CN208604190U - 掩膜板 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种掩膜板，包括掩膜板主体，掩膜板主体具有第一中心线与第二中心线，第一中心线与第二中心线垂直；开设于掩膜板主体上的两组蒸镀区，每组蒸镀区包括至少一个蒸镀区，每个蒸镀区开设有凹陷部，每相邻两个蒸镀区之间具有间距，两组蒸镀区关于第一中心线轴对称，且两组蒸镀区关于第二中心线轴对称。两组蒸镀区关于第一中心线与第二中心线均轴对称设置，则位于第一中心线与第二中心线两侧的凹陷部数量相同，则此时掩膜板主体在张网时第一中心线与第二中心线两侧受力均匀，降低了与凹陷部配合的遮挡部位置的褶皱，张网精度提高，从而也使得后续显示屏像素蒸镀位置精度较高，且也提高了后续显示屏的开口区(即异形区)的显示效果。

Description

掩膜板

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别是涉及一种掩膜板。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)又称为有机电激光显示或有机发光半导体。OLED具有驱动电压低、主动发光、视角宽、效率高、响应速度快、易实现全彩色大面积壁挂式显示和柔性显示的许多特点而逐渐取代液晶显示器(Liquid CrystalDisplay，LCD)显示。

在OLED制造技术中，真空蒸镀用的掩膜板是至关重要的部件，掩膜板可以控制有机材料沉积在基板上的位置。掩膜板主要包括通用金属掩膜板(Common Metal Mask，CMM)及精密金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)，CMM用于蒸镀共通层，FMM用于蒸镀发光层。

发明人发现，采用现有技术中的掩膜板张网时出现褶皱，导致后续显示屏像素蒸镀位置精度降低。

实用新型内容

基于此，本实用新型提供了一种掩膜板，解决了掩膜板张网时出现褶皱的问题，提高了后续显示屏像素蒸镀位置的精度。

为实现以上目的，本实用新型提供了一种掩膜板。

所述掩膜板包括：

掩膜板主体，所述掩膜板主体具有第一中心线与第二中心线，所述第一中心线与所述第二中心线垂直；

开设于所述掩膜板主体上的两组蒸镀区，每组所述蒸镀区包括至少一个所述蒸镀区，每个所述蒸镀区开设有凹陷部，每相邻两个所述蒸镀区之间具有间距，两组所述蒸镀区关于所述第一中心线轴对称，且两组所述蒸镀区关于所述第二中心线轴对称。

如此，两组蒸镀区关于第一中心线与第二中心线均轴对称设置，则位于第一中心线与第二中心线两侧的凹陷部数量相同，并且，朝向不同方向的凹陷部的数量及排布方式也相互对应互补，则此时掩膜板主体在张网时第一中心线与第二中心线两侧受力均匀，降低了与凹陷部配合的遮挡部位置的褶皱，张网精度提高，从而也使得后续显示屏像素蒸镀位置精度较高，且也提高了后续显示屏的开口区(即异形区)的显示效果。

