CN208688184U - 一种单晶硅片生产用烘干架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅片生产用烘干架，包括烘干架本体，所述烘干架本体的内部设置有放置架，放置架的内部设置有多组夹板，夹板相靠近的一侧均等距开设有多组置物槽，夹板的两端均开设有调节腔，调节腔的两端内壁之间固定有两组连接杆，连接杆上滑动连接有滑块，两组滑块相远离的一侧均固定有卡杆，卡杆的一端均延伸至夹板的外部，烘干架本体的一侧安装有伺服电机，伺服电机的输出轴延伸至烘干架本体的内部并与放置架的一侧中部固定连接，烘干架本体的底端固定有底座。本实用新型设计新颖，结构巧妙，操作简单，方便同时对多组单晶硅片进行烘干，能够提高烘干效率，有利于扩大烘干架的适用范围，实用性强，适宜推广使用。

Description

一种单晶硅片生产用烘干架

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片生产技术领域，尤其涉及一种单晶硅片生产用烘干架。

背景技术

单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。在单晶硅片生产过程中需要对其进行烘干，但是现有的烘干架结构过于简单，不能够同时对多组不同型号的单晶硅片进行烘干，而且传统的烘干架结构固定，烘干效率低，越来越不能满足人们的日常生产需求，因此需要我们设计出一种单晶硅片生产用烘干架，来解决这些问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的不能够同时对多组不同型号的单晶硅片进行烘干，而且烘干效率低的缺点，而提出的一种单晶硅片生产用烘干架。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶硅片生产用烘干架，包括烘干架本体，所述烘干架本体的内部设置有放置架，放置架的内部设置有多组夹板，夹板相靠近的一侧均等距开设有多组置物槽，夹板的两端均开设有调节腔，调节腔的两端内壁之间固定有两组连接杆，连接杆上滑动连接有滑块，两组滑块相远离的一侧均固定有卡杆，卡杆的一端均延伸至夹板的外部，烘干架本体的一侧安装有伺服电机，伺服电机的输出轴延伸至烘干架本体的内部并与放置架的一侧中部固定连接，烘干架本体的底端固定有底座，底座的顶端中部固定有加热箱。

优选的，所述烘干架本体为倒U字形结构，放置架为回形框架结构，放置架的两端均等距开设有多组卡孔，卡杆的尺寸小于卡孔的尺寸。

优选的，所述放置架的另一侧中部固定有传动柱，传动柱的一端与放置架转动连接，连接杆的外部均套设有弹簧，弹簧均位于两组滑块相靠近的一侧。

优选的，所述加热箱为空腔结构，加热箱位于放置架的下方，加热箱的一侧内壁顶端安装有加热棒，加热箱的底端内壁中部安装有风扇，风扇位于加热棒的下方。

优选的，所述加热箱的顶端等距开设有多组出气口，加热箱的一侧底端开设有进气口，进气口的内部安装有过滤板。

本实用新型的有益效果是：

1、通过拉动滑块，在弹簧的弹性作用下，方便调节相邻的两组夹板之间的距离，能够同时对多组不同型号的单晶硅片进行夹持固定，有利于扩大烘干架的适用范围；

2、通过风扇将加热棒产生的热量对单晶硅片进行烘干，通过伺服电机控制放置架旋转，方便对单晶硅片进行多面烘干，能够提高烘干效率。

本实用新型设计新颖，结构巧妙，操作简单，方便同时对多组单晶硅片进行烘干，能够提高烘干效率，有利于扩大烘干架的适用范围，实用性强，适宜推广使用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种单晶硅片生产用烘干架的结构正视图；

图2为本实用新型提出的一种单晶硅片生产用烘干架的A处结构放大图。

图中：1烘干架本体、2放置架、3卡孔、4夹板、5置物槽、6调节腔、7连接杆、8滑块、9卡杆、10伺服电机、11传动柱、12底座、13加热箱、14加热棒、15风扇、16过滤板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种单晶硅片生产用烘干架，包括烘干架本体1，烘干架本体1的内部设置有放置架2，放置架2的内部设置有多组夹板4，夹板4相靠近的一侧均等距开设有多组置物槽5，夹板4的两端均开设有调节腔6，调节腔6的两端内壁之间固定有两组连接杆7，连接杆7上滑动连接有滑块8，两组滑块8相远离的一侧均固定有卡杆9，卡杆9的一端均延伸至夹板4的外部，烘干架本体1的一侧安装有伺服电机10，伺服电机10的输出轴延伸至烘干架本体1的内部并与放置架2的一侧中部固定连接，烘干架本体1的底端固定有底座12，底座12的顶端中部固定有加热箱13。本实用新型设计新颖，结构巧妙，操作简单，方便同时对多组单晶硅片进行烘干，能够提高烘干效率，有利于扩大烘干架的适用范围，实用性强，适宜推广使用。

