CN208575006U - 一种与硅片清洗装置配合使用的夹持板 - Google Patents
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Abstract
一种与硅片清洗装置配合使用的夹持板，该夹持板包括左夹持板和右夹持板，左夹持板上设有若干开口向上倾斜设置的左夹持槽，右旋转夹持头上夹持有右夹持板，右夹持板上设有与左夹持槽配合的开口向下倾斜设置的右夹持槽；所述右夹持板内设置有进液通道，进液通道的管道口外接清洗管道，右夹持槽的槽底设置有与进液通道连通的清洗入口，清洗入口处设有清洗喷头；所述左夹持板内设置有出液通道，左夹持槽的槽底设置有与出液通道连通的清洗出口。该夹持板结构简单、使用方便，能够同时将多个硅片进行夹持，进而配合硅片清洗装置对硅片进行清洗，清洗效果好，清洗效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种夹持板，特别是一种与硅片清洗装置配合使用的夹持板。
背景技术
目前，在硅片切割完成后，都要进行严格的清洗，因为即使存在微量的污染也会使得硅片制成的元器件失效。
现有技术中虽然已有很多种硅片清洗装置，但是一般都是将硅片一片一片的放置到清洗装置上，劳动强度大，操作麻烦，清洗效率低；并且还会存在清洗后清洗液会残留在硅片上，清洗不到位的情况。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构简单、盛装硅片方便、效率高的与硅片清洗装置配合使用的夹持板。
本实用新型所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本实用新型是一种与硅片清洗装置配合使用的夹持板，该夹持板包括左夹持板和右夹持板，左夹持板上设有若干开口向上倾斜设置的左夹持槽，右旋转夹持头上夹持有右夹持板，右夹持板上设有与左夹持槽配合的开口向下倾斜设置的右夹持槽；所述右夹持板内设置有进液通道，进液通道的管道口外接清洗管道，右夹持槽的槽底设置有与进液通道连通的清洗入口，清洗入口处设有清洗喷头；所述左夹持板内设置有出液通道，左夹持槽的槽底设置有与出液通道连通的清洗出口。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，所述左夹持槽和右夹持槽均为开口小、槽底大的梯形槽，梯形槽开口处与硅片接触的槽壁上均设有横向设置的齿条，齿条上的齿条齿之间形成有清洗液流通通道。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，所述齿条上的齿条齿的末端为平滑状。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，所述左夹持槽和右夹持槽的一侧均封闭，左夹持槽和右夹持槽的另一侧设有便于硅片放入的夹持口，夹持口通过夹持块锁紧。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，所述夹持口侧的左夹持板和右夹持板上均设置有与夹持块配合的锁槽，锁槽的底部封闭，锁槽的顶部设有便于锁块插入的插入口，插入口通过横向滑动设置在左夹持板和右夹持板上的滑动块封口。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，所述左夹持板上固定连接有连接绳，右夹持板上设有与连接绳配合连接的连接扣。
与现有技术相比，本实用新型通过左夹持板与右夹持板上的左夹持槽与右夹持槽配合可以同时将多个硅片进行固定夹持，便于同时安装到硅片清洗装置内进行清洗，清洗时利用清洗管道通入的清洗液从清洗喷头内向硅片喷出对硅片进行清洗，清洗效果好，清洗完成后可将硅片连同左夹持板与右夹持板同时取出，重新放入放置有待清洗的硅片的左夹持板与右夹持板，整进整出，大大提高了清洗效率。该夹持板结构简单、使用方便，能够同时将多个硅片进行夹持，进而配合硅片清洗装置对硅片进行清洗，清洗效果好，清洗效率高。
附图说明
图1为本实用新型的一种结构示意图；
图2为本实用新型左夹持板的一种正视图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参照图1-2，一种与硅片清洗装置配合使用的夹持板，该夹持板包括左夹持板1和右夹持板5，左夹持板1上设有若干开口向上倾斜设置的左夹持槽2，右旋转夹持头上夹持有右夹持板5，右夹持板5上设有与左夹持槽2配合的开口向下倾斜设置的右夹持槽6；所述右夹持板5内设置有进液通道7，进液通道7的管道口外接清洗管道，右夹持槽6的槽底设置有与进液通道7连通的清洗入口，清洗入口处设有清洗喷头8；所述左夹持板1内设置有出液通道3，左夹持槽2的槽底设置有与出液通道3连通的清洗出口。倾斜设置的左夹持槽2和右夹持槽6便于左夹持板1和右夹持板5将硅片进行倾斜夹持，进而方便进液通道7流出的清洗液对硅片进行清洗；清洗喷头8的设置进一步保证了清洗效果；进液通道7竖向设置在右夹持板5内，进液通道7的下端封闭，上端与外部清洗管道连接，清洗入口用于将通入进液通道7内的清洗液分别流向夹持在右夹持板5上的硅片4，便于清洗的更加彻底，保证清洗效果；出液通道3竖向设置在左夹持板1内，出液通道3的上端封闭，下端设有开口，便于清洗液的流出；清洗出口的设置便于从硅片4上的清洗液流入出液通道3进行集中流出，减少在硅片上的清洗液残留量。