在其中一个实施例中，所述蒸镀区沿第一方向具有相对的第一端与第二端，所述第一端开设有所述凹陷部，或所述第二端开设有所述凹陷部，所述第一方向与所述第一中心线平行。

在其中一个实施例中，所述掩膜板主体上沿第二方向开设有一排所述蒸镀区，所述第二方向与所述第二中心线平行。

在其中一个实施例中，所述掩膜板主体上沿所述第二方向开设有至少两排所述蒸镀区，且所述蒸镀区沿所述第一方向的数量为偶数个，所述第二方向与所述第二中心线平行。

在其中一个实施例中，位于所述第二中心线同侧的所述蒸镀区的所述凹陷部均背向或均面向所述第二中心线凹陷。

在其中一个实施例中，每组所述蒸镀区划分为至少一个子组，每相邻两个所述蒸镀区为一个所述子组，位于所述第二中心线同侧的每个所述子组里的所述蒸镀区的所述凹陷部相对。

在其中一个实施例中，具有相对的第一边与第二边，以及相对的第三边与第四边，其中所述第一边与所述第二边的连线为第一中心线，所述第三边与所述第四边的连线为第二中心线。

在其中一个实施例中，所述蒸镀区具有相对的第一边与第二边，以及相对的第三边与第四边，所述凹陷部开设于所述蒸镀区的至少其中一边。

在其中一个实施例中，所述掩膜板主体关于所述第一中心线轴对称，且所述掩膜板主体关于所述第二中心线轴对称。

在其中一个实施例中，所述掩膜板还包括掩膜板框架，一个所述掩膜板主体固定连接于所述掩膜板框架或至少两个所述掩膜板主体沿所述第二方向并排排列并均固定连接于所述掩膜板框架。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的掩膜板的结构示意图；

图2为本实用新型另一实施例的掩膜板的结构示意图；

图3为本实用新型再一实施例的掩膜板的结构示意图；

图4为本实用新型又一实施例的掩膜板的结构示意图；

图5为本实用新型又一实施例的掩膜板的结构示意图；

图6为本实用新型又一实施例的掩膜板的结构示意图；

图7为本实用新型又一实施例的掩膜板的结构示意图；

图8为本实用新型又一实施例的掩膜板的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

正如背景技术中所述，采用现有技术中的掩膜板，会出现张网精度低的问题，发明人研究发现，出现这种问题的根本原因在于，开槽屏体在制作过程中需要在相应位置进行开口，即在掩膜板上存在与蒸镀区的凹陷部相配合的遮挡部，由于遮挡部与蒸镀区的结构存在较大区别，应力会集中在遮挡部，当应力在遮挡部集中时，同时由于遮挡部在掩膜板上并非对称排布，则整个掩膜板的受力不均，在受力不均的驱使下会导致褶皱的发生。

基于此，请参阅图1至图7，本实用新型实施例提供一种掩膜板(即下述标号100/200/300/400/500/600/700)，包括掩膜板主体(即下述标号10/20/30/40/50/60/70)及开设于掩膜板主体上的两组蒸镀区，每组蒸镀区至少包括一个蒸镀区(即下述标号13/23/33/43/53/63/73)，每相邻两个蒸镀区之间具有间距。掩膜板主体具有第一中心线(即下述标号11/21/31/41/51/61/71)与第二中心线(即下述标号12/22/32/42/52/62/72)，第一中心线与第二中心线垂直，每个蒸镀区用于蒸镀显示面板或者显示屏，也即为蒸镀区的大小正好与需要蒸镀的显示面板或显示屏的大小相同。同时，每个蒸镀区上开设有凹陷部(即下述标号131/231/331/431/531/631/731)，以用于蒸镀具有开口(刘海或开槽)的显示面板或显示屏。两组蒸镀区关于第一中心线轴对称，且两组蒸镀区关于第二中心线轴对称。

如此，两组蒸镀区关于第一中心线与第二中心线均轴对称设置，则位于第一中心线与第二中心线两侧的凹陷部数量相同，并且，朝向不同方向的凹陷部的数量及排布方式也相互对应互补，则此时掩膜板主体在张网时第一中心线与第二中心线两侧受力均匀，降低了与凹陷部配合的遮挡部位置的褶皱，张网精度提高，从而也使得后续显示屏像素蒸镀位置精度较高，且也提高了后续显示屏的开口区(即异形区)的显示效果。

上述提及的对称设置是指：当排列于第一方向上的蒸镀区的数量为奇数时，位于最中间的蒸镀区被第二中心线划分为两个区域，且除凹陷部之外，这两个区域的其他部分关于第二中心线对称，而位于第二中心线两侧的蒸镀区关于第二中心线完全呈轴对称排列；当排列于第一方向上的蒸镀区的数量为偶数时，位于第二中心线两侧的蒸镀区关于第二中心线一一对应地呈轴对称排列。

对于排列于第二方向上的蒸镀区的数量为奇数时，位于最中间的蒸镀区被第一中心线划分为两个区域，且这两个区域关于第一中心线完全对称，而位于第一中心线两侧的蒸镀区关于第一中心线对称排列。上述的第一方向与第一中心线平行，第二方向与第二中心线平行。

