CN208585262U - 一种ito靶材的搬运装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种ITO靶材的搬运装置，包括减震组件、托架组件和壳体，所述减震组件的顶部的两侧皆固定安装有升降机构，所述升降机构的顶部皆固定安装有固定块，且固定块之间固定安装有支撑板，所述支撑板内部的两侧皆固定设置有通孔，所述支撑板顶部的两侧皆固定安装有液压缸，所述液压缸的输出端固定安装有托架组件，所述减震组件顶部的固定安装有壳体，所述壳体的一侧固定设置有限位槽，所述壳体内部的两侧固定安装有滑轨组件，所述滑轨组件的顶部活动安装有滑板，所述滑板的顶部固定设置有防滑垫。本实用新型通过设置有一系列的结构使本装置在使用的过程中具有拖起方便，且便于调节等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及靶材技术领域，具体为一种ITO靶材的搬运装置。
背景技术
随着时代的不断发展，ITO靶材的搬运装置在对ITO靶材搬运过程中起到重要的作用，靶材是磁控溅射镀膜技术中的重要组成部分，在磁控溅射镀膜技术中，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，更换不同的靶材可以得到不同的膜系，在靶材生产过程中，需要将大尺寸靶材进行搬运，现有的ITO靶材的搬运装置不方便对物体进行托起与收纳，而且在路况不好的情况下会使搬运装置发生晃动，也会造成ITO靶材的损坏，为此我们提出一种ITO靶材的搬运装置来解决现有的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种ITO靶材的搬运装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种ITO靶材的搬运装置，包括减震组件、托架组件和壳体，所述减震组件的顶部的两侧皆固定安装有升降机构，所述升降机构的顶部皆固定安装有固定块，且固定块之间固定安装有支撑板，所述支撑板内部的两侧皆固定设置有通孔，所述支撑板顶部的两侧皆固定安装有液压缸，所述液压缸的输出端固定安装有托架组件，所述减震组件顶部的固定安装有壳体，且壳体位于升降机构之间，所述壳体的一侧固定设置有限位槽，所述壳体内部的两侧固定安装有滑轨组件，所述滑轨组件的顶部活动安装有滑板，所述滑板的顶部固定设置有防滑垫，所述滑板的一侧固定安装有限位杆，且限位杆延伸至壳体的一侧，所述壳体一端的两侧皆固定安装有支撑杆，所述支撑杆的一侧皆固定安装有把手，所述减震组件的底部活动安装有行走轮，且行走轮的一侧皆活动安装有刹车片。
优选的，所述减震组件的内部固定安装有上支板，上支板的底部活动安装有液压缓冲器，液压缓冲器的底部固定安装有下支板。
优选的，所述滑轨组件的内部固定设置有滑槽，且滑槽的内部活动安装有滚轮。
优选的，所述托架组件的内部固定安装有连接杆，连接杆的一侧活动安装有转轴，且转轴的另一侧活动安装有托板。
优选的，所述升降机构的内部固定安装有伸缩套杆，伸缩套杆的表面设置有限位孔，伸缩套杆的顶部活动安装有伸缩杆，伸缩杆的表面设置有与限位孔相互配合使用的弹性限位件。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该ITO靶材的搬运装置通过设置有限位槽与限位杆，能够对滑板进行限位，防止滑板脱落，造成ITO靶材掉落损坏，通过安装有减震组件，能够对ITO靶材进行减震，当经过坑洼路面时，能够起到减震效果，方便对ITO靶材的进一步保护，通过安装有拖架组件，能够将ITO靶材托起，方便工作人员对ITO靶材进行下一步操作，通过安装有滑轨组件，能够将靶材移动到壳体内，方便工作人员进行运输，通过安装有行走轮，能够使本装置具有移动的功能，便于使用人员进行移动与使用，通过安装有把手，方便工作人员推动本装置。
附图说明
图1为本实用新型的正视剖面图；
图2为本实用新型的侧视图；
图3为本实用新型的滑轨组件局部结构示意图；
图4为本实用新型的托架组件局部结构示意图；
图5为本实用新型的升降机构局部结构示意图。
图中：1、液压缸；2、通孔；3、固定块；4、升降机构；401、伸缩杆；402、伸缩套杆；403、弹性限位件；404、限位孔；5、滑轨组件；501、滚轮；502、滑槽；6、减震组件；601、液压缓冲器；602、下支板；603、上支板；7、支撑板；8、托架组件；801、转轴；802、托板；803、连接杆；9、防滑垫；10、滑板；11、行走轮；12、壳体；13、限位槽；14、支撑杆；15、把手；16、限位杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种ITO靶材的搬运装置，包括减震组件6、托架组件8和壳体12，减震组件6的底部活动安装有行走轮11，行走轮11使本装置具有移动的功能，便于工作人员进行使用，且行走轮11的一侧皆活动安装有刹车片，刹车片能够控制本装置的启停，防止本装置在工作过程中发生偏移，减震组件6的顶部的两侧皆固定安装有升降机构4，升降机构4能够调节本装置的高度，便于对不同尺寸的ITO靶材进行搬运，升降机构4的顶部皆固定安装有固定块3，且固定块3之间固定安装有支撑板7，支撑板7内部的两侧皆固定设置有通孔2，支撑板7顶部的两侧皆固定安装有液压缸1，液压缸1是将液压能转变为机械能的、做直线往复运动或摆动运动的液压执行元件，它结构简单、工作可靠，液压缸1能够带动托架组件8进行上下移动，方便工作人员进行操作，液压缸1的输出端固定安装有托架组件8，减震组件6顶部的固定安装有壳体12，且壳体12位于升降机构4之间，壳体12的一侧固定设置有限位槽13，壳体12内部的两侧固定安装有滑轨组件5，滑轨组件5能够带动滑板10进行水平移动，滑轨组件5的顶部活动安装有滑板10，滑板10的顶部固定设置有防滑垫9，防滑垫9能够增加与ITO靶材的摩擦力，防止靶材发生侧滑，滑板10的一侧固定安装有限位杆16，且限位杆16延伸至壳体12的一侧，壳体12一端的两侧皆固定安装有支撑杆14，支撑杆14的一侧皆固定安装有把手15，当该ITO靶材的搬运装置装置进行工作时，通过安装有把手15，方便工作人员推动本装置。
