CN208579775U - 一种传感器调节装置及腔室 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的传感器调节装置及腔室，包括：底座；导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，传感器与所述滑块连接；调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。本实用新型提供一种调节方式简便，且传感器位置不会发生偏离的传感器调节装置及腔室。

Description

一种传感器调节装置及腔室

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种传感器调节装置及腔室。

背景技术

很多半导体工艺通常是在真空环境下进行的。例如：物理气相沉积(PhysicalVapor Deposition,PVD)工艺一般是在密封腔室中进行的，腔室里具有用于支撑衬底的基座，该基座通常包括衬底支承，衬底支承具有布置在其中的电极以在工艺进行过程中将衬底静电吸附在衬底支承上。在某些特定的工艺中，例如靶材预烧工艺或者涂覆工艺，靶材材料通常会沉积在衬底支承上，这可能引起微粒的产生、衬底支承刮坏和处理性能的劣化，因此在进行这些特定工艺时，需要在衬底支承上设置遮蔽盘以防止靶材材料沉积在衬底支承上，而在进行正常工艺时，则将遮蔽盘旋转至一个空余位置，在该空余位置处遮蔽盘不会干扰室内的沉积工艺。

在遮蔽盘的旋转过程中，需要利用多个传感器(通常使用四个反射传感器)检测遮蔽盘和用于承载遮蔽盘的托架的位置，以及检测遮蔽盘和托架在位于空余位置时，是否距离库壁太近或者已经发生碰撞。而且，考虑到不同腔室的差异性以及装配公差，还需要利用传感器调节装置调节各个传感器的位置。

现有的传感器调节装置包括传感器固定件和传感器固定螺钉，其中，多个传感器通过传感器固定件安装在设置在腔室壁中的石英窗上，以能够透过石英窗向腔室内发出信号。并且，在传感器固定件上设置有安装孔，该安装孔为长圆孔，每个传感器通过螺钉安装在传感器固定件上，并且螺钉设置在长圆孔中，在旋松螺钉时，螺钉可以在长圆孔中滑动，从而带动传感器移动，当将传感器移动至相应位置后，再拧紧固定螺钉，即完成调节。

但是，上述传感器调节装置在调节传感器的位置时，需要旋松或者旋紧螺钉，这种调节方式的操作繁琐，而且在位置确定后，旋紧螺钉时会导致传感器发生偏移，从而偏离预定位置。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中传感器调节装置调节方式繁琐，而且在位置确定后，旋紧螺钉时会导致传感器发生偏移，从而偏离预定位置的缺陷，从而提供一种调节方式简便，且传感器位置不会发生偏离的传感器调节装置及腔室。

本实用新型提供一种传感器调节装置，包括：

底座；

导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；

滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，所述滑块用于与传感器连接；

调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。

所述调节机构包括螺钉，所述螺钉水平设置在所述底座上，且能够围绕其自身轴线旋转；并且，在所述滑块中设置有螺纹孔，所述螺钉与所述螺纹孔相配合；通过顺时针或逆时针旋转所述螺钉，以使所述滑块相对于所述螺钉滑动。

在所述底座中设置有安装孔，用于容纳所述螺钉的一部分，并限定所述螺钉的径向位置。

所述导轨包括：与所述底座固定的固定部和可相对于所述固定部滑动的滑动部，所述滑动部与所述滑块连接。

所述固定部为轨道，所述滑动部位于所述轨道的一侧，且能够沿所述轨道滑动；或者，所述固定部为柱状滑轨，所述滑动部为套设在所述柱状滑轨上的环体，所述环体能够沿所述柱状滑轨滑动，且与所述滑块连接。

本实用新型提供的一种传感器调节装置还包括：弹簧，所述弹簧的轴线与所述导轨的延伸方向平行，且所述弹簧的一端与所述底座连接，所述弹簧的另一端与所述滑块连接；所述弹簧用于对所述滑块施加与所述滑块的运动方向相反的作用力。