请参阅图1，本实用新型一实施例中，掩膜板主体10具有相对的第一边与第二边，以及相对的第三边与第四边，其中第一边与第二边的中心的连线为第一中心线11，第三边与第四边的连线为第二中心线12。

具体地，在本实施例中，掩膜板主体10为具有长边与短边的长条状，且短边分别对应上述的第一边与第二边，此时掩膜板主体10的短边并非为直边，而是在直边的中部设置有开口背向蒸镀区13的弧形部，长边分别对应上述的第三边与第四边，此时掩膜板主体10的长边为直边，则上述的第一方向为掩膜板主体10的长边方向(如图1中的左右方向)，上述的第二方向为掩膜板主体10的短边方向(如图1中的上下方向)，上述的第一中心线11为经过掩膜板主体10的相对的两个短边中点的直线，上述的第二中心线12为经过掩膜板主体10的相对的两个长边中心的直线。也就是说，掩膜板主体10关于第一中心线11轴对称，且关于第二中心线12轴对称，可以进一步提高掩膜板主体10的受力均匀性。

可以理解的是，在其他实施例中，掩膜板主体10的形状可以根据需要而定，即也可以为非对称图形，或者关于第一中心线11与第二中心线12其中一者对称。

在本实施例中，掩膜板主体10沿其第二方向开设有一排蒸镀区13，且该排蒸镀区13沿第一方向具有偶数个。同时可以设置蒸镀区13为长方形区域，即为蒸镀区13也具有相对的第一边与第二边，以及相对的第三边与第四边，凹陷部131开设于蒸镀区13的至少其中一边。蒸镀区13沿第一方向具有相对的第一端与第二端，如图1中所示，蒸镀区13具有两短边的左右两端分别为第一端与第二端，凹陷部131沿第一方向开设于第一端或者第二端。凹陷部当一排蒸镀区13为偶数个，且凹陷部131开设于上述第一端或者第二端时，可以保证蒸镀区13关于第一中心线11与第二中心线12均轴对称。

此外，掩模板100还包括掩膜板框架(图未示)，至少两个掩膜板主体10沿第二方向并排排列并固定连接于掩膜板框架。当掩膜板主体10沿第二方向具有一排蒸镀区13时，即当将掩膜板主体10设置为条状，且在蒸镀区13内对应设置有多个蒸镀孔时，掩膜板100可以作为精密金属掩膜板使用，用于蒸镀发光层。

具体地，每个蒸镀区13具有一个凹陷部131，凹陷部131沿第二方向纵长设置于蒸镀区13一端的中部，此时第一中心线11与凹陷部131的中轴线重合，以保证掩膜板主体10关于其第一中心线11对称设置。凹陷部131的形状不受限定，如可以为弧形凹陷部、扇形凹陷部或者多边形凹陷部。

进一步，在本实施例中，位于掩膜板主体10的第二中心线12同侧的蒸镀区13的凹陷部131均面向第二中心线12凹陷，以保证位于第二中心线12两侧的蒸镀区13关于第二中心线12对称设置，从而促使整个掩膜板主体10关于第一中心线11与第二中心线12均对称设置。

参阅图2，本实用新型另一实施例提供一种掩膜板200，与上述实施例不同之处，在于在该实施例中，位于掩膜板主体20的第二中心线22同侧的蒸镀区23的凹陷部231均背向第二中心线22凹陷，以保证位于第二中心线22两侧的蒸镀区23关于第二中心线22对称设置，从而促使整个掩膜板主体20关于第一中心线21与第二中心线均22对称设置。

参阅图3，本实用新型又一实施例提供一种掩膜板300，与上述实施例不同之处，在于在该实施例中，将每组蒸镀区33划分为至少一个子组，每相邻两个蒸镀区33为一个子组，位于掩膜板主体30的第二中心线32同侧的每个子组里的蒸镀区33的凹陷部331相对，也即为位于掩膜板主体30的第二中心线32同侧的每个子组内的两个蒸镀区33的凹陷部凹陷方向不同。