进一步，减震组件6的内部固定安装有上支板603，上支板603的底部活动安装有液压缓冲器601，液压缓冲器601依靠液压阻尼对作用在其上的物体进行缓冲减速至停止，起到一定程度的保护作用，适用于起重运输、电梯、冶金、港口机械、铁道车辆等机械设备，其作用是在工作过程中防止硬性碰撞导致机构损坏的安全缓冲装置，液压缓冲器601的底部固定安装有下支板602。
进一步，滑轨组件5的内部固定设置有滑槽502，且滑槽502的内部活动安装有滚轮501，滚轮501带动滑板10进行滑动，便于ITO靶材的安装。
进一步，托架组件8的内部固定安装有连接杆803，连接杆803的一侧活动安装有转轴801，且转轴801的另一侧活动安装有托板802，当ITO靶材托起后通过托板802将ITO靶材放在滑板10上。
进一步，升降机构4的内部固定安装有伸缩套杆402，伸缩套杆402的表面设置有限位孔404，伸缩套杆402的顶部活动安装有伸缩杆401，伸缩杆401的表面设置有与限位孔404相互配合使用的弹性限位件403，当本装置需要调节高度的时候，按住弹性限位件403，对伸缩杆401进行上下调节，调节到合适的位置后再将弹性限位件403松开，使弹性限位件403卡入限位孔404内即可固定，操作简单。
工作原理：使用本装置前，使用人员先对装置进行检测，确认没有问题后，使用时，通过行走轮11将ITO靶材的搬运装置移动到工作区域，利用液压缸1将托架组件8向下移动，将ITO靶材放在上面通过液压缸1带动托架组件8向上移动，利用限位杆16将滑板10推出，通过托板802旋转将ITO靶材放在滑板10上，再利用限位杆16将滑板10移动到壳体12内部，再通过行走轮11将本装置移动到存放区。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (5)
1.一种ITO靶材的搬运装置，包括减震组件(6)、托架组件(8)和壳体(12)，其特征在于：所述减震组件(6)的顶部的两侧皆固定安装有升降机构(4)，所述升降机构(4)的顶部皆固定安装有固定块(3)，且固定块(3)之间固定安装有支撑板(7)，所述支撑板(7)内部的两侧皆固定设置有通孔(2)，所述支撑板(7)顶部的两侧皆固定安装有液压缸(1)，所述液压缸(1)的输出端固定安装有托架组件(8)，所述减震组件(6)顶部的固定安装有壳体(12)，且壳体(12)位于升降机构(4)之间，所述壳体(12)的一侧固定设置有限位槽(13)，所述壳体(12)内部的两侧固定安装有滑轨组件(5)，所述滑轨组件(5)的顶部活动安装有滑板(10)，所述滑板(10)的顶部固定设置有防滑垫(9)，所述滑板(10)的一侧固定安装有限位杆(16)，且限位杆(16)延伸至壳体(12)的一侧，所述壳体(12)一端的两侧皆固定安装有支撑杆(14)，所述支撑杆(14)的一侧皆固定安装有把手(15)，所述减震组件(6)的底部活动安装有行走轮(11)，且行走轮(11)的一侧皆活动安装有刹车片。
2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材的搬运装置，其特征在于：所述减震组件(6)的内部固定安装有上支板(603)，上支板(603)的底部活动安装有液压缓冲器(601)，液压缓冲器(601)的底部固定安装有下支板(602)。
3.根据权利要求1所述的一种ITO靶材的搬运装置，其特征在于：所述滑轨组件(5)的内部固定设置有滑槽(502)，且滑槽(502)的内部活动安装有滚轮(501)。
4.根据权利要求1所述的一种ITO靶材的搬运装置，其特征在于：所述托架组件(8)的内部固定安装有连接杆(803)，连接杆(803)的一侧活动安装有转轴(801)，且转轴(801)的另一侧活动安装有托板(802)。
5.根据权利要求1所述的一种ITO靶材的搬运装置，其特征在于：所述升降机构(4)的内部固定安装有伸缩套杆(402)，伸缩套杆(402)的表面设置有限位孔(404)，伸缩套杆(402)的顶部活动安装有伸缩杆(401)，伸缩杆(401)的表面设置有与限位孔(404)相互配合使用的弹性限位件(403)。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113666066A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-11-19 | 江苏中锦新能源科技有限公司 | 一种吊顶空气净化机运输装置 |
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2018
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