CN208691123U - 真空电镀用高可靠性偏压电源模块 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，水冷组件(2)安装于壳体(1)内；所述水冷组件(2)包含有水冷铝板(2.1)，所述水冷铝板(2.1)内设置有冷却水道，该冷却水道的两个开口端上分别插置有进水端子(2.2)和出水端子(2.3)，且进水端子(2.2)和出水端子(2.3)分别嵌置于进水端子安装孔(1.1)和出水端子安装孔(1.2)内。本实用新型涉一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，通过水冷方式，大大提高了散热性能，保证了半导体器件始终工作在线形范围内，保证了输出的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种偏压电源模块，尤其是涉及一种可应用于真空电镀等工艺和设备上的高可靠性偏压电源模块，属于电源技术领域。
背景技术
目前，在真空电镀工艺中、铝氧化操作工序中、以及CVD化学蒸汽沉积炉等工艺和装置中都需要用到的大功率的偏压电源模块作为加热电热，尤其是真空电镀用工艺中，由于工艺精度的要求，不但要求电源功率大，而且要求其能提供稳定可靠的电流电压输出；而常规的大功率加热电源，由于在使用过程中会产生大量的热量，常规的风冷结构无法有效的进行散热，因此电源内部各个电器件的温度将大幅上升，尤其是对于IGBT等半导体器件，温升将不可避免的导致其发生温漂，从而影响精度，导致性能的不稳定；为此，亟需一种具有高效散热能力的电源。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，通过水冷方式，大大提高了散热性能，保证了半导体器件始终工作在线形范围内，保证了输出的稳定性。
本实用新型的目的是这样实现的：
一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，所述模块包含有壳体，所述壳体的面板上安装有桥式整流电路和空气开关，进线端子经电源线连接至空气开关的进线端，所述空气开关的出线端连接至桥式整流电路的进线端，所述壳体的背板上设置有进水端子安装孔和出水端子安装孔，所述壳体的两块侧板内壁上均设置有搁置条，水冷组件安装于壳体内；所述水冷组件包含有水冷铝板，所述水冷铝板内设置有冷却水道，该冷却水道的两个开口端上分别插置有进水端子和出水端子，且进水端子和出水端子分别嵌置于进水端子安装孔和出水端子安装孔内，所述水冷铝板的两侧搁置在搁置条上，IGBT逆变电路安装于水冷铝板的正面，桥式整流电路的出线端连接至IGBT逆变电路的输入端，变压器和滤波电路安装于水冷铝板的背面，IGBT逆变电路的输出端连接至变压器的初级线圈输入端，所述变压器的次级线圈输出端连接至滤波电路的输入端，所述滤波电路的输出端连接至出线铜排，控制板安装于水冷铝板的背面，且控制板上的驱动电路与IGBT逆变电路的控制输入端相连接。
本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，一搁置条上设置有定位块；所述水冷铝板的一侧边上向内凹陷形成有定位豁口，且上述定位块嵌置于定位豁口内。
本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，所述进线端子和出线铜排穿接于壳体的背板上。
本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，所述水冷铝板的四个角上设置有固定孔，固定螺栓穿过固定孔后旋置于搁置条内，所述水冷铝板上设置有多个安装孔。
本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，所述壳体上安装有多条走线条，所述走线条的顶面上沿其长度方向设置有走线槽，所述走线槽的两侧槽壁上分别设置有多个捆扎槽。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过水冷方式进行散热，能够快速有效的将各个器件散发的热量进行有效的排除，从而极大的降低了其工作温度，保证电子器件(尤其是半导体器件)始终工作在最佳温度区间范围内，保证输出电流电压的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块的电源模块的立体效果示意图。
图2为本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块的电源模块的另一视角的立体效果示意图。
图3为本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块的电源模块的另一视角的立体效果示意图。
图4为本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块的电源模块的仰视图。
图5为本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块的电源模块的壳体内侧壁的局部示意图。
图6为本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块的电源模块的水冷组件的结构示意图。
图7为本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块的电源模块水冷组件的结构示意图。
图8为本实用新型一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块的电路框图。
其中：
壳体1、水冷组件2、进线端子3、出线铜排4、走线条5、控制板6；
进水端子安装孔1.1、出水端子安装孔1.2、搁置条1.3、定位块1.4；
水冷铝板2.1、进水端子2.2、出水端子2.3；
定位豁口2.1.1、固定孔2.1.2、安装孔2.1.3；
桥式整流电路201、IGBT逆变电路202、变压器203、滤波电路204、空气开关205。
具体实施方式
