CN208567542U - 用于直拉炉的水冷设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供用于直拉炉的水冷设备，包括冷却水套，所述冷却水套通过法兰盘与直拉炉连接，其特征在于：所述法兰盘内设置有环形气道，所述环形气道与设置于所述法兰盘上的进气口连接；所述环形气道与所述法兰盘内壁之间设置有若干气孔；本实用新型的有益效果是在起冷却作用的同时，还起到提供惰性气体氛围的作用，优化冷却效果。
Description
技术领域
本实用新型属于直拉炉附属设备领域，尤其是涉及用于直拉炉的水冷设备。
背景技术
在现有的技术中，用于多晶硅转化成单晶硅生产过程中使用直拉炉，直拉炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在高温环境下熔融状态的单晶硅的温度较高，需要进行冷却才能进行之后的工序。现有的通过内置冷却水套进行单晶硅冷却的方法，由于冷却水套的阻挡，单晶硅棒料进行冷却的部分所处的气体环境中惰性气体含量不足，影响生产出单晶硅的质量。
发明内容
本实用新型要解决的问题是提供用于直拉炉的水冷设备，尤其适合在进行单晶硅冷却的同时，提供一个惰性气体环境以提高生产单晶硅的质量。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：用于直拉炉的水冷设备，包括冷却水套，所述冷却水套通过法兰盘与直拉炉连接，其特征在于：所述法兰盘内设置有环形气道，所述环形气道与设置于所述法兰盘上的进气口连接；所述环形气道与所述法兰盘内壁之间设置有若干气孔。
通过以上设置，惰性气体能通过进气口进入环形气道，通过环形气道上的气孔到达单晶棒料表面，从而给冷却中的单晶棒料提供惰性气体氛围。
冷却水套内水套的设置方式有多种，
可以在所述冷却水套内设置外圈环形水道以及内圈环形水道，所述内圈环形水道被套接于所述外圈环形水道内。通过采用双层的水道设置，增强了水道之间的换热效率。能够加强冷却效果。
也可以在所述冷却水套内设置螺旋形水道，通过设置螺旋形水道，能够增大在单位水套长度的水道与单晶棒料的换热面积，提高换热效率。
作为优选地，还包括设置于所述法兰盘的进水口与出水口，所述进水口通过进水管与所述冷却水套连接，所述出水口通过出水管与所述冷却水套连接。通过以上设置，在保证结构强度的前提下，将冷却水的进出通道与法兰盘和冷却水套之间的支撑件合二为一，即将进出水管同时作为支撑件，节省空间。
作为优选地，还包括设置于所述法兰盘的真空表接口，所述真空表接口被设置用于安装气压计，通过以上设置，在保证法兰盘结构强度的前提下，能够测量炉内的气压。
作为优选地，还包括分别设置于所述冷却水套两端面的端盖，通过以上设置，增强了冷却水套的密封性，防止冷却水从外筒和内筒之间可能存在的焊接缝隙中泄漏。
作为优选地，还包括设置于所述冷却水套内壁的TiO2涂层，通过以上设置，减小单晶硅棒料在提拉过程中与冷却水套内壁的摩擦，使提拉过程更加顺畅，同时避免摩擦引起的单晶硅棒料损坏。
本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，冷却水套在起冷却作用的同时，还起到提供惰性气体氛围的作用，优化冷却效果。
附图说明
图1是本实用新型一实施例的结构示意图
图2是本实用新型一实施例的法兰盘结构示意图
图3是本实用新型一实施例的双层环形水道冷却水套剖视示意图
图4是本实用新型一实施例的螺旋形水道冷却水套示意图
图中：
1、法兰盘 1-1、法兰进水口 1-2、法兰出水口
1-3、真空表接口 1-4、气孔 1-5、进气口
2、冷却水套 2-1、进水管 2-2、出水管
2-3、冷却水套内筒 2-4、冷却水套外筒 2-5、冷却水套上端盖
2-6、冷却水套下端盖
具体实施方式
如图1、本实用新型一实施例的结构示意图所示，本实用新型的一实施例包括冷却水套2，冷却水套2通过法兰盘1与直拉炉连接。
如图2、本实用新型一实施例的法兰盘结构示意图所示，法兰盘1内设置有环形气道，环形气道与设置于法兰盘上的，安装有气门的进气口1-5连接；环形气道与法兰盘1的内壁之间设置有若干气孔1-4。
在本实施例中，作为优选地，法兰盘1上开设有真空表接口1-3，真空表接口1-3被设置用于安装气压计，通过以上设置，在保证法兰盘1结构强度的前提下，能够用来测量直拉炉内的气压，方便工作人员了解炉内的气压变化。
冷却水套内水套的设置方式有多种，