所述滑块用于连接至少一个所述传感器。

一种腔室，包括反应腔、容纳腔、遮蔽盘、托架、传感器和传感器调节装置，其中，在所述反应腔中设置有基座，所述容纳腔与所述反应腔连通，所述托架用于承载所述遮蔽盘，并能够带动所述遮蔽盘旋转至覆盖所述基座的位置或者所述容纳腔中，所述传感器调节装置设置在靠近所述容纳腔的侧壁的位置处，用于调节所述传感器的水平位置，所述传感器调节装置采用上述的所述传感器调节装置。

在所述容纳腔的底壁中设置有透光窗，所述传感器和传感器调节装置设置在所述容纳腔的下方，且与所述透光窗相对应的位置处。

所述底座包括第一连接板和第二连接板，其中，所述第一连接板与所述容纳腔的底壁固定连接，且与所述底壁相互垂直；所述第二连接板与所述透光窗相互平行，且与所述第一连接板固定连接；所述导轨固定在所述第二连接板上。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

本实用新型提供的传感器调节装置及腔室的技术方案中，传感器调节装置包括：底座；导轨，导轨水平设置，且固定在底座上；滑块，滑块与导轨连接，且能够沿导轨滑动，传感器与滑块连接；调节机构，用于驱动滑块沿导轨滑动，且在滑块到达预定位置时，锁定滑块的位置。在传感器需要调节时，使用调节机构驱动滑块沿导轨滑动，此时，滑块带动传感器沿导轨移动，在将传感器移动到预定位置时，使用调节机构锁定滑块的位置，从而锁定传感器的位置。通过使用上述调节机构对传感器位置进行调节，可以使调节方式更简便，而且在调节过程中传感器位置不会发生偏离，从而可以提高调节精度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的一种传感器调节装置的结构示意图；

图2为图1所示的导轨的结构示意图；

图3为图1所示的导轨的另一种实施方式的结构示意图；

图4为本实用新型的弹簧的结构示意图；

图5为本实用新型提供的一种腔室的结构示意图；

附图标记说明：

1-底座；111-第一安装孔；112-第二安装孔；113-通孔；2-导轨； 21-固定部；22-滑动部；23-柱状滑轨；24-环体；3-滑块；31-螺纹孔； 4-传感器；5-调节机构；6-弹簧；71-反应腔；72-容纳腔；73-遮蔽盘； 74-托架；8-透光窗；9-透光窗安装件。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的传感器调节装置及腔室进行详细描述。

如图1所示，本实施例提供的一种传感器调节装置，包括：底座

1、导轨2、滑块3和调节机构5，其中，导轨2水平设置，且固定在底座1上。这里，导轨2水平设置，是指即导轨2的延伸方向与遮蔽盘73所在平面相互平行。滑块3与导轨2连接，且能够沿导轨2滑动，滑块3用于与传感器4连接。调节机构5用于驱动滑块3沿导轨2滑动，且在滑块3到达预定位置时，锁定滑块3的位置。

在传感器4在水平方向上的位置(该水平方向平行于遮蔽盘73 所在平面)需要调节时，使用调节机构5驱动滑块3沿导轨2滑动，此时，滑块3带动传感器4沿导轨2移动，在将传感器4移动到预定位置时，使用调节机构5锁定滑块3的位置，从而锁定传感器4的位置。通过使用上述调节机构5对传感器4位置进行调节，可以使调节方式更简便，而且在调节过程中传感器4位置不会发生偏离，从而可以提高调节精度。

调节机构5包括螺钉，螺钉水平设置在底座1上，且能够围绕其自身轴线旋转；并且，在滑块3中设置有螺纹孔31，螺钉与螺纹孔31 相配合；通过顺时针或逆时针旋转螺钉，来使滑块3相对于螺钉滑动。在操作调节机构5时，顺时针或逆时针旋转螺钉，以使滑块3相对于螺钉滑动，当滑块3移动到预定位置时，停止对螺钉的旋转，通过螺钉与螺纹孔31的配合使螺钉在不被旋转时，滑块3不会相对于螺钉滑动，从而使调节机构5对滑块3进行锁定，因此，这样的设计在调节传感器4时，只需顺时针或逆时针旋转螺钉，即可对传感器4位置进行调节，停止旋转即可对滑块3进行锁定，从而使调节方式更加简便，且传感器4位置不会发生偏离。