继续参阅图3，位于第二中心线32左右两侧均各有两个子组，以位于第二中心线32左侧的两个子组为例，针对靠近第二中心线32的子组，靠近第二中心线32的蒸镀区33的凹陷部331背向第二中心线32凹陷，另一个蒸镀区33的凹陷部331则面向第二中心线32凹陷，针对远离第二中心线32的子组，靠近第二中心线32的蒸镀区33的凹陷部331背向第二中心线32凹陷，另一个蒸镀区33的凹陷部331则面向第二中心线凹陷，对于位于第二中心线32右侧的子组也是如此，在此不再赘述。

参阅图4，还可以采用如下方式设置：位于第二中心线32左右两侧均各有两个子组，以位于第二中心线32左侧的两个子组为例，针对靠近第二中心线32的子组，靠近第二中心线32的蒸镀区33的凹陷部331面向第二中心线32凹陷，另一个蒸镀区33的凹陷部331则背向第二中心线32凹陷，针对远离第二中心线32的子组，靠近第二中心线32的蒸镀区33的凹陷部331面向第二中心线32凹陷，另一个蒸镀区33的凹陷部331则背向第二中心线凹陷，对于位于第二中心线32右侧的子组也是如此，在此不再赘述。

参阅图5，本实用新型又一实施例提供一种掩膜板400，与上述实施例不同之处，在于在该实施例中，掩膜板主体40为具有长边与短边的长条状，此时掩膜板主体40的短边也可以设置为非直边，而是在直边的中部设置有开口背向蒸镀区43的弧形部，掩膜板主体40的长边为直边，则上述的第一方向为掩膜板主体40的短边方向(如图5中的左右方向)，上述的第二方向为掩膜板主体40的长边方向(如图5中的上下方向)，上述的第一中心线41为经过掩膜板主体10的相对的两个长边中心的直线，上述的第二中心线42为经过掩膜板10主体的相对的两个短边中心的直线。掩膜板主体40上沿第二方向开设有至少两排蒸镀区43，且每排蒸镀区43沿第一方向的数量为偶数个，每个蒸镀区43上凹陷部431沿第一方向位于蒸镀区43的一端，以保证掩膜板主体40关于其第二中心线42对称设置。

此外，在本实施例中，掩模板400还包括掩膜板框架(图未示)，一个掩膜板主体40固定连接于掩膜板框架，且在蒸镀区43内设置有覆盖整个蒸镀区43的蒸镀孔时，掩膜板400可以作为通用金属掩膜板使用，用于蒸镀共通层。

进一步，掩膜板主体40上沿其第二方向开设有奇数排(多于一排)蒸镀区43。具体地，在该实施例中，每个蒸镀区43具有一个凹陷部431，凹陷部431沿第二方向纵长设置于蒸镀区43一端的中部，此时第一中心线41与位于中间一排的蒸镀区43的凹陷部431的中轴线重合，以保证掩膜板主体40关于其第一中心线41对称设置。

更具体地，位于掩膜板主体40的第二中心线42同侧的至少两排蒸镀区43的凹陷部431均背向第二中心线42凹陷，以保证位于第二中心线42两侧的蒸镀区43关于第二中心线42对称设置，从而促使整个掩膜板主体40关于第一中心线41与第二中心线42均对称设置。

参阅图6，本实用新型又一实施例提供一种掩膜板500，与上述实施例不同之处，在于在该实施例中，位于掩膜板主体50的第二中心线52同侧的至少两排蒸镀区53的凹陷部531均面向第二中心线52，以保证位于第二中心线52两侧的蒸镀区53关于第二中心线52对称设置，从而促使整个掩膜板主体50关于第一中心线51与第二中心线52均对称设置。且当位于掩膜板主体50的第二中心线52同侧的至少两排蒸镀区53的凹陷部531均面向第二中心线52设置时，可以减少张网下垂量，以进一步改善张网褶皱。

