CN208642290U - 磷烷尾气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种磷烷尾气处理装置，属于磷烷尾气处理装置技术领域。包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端连接至碱液箱中，所述循环泵设置在喷淋管上。本实用新型吸收率高，避免环境污染以及安全隐患。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种磷烷尾气处理装置，属于磷烷尾气处理装置技术领域。
背景技术
电子工业中往往使用含磷烷气体做掺杂气体，由气体生产工厂混合成磷烷浓度为5%的混合气体，在充装前需要对残余气体进行处理置换，由于磷烷气体属于剧毒品，排放需小于0.3mg/m3，工业上通常采用燃烧法进行处理，实际吸收效果并不理想，仍有部分磷烷气体进入空气中。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题在于：提供一种磷烷尾气处理装置，它解决了目前的燃烧法吸收磷烷尾气吸收不彻底、存在安全隐患的问题。
本实用新型所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：
磷烷尾气处理装置，包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端连接至碱液箱中，所述循环泵设置在喷淋管上。
通过采用上述技术方案，高浓度的磷烷气体被氮气稀释后通过稀释管进入到喷淋塔中，防逆流器防止喷淋塔中的碱液流入稀释管中，喷淋塔内的空心微球一方面增加了碱液与磷烷气体的接触面积，另一方面其形成曲折路径大大增加了磷烷气体上升时的行程，从而提高碱液对其的吸收率；碱液通过喷淋管和设置在喷淋管上的循环泵循环喷淋，提高利用率，当PH计指数小于8时即需要更换碱液以确保吸收效果；吸收完成后，从喷淋塔顶部排出，磷烷报警器监测是否有磷烷泄露。
作为优选实例，所述稀释管上在其与所述磷烷气罐连接处后端还依次设有球阀、混合气减压器和单向阀。
作为优选实例，所述氮气罐、所述磷烷气罐与所述稀释管连接处分别设有球阀。
作为优选实例，所述空心微球为不锈钢空心球。
作为优选实例，所述碱液箱内的溶液为NaClO与NaOH混合溶液。
本实用新型的有益效果是：采用湿法吸收磷烷尾气，先将磷烷气体稀释后，再通过喷淋塔进行吸收，增加碱液与磷烷的接触时间与接触面积，从而大大提高了对磷烷的吸收率，消除安全隐患及环境污染。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中：氮气罐1，磷烷气罐2，稀释管3，防逆流器4，喷淋塔5，碱液箱6，喷淋管7，循环泵8，氮气减压器9，单向阀10，空心微球11，排气口12，磷烷报警器13，PH计14，球阀15，混合气减压器16。
具体实施方式
为了对本实用新型的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
如图1所示，磷烷尾气处理装置，包括氮气罐1、磷烷气罐2、稀释管3、防逆流器4、喷淋塔5、碱液箱6、喷淋管7和循环泵8，所述稀释管3一端与所述氮气罐1连通，另一端与所述喷淋塔5底部连通，稀释管3上在靠近与氮气罐1连通处设有氮气减压器9和单向阀10，所述磷烷气罐2与稀释管3中部连通，稀释管3末端靠近与喷淋塔5连通处还设有防逆流器4，所述喷淋塔5内填充有空心微球11，喷淋塔5顶部设有排气口12，所述排气口12内设有磷烷报警器13，所述碱液箱6与喷淋塔5底部连通，碱液箱6内设有PH计14，所述喷淋管7一端与喷淋塔5顶端连通并伸入喷淋塔5内，另一端连接至碱液箱6中，所述循环泵8设置在喷淋管7上。
喷淋塔5为不锈钢材质，喷淋管7伸入喷淋塔5内的一端设置若干支管，每个支管上均设有一个喷淋头，以提高喷淋效果，稀释管3与喷淋塔5连通的一端在进入喷淋塔5时应向下倾斜，且其应当位于空心微球11层高度的一半以下，使气体进入时先进入底部，在向上折返，确保吸收效率。
铺设空心微球11时，可在底部设有一挡板，挡板上设有孔径小于空心微球11的通孔。
在其中的一种实施例中，所述稀释管3上在其与所述磷烷气罐2连接处后端还依次设有球阀15、混合气减压器16和单向阀10。
在其中的一种实施例中，所述氮气罐1、所述磷烷气罐2与所述稀释管3连接处分别设有球阀15。
在其中的一种实施例中，所述空心微球11为不锈钢空心球。
在其中的一种实施例中，所述碱液箱6内的溶液为NaClO与NaOH混合溶液。
本实用新型中，高浓度的磷烷气体被氮气稀释后通过稀释管3进入到喷淋塔5中，防逆流器4防止喷淋塔5中的碱液流入稀释管3中，喷淋塔5内的空心微球11一方面增加了碱液与磷烷气体的接触面积，另一方面其形成曲折路径大大增加了磷烷气体上升时的行程，从而提高碱液对其的吸收率；碱液通过喷淋管7和设置在喷淋管7上的循环泵8循环喷淋，提高利用率，当PH计14指数小于8时即需要更换碱液以确保吸收效果；吸收完成后，从喷淋塔5顶部排出，磷烷报警器13监测是否有磷烷泄露。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入本实用新型要求保护的范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.磷烷尾气处理装置，其特征在于：包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端连接至碱液箱中，所述循环泵设置在喷淋管上。
2.根据权利要求1所述的磷烷尾气处理装置，其特征在于:所述稀释管上在其与所述磷烷气罐连接处后端还依次设有球阀、混合气减压器和单向阀。
3.根据权利要求1所述的磷烷尾气处理装置，其特征在于:所述氮气罐、所述磷烷气罐与所述稀释管连接处分别设有球阀。
4.根据权利要求1所述的磷烷尾气处理装置，其特征在于:所述空心微球为不锈钢空心球。
5.根据权利要求1所述的磷烷尾气处理装置，其特征在于:所述碱液箱内的溶液为NaClO与NaOH混合溶液。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821137189.9U CN208642290U (zh) | 2018-07-18 | 2018-07-18 | 磷烷尾气处理装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN208642290U true CN208642290U (zh) | 2019-03-26 |
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Family Applications (1)
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| CN201821137189.9U Active CN208642290U (zh) | 2018-07-18 | 2018-07-18 | 磷烷尾气处理装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN208642290U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113041813A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-06-29 | 沧州华宇特种气体科技有限公司 | 一种磷烷制备用尾气处理装置 |
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2018
- 2018-07-18 CN CN201821137189.9U patent/CN208642290U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN113041813A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-06-29 | 沧州华宇特种气体科技有限公司 | 一种磷烷制备用尾气处理装置 |
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