述气密封空心筒(5)外部还设置有竖向加强筋(11)，所述竖向加强筋(11)与横向加强筋(10)交错焊接在所述气密封空心筒(5)外部。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜室，其特征在于：所述横向加强筋(10)与竖向加强筋(11)均设置为不锈钢实心条。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜室，其特征在于：所述隔离板(6)设置为三块。
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|---|---|---|---|
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| CN201821160749.2U Expired - Fee Related CN208717418U (zh) | 2018-07-20 | 2018-07-20 | 一种真空镀膜室 |
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2018
- 2018-07-20 CN CN201821160749.2U patent/CN208717418U/zh not_active Expired - Fee Related
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