本实施例中，烘干架本体1为倒U字形结构，放置架2为回形框架结构，放置架2的两端均等距开设有多组卡孔3，卡杆9的尺寸小于卡孔3的尺寸，放置架2的另一侧中部固定有传动柱11，传动柱11的一端与放置架2转动连接，连接杆7的外部均套设有弹簧，弹簧均位于两组滑块8相靠近的一侧，加热箱13为空腔结构，加热箱13位于放置架2的下方，加热箱13的一侧内壁顶端安装有加热棒14，加热箱13的底端内壁中部安装有风扇15，风扇15位于加热棒14的下方，加热箱13的顶端等距开设有多组出气口，加热箱13的一侧底端开设有进气口，进气口的内部安装有过滤板16。

本实施例中，在使用时，操作人员将待烘干的单晶硅片放置在卡槽5内，通过拉动滑块8，使得卡杆9远离卡孔3，再松开滑块8，在弹簧的弹性作用下，使得滑块8带动卡杆9卡进卡孔3内，方便对夹板4进行安装或者拆卸，由于放置架2的两端均等距开设有多组卡孔3，进而方便根据需要调整相邻的两组夹板4之间的距离，由于夹板4相靠近的一侧均等距开设有多组置物槽5，进而方便同时对多组不同型号的单晶硅片进行夹持固定，然后通过启动加热棒14和风扇15，由于加热箱13的顶端等距开设有多组出气口，使得风扇15将加热棒14产生的热量通过出气口排出，进而对置物槽5内固定的单晶硅片进行烘干，同时，进气口的过滤板16会对进入加热箱13内的空气进行过滤，防止杂物进入加热箱13，最后通过启动伺服电机10带动放置架2旋转，方便对单晶硅片进行多面烘干，能够提高烘干效率。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种单晶硅片生产用烘干架，包括烘干架本体(1)，其特征在于，所述烘干架本体(1)的内部设置有放置架(2)，放置架(2)的内部设置有多组夹板(4)，夹板(4)相靠近的一侧均等距开设有多组置物槽(5)，夹板(4)的两端均开设有调节腔(6)，调节腔(6)的两端内壁之间固定有两组连接杆(7)，连接杆(7)上滑动连接有滑块(8)，两组滑块(8)相远离的一侧均固定有卡杆(9)，卡杆(9)的一端均延伸至夹板(4)的外部，烘干架本体(1)的一侧安装有伺服电机(10)，伺服电机(10)的输出轴延伸至烘干架本体(1)的内部并与放置架(2)的一侧中部固定连接，烘干架本体(1)的底端固定有底座(12)，底座(12)的顶端中部固定有加热箱(13)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产用烘干架，其特征在于，所述烘干架本体(1)为倒U字形结构，放置架(2)为回形框架结构，放置架(2)的两端均等距开设有多组卡孔(3)，卡杆(9)的尺寸小于卡孔(3)的尺寸。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产用烘干架，其特征在于，所述放置架(2)的另一侧中部固定有传动柱(11)，传动柱(11)的一端与放置架(2)转动连接，连接杆(7)的外部均套设有弹簧，弹簧均位于两组滑块(8)相靠近的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产用烘干架，其特征在于，所述加热箱(13)为空腔结构，加热箱(13)位于放置架(2)的下方，加热箱(13)的一侧内壁顶端安装有加热棒(14)，加热箱(13)的底端内壁中部安装有风扇(15)，风扇(15)位于加热棒(14)的下方。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产用烘干架，其特征在于，所述加热箱(13)的顶端等距开设有多组出气口，加热箱(13)的一侧底端开设有进气口，进气口的内部安装有过滤板(16)。