在底座1中设置有安装孔，用于容纳螺钉的一部分，并限定螺钉的径向位置。由于螺钉的径向位置被底座1的安装孔限制，在旋转螺钉时，螺钉不会移动，避免因外力使螺钉发生移动，从而带动滑块3 及传感器4移动，进一步提高传感器4位置的稳定性。

具体地，在本实施例中，上述安装孔包括容纳螺钉的部分螺柱的第一安装孔111和容纳螺钉头的第二安装孔112，其中，第一安装孔 111与螺柱相配合，以限定螺钉的径向位置；第二安装孔112的直径大于螺钉头的直径，以保证螺钉头能够旋转。优选的，在底座1中，且位于远离螺柱的一端还设置有通孔113，可以经由该通孔113旋转螺钉头。

在实际应用中，上述安装孔也可以仅容纳部分螺柱，而螺钉头自底座1中暴露出来。

作为本实施例的一个变形实施例，调节机构5包括螺钉，螺钉水平设置在滑块3上，在螺钉与滑块3连接处设置轴承，使螺钉能够相对于滑块3围绕其自身旋转，并且轴承还用于限定螺钉的径向位置；并且，在底座1中设置有螺纹孔31，螺钉与螺纹孔31相配合。在这种情况下，螺钉与滑块3是固定的，没有相对直线运动，而通过顺时针或逆时针旋转螺钉，来使螺钉相对于底座1移动，从而带动滑块3 滑动。

如图2所示，导轨2包括：与底座1固定的固定部21和可相对于固定部21滑动的滑动部22，滑动部22与滑块3连接。

固定部21为轨道，滑动部22位于轨道的一侧，且能够沿轨道滑动。在本实施例中，轨道与底座1固定连接，滑动部22设置在轨道的一侧，在调节机构5驱动滑块3移动时，滑动部22可带动滑块3沿轨道移动。

或者，如图3所示，固定部21为柱状滑轨23，滑动部22为套设在柱状滑轨23上的环体24，环体24能够沿柱状滑轨23滑动，且与滑块3连接。在调节机构5驱动滑块3移动时，环体24可带动滑块3 沿柱状滑轨23移动。

如图3所示，本实施例提供的传感器调节装置，还包括：弹簧6，弹簧6与导轨2并行设置，即弹簧6的轴线与导轨2的延伸方向平行，且弹簧6的一端与底座1连接，弹簧6的另一端与滑块3连接；弹簧 6用于对滑块3施加与滑块3的运动方向相反的作用力。

在滑块3移动的过程中，螺钉与螺纹孔31之间的空程会导致滑块3相对于导轨2倾斜，从而影响传感器调节装置的精度。为此，通过设置上述弹簧6，对滑块3施加与滑块3的运动方向相反的作用力，可以使滑块3始终沿导轨2移动，从而提高传感器调节装置的调节精度。

具体地，在本实施例中，如图4所示，弹簧6的一端位于轨道的左端附近，且与底座1固定连接；弹簧6的另一端与滑块3固定连接，且位于滑块3的靠近右端的位置处。当滑块3处于图4所示的位置时，弹簧6处于拉伸或压缩状态，从而可以始终对滑块3施加作用力，并且由于弹簧6的轴线与导轨2的延伸方向平行，该作用力的方向与导轨2的延伸方向相互平行。借助上述弹簧6对滑块3施加与滑块3的运动方向相反的作用力，可以避免滑块3因螺钉与螺纹孔31之间的空程而倾斜，使滑块3始终沿导轨2移动，从而可以提高传感器调节装置的调节精度。

在实际应用中，如图4所示，弹簧6的一端也可位于轨道的右端附近，且与底座1固定连接；弹簧6的另一端与滑块3固定连接，且位于滑块3靠近右端的位置处。

通常机械设备中，会设置一个或多个传感器4，通过处于不同位置的传感器4来对所测量物体的不同位置进行检测，可以更加全面的测量物体。在这种情况下，滑块3用于连接至少一个传感器4。通过使用一个调节装置来同时对多个传感器4的位置进行调节，可以使调节方式更加简便。