参见图1～8，本实用新型涉及的一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，所述模块包含有壳体1，所述壳体1的面板上安装有桥式整流电路201和空气开关205，进线端子3经电源线连接至空气开关205的进线端，所述空气开关205的出线端连接至桥式整流电路201的进线端，水冷组件2安装于壳体1内；所述壳体1的背板上设置有进水端子安装孔1.1和出水端子安装孔1.2，所述壳体1的两块侧板内壁上均设置有搁置条1.3，一搁置条1.3上设置有定位块1.4；所述水冷组件2包含有水冷铝板2.1，所述水冷铝板2.1内设置有冷却水道，该冷却水道的两个开口端上分别插置有进水端子2.2和出水端子2.3(具体的讲，所述进水端子2.2上设置的引导管通过胀管技术插入冷却水道内；同样的，所述出水端子2.3上设置的引导管同样通过胀管技术插入冷却水道内；)，且进水端子2.2和出水端子2.3分别嵌置于进水端子安装孔1.1和出水端子安装孔1.2内，所述水冷铝板2.1的一侧边上向内凹陷形成有定位豁口2.1.1，所述水冷铝板2.1的两个搁置在搁置条1.3上，且上述定位块1.4嵌置于定位豁口2.1.1内，所述水冷铝板2.1的四个角上设置有固定孔2.1.2，固定螺栓穿过固定孔2.1.2后旋置于搁置条1.3内，所述水冷铝板2.1上设置有多个安装孔2.1.3，IGBT逆变电路202通过安装孔2.1.3安装于水冷铝板2.1的正面，桥式整流电路201的出线端连接至IGBT逆变电路202的输入端，变压器203和滤波电路204通过安装孔2.1.3安装于水冷铝板2.1的背面，IGBT逆变电路202的输出端连接至变压器203的初级线圈输入端，所述变压器203的次级线圈输出端连接至滤波电路204的输入端，所述滤波电路204的输出端连接至出线铜排4，控制板6通过安装孔2.1.3安装于水冷铝板2.1的背面，且控制板6上的驱动电路与IGBT逆变电路202的控制输入端相连接；从而便于IGBT逆变电路202、变压器203和滤波电路204等工作时产生的热量进行吸收；上述进线端子3和出线铜排4穿接于壳体1的背板上；
进一步的，所述壳体1上安装有多条走线条5，所述走线条5的顶面上沿其长度方向设置有走线槽，所述走线槽的两侧槽壁上分别设置有多个捆扎槽，从而使得使用时，可方便的将导线安放于走线槽内，利用绕在捆扎槽上的捆扎带对导线进行固定，从而使得壳体1内的布线更为简洁和美观，同时有助于防止其因打结等因素导致线路故障，从而进一步保证了其可靠性；
另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，所述模块包含有壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的面板上安装有桥式整流电路(201)和空气开关(205)，进线端子(3)经电源线连接至空气开关(205)的进线端，所述空气开关(205)的出线端连接至桥式整流电路(201)的进线端，所述壳体(1)的背板上设置有进水端子安装孔(1.1)和出水端子安装孔(1.2)，所述壳体(1)的两块侧板内壁上均设置有搁置条(1.3)，水冷组件(2)安装于壳体(1)内；所述水冷组件(2)包含有水冷铝板(2.1)，所述水冷铝板(2.1)内设置有冷却水道，该冷却水道的两个开口端上分别插置有进水端子(2.2)和出水端子(2.3)，且进水端子(2.2)和出水端子(2.3)分别嵌置于进水端子安装孔(1.1)和出水端子安装孔(1.2)内，所述水冷铝板(2.1)的两侧搁置在搁置条(1.3)上，IGBT逆变电路(202)安装于水冷铝板(2.1)的正面，桥式整流电路(201)的出线端连接至IGBT逆变电路(202)的输入端，变压器(203)和滤波电路(204)安装于水冷铝板(2.1)的背面，IGBT逆变电路(202)的输出端连接至变压器(203)的初级线圈输入端，所述变压器(203)的次级线圈输出端连接至滤波电路(204)的输入端，所述滤波电路(204)的输出端连接至出线铜排(4)，控制板(6)安装于水冷铝板(2.1)的背面，且控制板(6)上的驱动电路与IGBT逆变电路(202)的控制输入端相连接。
2.如权利要求1所述一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，其特征在于：一搁置条(1.3)上设置有定位块(1.4)；所述水冷铝板(2.1)的一侧边上向内凹陷形成有定位豁口(2.1.1)，且上述定位块(1.4)嵌置于定位豁口(2.1.1)内。
3.如权利要求1所述一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，其特征在于：所述进线端子(3)和出线铜排(4)穿接于壳体(1)的背板上。
4.如权利要求1所述一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，其特征在于：所述水冷铝板(2.1)的四个角上设置有固定孔(2.1.2)，固定螺栓穿过固定孔(2.1.2)后旋置于搁置条(1.3)内，所述水冷铝板(2.1)上设置有多个安装孔(2.1.3)。
5.如权利要求1所述一种真空电镀用高可靠性偏压电源模块，其特征在于：所述壳体(1)上安装有多条走线条(5)，所述走线条(5)的顶面上沿其长度方向设置有走线槽，所述走线槽的两侧槽壁上分别设置有多个捆扎槽。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821284636.3U CN208691123U (zh) | 2018-08-09 | 2018-08-09 | 真空电镀用高可靠性偏压电源模块 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201821284636.3U CN208691123U (zh) | 2018-08-09 | 2018-08-09 | 真空电镀用高可靠性偏压电源模块 |
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ID=65884684
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| CN201821284636.3U Active CN208691123U (zh) | 2018-08-09 | 2018-08-09 | 真空电镀用高可靠性偏压电源模块 |
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| CN (1) | CN208691123U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113473759A (zh) * | 2021-07-14 | 2021-10-01 | 武汉茂禾科技开发有限公司 | 一种可稳定传输电信号的伺服放大器 |
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2018
- 2018-08-09 CN CN201821284636.3U patent/CN208691123U/zh active Active
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