所述左夹持槽2和右夹持槽6均为开口小、槽底大的梯形槽，梯形槽开口处与硅片4接触的槽壁上均设有横向设置的齿条9，齿条9上的齿条齿10之间形成有清洗液流通通道。梯形槽的设置便于清洗喷头8的设置，方便对硅片4进行清洗；齿条9的设置既减少了对硅片4的夹持力，避免造成损坏，同时形成的清洗液流通通到方便清洗液沿着硅片4向下流冲，对硅片4进行清洗。
所述齿条9上的齿条齿10的末端为平滑状，同时齿条齿10呈梯台状，增大与硅片4的接触面积，避免对硅片4造成损伤。
所述左夹持槽2和右夹持槽6的一侧均封闭，左夹持槽2和右夹持槽6的另一侧设有便于硅片放入的夹持口，夹持口通过夹持块锁紧。
所述夹持口侧的左夹持板1和右夹持板5上均设置有与夹持块配合的锁槽，锁槽的底部封闭，锁槽的顶部设有便于锁块插入的插入口，插入口通过横向滑动设置在左夹持板1和右夹持板5上的滑动块封口。
左夹持槽2和右夹持槽6用于分别夹持住硅片的两端，然后利用夹持块与锁槽配合将左夹持槽2和右夹持槽6的开口侧封口，并利用滑动块将夹持块封顶，进行将夹持块固定，防止夹持块松动。
所述左夹持板1上固定连接有连接绳，右夹持板5上设有与连接绳配合连接的连接扣。连接绳与连接扣配合进一步将左夹持板1与右夹持板5固定连接在一起，避免清洗过程中，左夹持板1与右夹持板5之间距离扩大，造成硅片4掉落、损坏。
Claims (6)
1.一种与硅片清洗装置配合使用的夹持板，其特征在于：该夹持板包括左夹持板和右夹持板，左夹持板上设有若干开口向上倾斜设置的左夹持槽，右旋转夹持头上夹持有右夹持板，右夹持板上设有与左夹持槽配合的开口向下倾斜设置的右夹持槽；所述右夹持板内设置有进液通道，进液通道的管道口外接清洗管道，右夹持槽的槽底设置有与进液通道连通的清洗入口，清洗入口处设有清洗喷头；所述左夹持板内设置有出液通道，左夹持槽的槽底设置有与出液通道连通的清洗出口。
2.根据权利要求1所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，其特征在于：所述左夹持槽和右夹持槽均为开口小、槽底大的梯形槽，梯形槽开口处与硅片接触的槽壁上均设有横向设置的齿条，齿条上的齿条齿之间形成有清洗液流通通道。
3.根据权利要求2所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，其特征在于：所述齿条上的齿条齿的末端为平滑状。
4.根据权利要求1所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，其特征在于：所述左夹持槽和右夹持槽的一侧均封闭，左夹持槽和右夹持槽的另一侧设有便于硅片放入的夹持口，夹持口通过夹持块锁紧。
5.根据权利要求4所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，其特征在于：所述夹持口侧的左夹持板和右夹持板上均设置有与夹持块配合的锁槽，锁槽的底部封闭，锁槽的顶部设有便于锁块插入的插入口，插入口通过横向滑动设置在左夹持板和右夹持板上的滑动块封口。
6.根据权利要求1所述的与硅片清洗装置配合使用的夹持板，其特征在于：所述左夹持板上固定连接有连接绳，右夹持板上设有与连接绳配合连接的连接扣。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110813805A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-02-21 | 陈嘉斌 | 一种钢板表面油污清洁设备 |
| CN111707847A (zh) * | 2020-07-03 | 2020-09-25 | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） | 一种导电性阳极丝测试箱内固定样品的夹具及方法 |
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2018
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