如图4所示，本实施例提供的一种腔室，包括反应腔71、容纳腔 72、遮蔽盘73、托架74、传感器4和传感器调节装置，其中，在反应腔71中设置有基座，容纳腔72与反应腔71连通，托架74用于承载遮蔽盘73，并能够带动遮蔽盘73旋转至覆盖基座的位置或者容纳腔 72中，传感器调节装置设置在靠近容纳腔72的侧壁的位置处，用于调节传感器4的水平位置，传感器调节装置采用本实施例中的传感器调节装置。

在本实施例中，腔室中设有四个传感器4，用于检测遮蔽盘73和用于承载遮蔽盘73的托架74的位置，以及检测遮蔽盘73和托架74 在位于空余位置时，是否距离库壁太近或者已经发生碰撞。

如图4和图5所示，在容纳腔72的底壁中设置有透光窗8，传感器4和传感器调节装置设置在容纳腔72的下方，且与透光窗8相对应的位置处。

在本实施例中，在容纳腔72的底壁中设置有透光窗安装件9，透光窗8通过透光窗安装件9与容纳腔72的底壁连接，传感器4和传感器调节装置设置在透光窗安装件9的下方，且传感器4设置在与透光窗8相对应的位置处，这样传感器4的光线可以透过透光窗8进入容纳腔72，从而在腔室外部就可以使用传感器调节装置对传感器4进行调节，使调解方式更加简便。

底座1包括第一连接板和第二连接板，其中，第一连接板与容纳腔72的底壁固定连接，且与底壁相互垂直；第二连接板与透光窗8 相互平行，且与第一连接板固定连接；导轨2固定在第二连接板上。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种传感器调节装置，其特征在于，包括：

底座；

导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；

滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，所述滑块用于与传感器连接；

调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。

2.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，所述调节机构包括螺钉，所述螺钉水平设置在所述底座上，且能够围绕其自身轴线旋转；并且，在所述滑块中设置有螺纹孔，所述螺钉与所述螺纹孔相配合；通过顺时针或逆时针旋转所述螺钉，以使所述滑块相对于所述螺钉滑动。

3.根据权利要求2所述的传感器调节装置，其特征在于，在所述底座中设置有安装孔，用于容纳所述螺钉的一部分，并限定所述螺钉的径向位置。

4.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，所述导轨包括：与所述底座固定的固定部和可相对于所述固定部滑动的滑动部，所述滑动部与所述滑块连接。

5.根据权利要求4所述的传感器调节装置，其特征在于，所述固定部为轨道，所述滑动部位于所述轨道的一侧，且能够沿所述轨道滑动；或者，所述固定部为柱状滑轨，所述滑动部为套设在所述柱状滑轨上的环体，所述环体能够沿所述柱状滑轨滑动，且与所述滑块连接。

6.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，还包括：弹簧，所述弹簧的轴线与所述导轨的延伸方向平行，且所述弹簧的一端与所述底座连接，所述弹簧的另一端与所述滑块连接；所述弹簧用于对所述滑块施加与所述滑块的运动方向相反的作用力。

7.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，所述滑块用于连接至少一个所述传感器。

8.一种腔室，包括反应腔、容纳腔、遮蔽盘、托架、传感器和传感器调节装置，其中，在所述反应腔中设置有基座，所述容纳腔与所述反应腔连通，所述托架用于承载所述遮蔽盘，并能够带动所述遮蔽盘旋转至覆盖所述基座的位置或者所述容纳腔中，所述传感器调节装置设置在靠近所述容纳腔的侧壁的位置处，用于调节所述传感器的水平位置，其特征在于，所述传感器调节装置采用权利要求1-7任意一项所述的传感器调节装置。

9.根据权利要求8所述的一种腔室，其特征在于，在所述容纳腔的底壁中设置有透光窗，所述传感器和传感器调节装置设置在所述容纳腔的下方，且与所述透光窗相对应的位置处。

10.根据权利要求9所述的一种腔室，其特征在于，所述底座包括第一连接板和第二连接板，其中，所述第一连接板与所述容纳腔的底壁固定连接，且与所述底壁相互垂直；所述第二连接板与所述透光窗相互平行，且与所述第一连接板固定连接；所述导轨固定在所述第二连接板上。