在另一实施例中，还可以设置每组蒸镀区划分为至少一个子组，每相邻两个蒸镀区为一个子组，位于掩膜板主体的第二中心线同侧每个子组里的蒸镀区的凹陷部相对

参阅图7，本实用新型又一实施例提供一种掩膜板600，与上述实施例不同之处，在于在该实施例中，掩膜板主体60上沿其第二方向开设有偶数排蒸镀区63。具体地，在该实施例中，具体地，每个蒸镀区63具有一个凹陷部，凹陷部沿第二方向纵长设置于蒸镀区63的一端的中部，以保证掩膜板主体60关于其第一中心线对称设置。具体地，在本实施例中，位于掩膜板主体60的第二中心线同侧的至少两排蒸镀区63的凹陷部均面向第二中心线62凹陷。可以理解的是，还可以设置位于掩膜板主体60的第二中心线62同侧的至少两排蒸镀区的凹陷部均背向第二中心线62凹陷；或者设置每组蒸镀区63划分为至少一个子组，每相邻两个蒸镀区63为一个子组，位于掩膜板主体60的第二中心线62同侧每个子组里的蒸镀区63的凹陷部631相对。

参阅图8，本实用新型又一实施例提供一种掩膜板700，与上述实施例不同之处，在于在该实施例中，掩膜板主体70上沿其第二方向开设有偶数排蒸镀区73时，设置每排蒸镀区73沿掩膜板主体70的第一方向具有奇数个，此时凹陷部73沿第二方向位于蒸镀区73的一端的中部。

具体地，蒸镀区73沿第二方向具有相对的第三端与第四端，第三端开设有凹陷部731，或第四端开设有凹陷部731。则可以设置位于第一中心线同侧的蒸镀区73的凹陷部731均面向第一中心线71凹陷；或者设置位于第一中心线71同侧的蒸镀区73的凹陷部731均背向第一中心线71凹陷，或者设置每组蒸镀区73划分为至少一个子组，每相邻两个蒸镀区73为一个子组，位于掩膜板主体70的第二中心线72同侧每个子组里的蒸镀区73的凹陷部731相对。

需要说明的是，在其他实施例中，对于图5-图8所示的掩模板，掩模板主体边缘也可设置凹陷部或过渡区等结构，以便于工艺过程中固定掩模板的位置。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：

掩膜板主体，所述掩膜板主体具有第一中心线与第二中心线，所述第一中心线与所述第二中心线垂直；

开设于所述掩膜板主体上的两组蒸镀区，每组所述蒸镀区包括至少一个所述蒸镀区，每个所述蒸镀区开设有凹陷部，每相邻两个所述蒸镀区之间具有间距，两组所述蒸镀区关于所述第一中心线轴对称，且两组所述蒸镀区关于所述第二中心线轴对称。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述蒸镀区沿第一方向具有相对的第一端与第二端，所述第一端开设有所述凹陷部，或所述第二端开设有所述凹陷部，所述第一方向与所述第一中心线平行。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板主体上沿第二方向开设有一排所述蒸镀区，所述第二方向与所述第二中心线平行。

4.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板主体上沿第二方向开设有至少两排所述蒸镀区，且所述蒸镀区沿所述第一方向的数量为偶数个，所述第二方向与所述第二中心线平行。

5.根据权利要求2或3或4所述的掩膜板，其特征在于，位于所述第二中心线同侧的所述蒸镀区的所述凹陷部均背向或均面向所述第二中心线凹陷。

6.根据权利要求2或3或4所述的掩膜板，其特征在于，每组所述蒸镀区划分为至少一个子组，每相邻两个所述蒸镀区为一个所述子组，位于所述第二中心线同侧的每个所述子组里的所述蒸镀区的所述凹陷部相对。

7.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板主体具有相对的第一边与第二边，以及相对的第三边与第四边，其中所述第一边与所述第二边的连线为第一中心线，所述第三边与所述第四边的连线为第二中心线。

8.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述蒸镀区具有相对的第一边与第二边，以及相对的第三边与第四边，所述凹陷部开设于所述蒸镀区的至少其中一边。

9.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板主体关于所述第一中心线轴对称，且所述掩膜板主体关于所述第二中心线轴对称。

10.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括掩膜板框架，一个所述掩膜板主体固定连接于所述掩膜板框架或至少两个所述掩膜板主体沿第二方向并排排列并均固定连接于所述掩膜板框架。