如图3、本实用新型一实施例的双层环形水道冷却水套剖视示意图所示，本实用新型的一些实施例中，在冷却水套2内设置外圈环形水道以及内圈环形水道，内圈环形水道被套接于外圈环形水道内。通过采用双层的水道设置，增强了水道之间的换热效率。能够加强冷却效果。
如图4、本实用新型一实施例的螺旋形水道冷却水套示意图所示，本实用新型的一些实施例中，在冷却水套2内设置螺旋形水道，通过设置螺旋形水道，能够增大在单位水套长度的水道与单晶棒料的换热面积，提高换热效率。
作为优选地，在本实施例中，还包括设置于法兰盘1的法兰进水口1-1与法兰出水口1-2，法兰进水口1-1通过进水管2-1与冷却水套2连接，法兰出水口1-2通过出水管2-2与冷却水套2连接。通过以上设置，在保证结构强度的前提下，将冷却水的进出通道与法兰盘和冷却水套之间的支撑件合二为一，即将进出水管同时作为支撑件，节省空间。
作为优选地，在本实施例中，还包括分别设置于冷却水套2两端面的冷却水套上端盖2-5和冷却水套下端盖2-6，通过以上设置，增强了冷却水套2的密封性，防止冷却水从冷却水套外筒2-4和冷却水套内筒2-3之间可能存在的焊接缝隙中泄漏。
作为优选地，在本实施例中，还包括设置于冷却水套内壁的TiO2涂层，通过以上设置，减小单晶硅棒料在提拉过程中与冷却水套内壁的摩擦，使提拉过程更加顺畅，同时避免摩擦引起的单晶硅棒料损坏。
本实用新型一实施例的工作过程：进行冷却时，向冷却水套内通冷却水，同时向气道内通氩气，在进行冷却的同时提供氩气氛围，提高单晶棒料生产质量。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (7)
1.一种用于直拉炉的水冷设备，包括冷却水套，所述冷却水套通过法兰盘与直拉炉连接，其特征在于：
所述法兰盘内设置有环形气道，所述环形气道与设置于所述法兰盘上的进气口连接；
所述环形气道与所述法兰盘内壁之间设置有若干气孔。
2.根据权利要求1所述的用于直拉炉的水冷设备，其特征在于：所述冷却水套内设置有外圈环形水道以及内圈环形水道，所述内圈环形水道被套接于所述外圈环形水道内。
3.根据权利要求1所述的用于直拉炉的水冷设备，其特征在于：所述冷却水套内设置有螺旋形水道。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的用于直拉炉的水冷设备，其特征在于：还包括设置于所述法兰盘的进水口与出水口，所述进水口通过进水管与所述冷却水套连接，所述出水口通过出水管与所述冷却水套连接。
5.根据权利要求1至3中任意一项所述的用于直拉炉的水冷设备，其特征在于：还包括设置于所述法兰盘的真空表接口，所述真空表接口被设置用于安装气压计。
6.根据权利要求1至3中任意一项所述的用于直拉炉的水冷设备，其特征在于：还包括分别设置于所述冷却水套两端面的端盖。
7.根据权利要求1至3中任意一项所述的用于直拉炉的水冷设备，其特征在于：还包括设置于所述冷却水套内壁的TiO2涂层。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820990702.2U CN208567542U (zh) | 2018-06-26 | 2018-06-26 | 用于直拉炉的水冷设备 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208567542U true CN208567542U (zh) | 2019-03-01 |
Family
ID=65488119
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201820990702.2U Active CN208567542U (zh) | 2018-06-26 | 2018-06-26 | 用于直拉炉的水冷设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208567542U (zh) |
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2018
- 2018-06-26 CN CN201820990702.2U patent/CN208567542U/zh active Active
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