CN208565606U - 半导体单晶炉气囊密封式异形阀 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供半导体单晶炉气囊密封式异形阀，包括一主阀体、一副阀体和阀芯，阀芯位于主阀体与副阀体之间，副阀体通过铰链安装在主阀体上，主阀体与副阀体的连接处设有O型密封圈，副阀体与铰链的连接处设有十个螺钉；阀芯包括磁流体、磁流体密封圈、阀芯密封圈、磁流体座、锁紧螺母、球轴承和下盖装配而成，阀芯通过驱动气缸绕磁流体的中心轴线旋转运动，阀芯开启的最大角度为65°；阀芯还包括阀芯充放气接头和安全气囊，阀芯充放气接头连接安全气囊，阀芯充放气接头上设有电磁阀。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备制造行业，具体涉及半导体单晶炉气囊密封式异形阀。
背景技术
原有的隔离阀结构采用阀芯竖直旋转的方式，受结构影响，阀体空间较大，阀芯密封较差，长晶时工艺气流在此段会紊乱，晶棒直径波动大，容易NG。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供半导体单晶炉气囊密封式异形阀，以解决传统隔离阀阀体空间较大，阀芯密封较差，长晶时工艺气流在此段会紊乱，晶棒直径波动大的问题。
本实用新型的技术方案是：半导体单晶炉气囊密封式异形阀，包括一主阀体、一副阀体和阀芯，所述阀芯位于主阀体与所述副阀体之间，所述副阀体通过铰链安装在所述主阀体上，所述主阀体与所述副阀体的连接处设有O型密封圈，所述副阀体与所述铰链的连接处设有十个螺钉；
所述阀芯包括磁流体、磁流体密封圈、阀芯密封圈、磁流体座、锁紧螺母、球轴承和下盖装配而成，所述阀芯通过驱动气缸绕磁流体的中心轴线旋转运动，所述阀芯开启的最大角度为65°；
所述阀芯还包括阀芯充放气接头和安全气囊，所述阀芯充放气接头连接所述安全气囊，所述阀芯充放气接头上设有电磁阀。
本实用新型通过阀芯充放气接头对阀芯的安全气囊充放气使主副阀体涨开与收紧运动，阀芯充放气接头通过外部电磁阀进行控制充气或放气，充气时阀芯气囊内充满一定压力的气体将主副阀体涨开，阀板密封圈与主阀体密封达到关闭的目的；放气时阀芯气囊内的气体排出主副阀体收拢，此状态下才可通过阀芯驱动气缸做水平旋转开闭运动，打开或关闭阀门。本实用新型通过阀芯由竖直开闭改成水平旋转开闭，由气缸驱动，并且采用磁性流体密封以解决阀芯密封较差、晶棒直径波动大的问题。阀体水平结构设计，由固定不动的主阀体和由铰链连接方便开闭的副阀体构成，节约空间，方便维护与清扫。
所述阀芯还包括一导入冷却水的阀芯进水接头和一阀芯出水接头，所述阀芯进水接头与所述阀芯出水接头构成一冷却通道，所述冷却通道是对阀芯进行冷却的冷却通道。
通过阀芯进水接头加入循环冷却水对阀芯进行冷却，冷却水将整个阀芯冷却后从阀芯出水接头排出。阀芯通过水冷可以确保密封圈在高温条件下的长期使用不至于损坏。
所述主阀体上设有一导入冷却水的阀体进出水接头，所述阀体进出水接头通过以外部水管与所述副阀体连接。
通过阀体进出水接头加入冷却水可以对主阀体和副阀体充分冷却，保护整个阀体长期处于常温状态下。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的剖视图。
图中：1、主阀体；2、副阀体；3、阀芯；4、磁流体；5、O型密封圈；6、磁流体密封圈；7、阀芯密封圈；8、磁流体座；9、锁紧螺母；10、球轴承；11、下盖；12、驱动气缸；13、阀芯充放气接头；14、阀芯进水接头；15、阀芯出水接头；16、外部水管；17、阀体进出水接头。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
如图1和图2所示，半导体单晶炉气囊密封式异形阀，包括一主阀体1、一副阀体2和阀芯3，阀芯位于主阀体与副阀体之间，副阀体通过铰链安装在主阀体上，主阀体与副阀体的连接处设有O型密封圈5，副阀体与铰链的连接处设有十个螺钉；阀芯包括磁流体4、磁流体密封圈6、阀芯密封圈7、磁流体座8、锁紧螺母9、球轴承10和下盖11装配而成，阀芯通过驱动气缸12绕磁流体的中心轴线旋转运动，阀芯开启的最大角度为65°；阀芯还包括阀芯充放气接头13和安全气囊，阀芯充放气接头连接安全气囊，阀芯充放气接头上设有电磁阀。
本实用新型通过阀芯充放气接头对阀芯的安全气囊充放气使主副阀体涨开与收紧运动，阀芯充放气接头通过外部电磁阀进行控制充气或放气，充气时阀芯气囊内充满一定压力的气体将主副阀体涨开，阀板密封圈与主阀体密封达到关闭的目的；放气时阀芯气囊内的气体排出主副阀体收拢，此状态下才可通过阀芯驱动气缸做水平旋转开闭运动，打开或关闭阀门。本实用新型通过阀芯由竖直开闭改成水平旋转开闭，由气缸驱动，并且采用磁性流体密封以解决阀芯密封较差、晶棒直径波动大的问题。阀体水平结构设计，由固定不动的主阀体和由铰链连接方便开闭的副阀体构成，节约空间，方便维护与清扫。
阀芯还包括一导入冷却水的阀芯进水接头14和一阀芯出水接头15，阀芯进水接头与阀芯出水接头构成一冷却通道，冷却通道是对阀芯进行冷却的冷却通道。通过阀芯进水接头加入循环冷却水对阀芯进行冷却，冷却水将整个阀芯冷却后从阀芯出水接头排出。阀芯通过水冷可以确保密封圈在高温条件下的长期使用不至于损坏。主阀体上设有一导入冷却水的阀体进出水接头17，阀体进出水接头通过以外部水管16与副阀体连接。通过阀体进出水接头加入冷却水可以对主阀体和副阀体充分冷却，保护整个阀体长期处于常温状态下。
以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (3)
1.半导体单晶炉气囊密封式异形阀，其特征在于：包括一主阀体、一副阀体和阀芯，所述阀芯位于主阀体与所述副阀体之间，所述副阀体通过铰链安装在所述主阀体上，所述主阀体与所述副阀体的连接处设有O型密封圈，所述副阀体与所述铰链的连接处设有十个螺钉；
所述阀芯包括磁流体、磁流体密封圈、阀芯密封圈、磁流体座、锁紧螺母、球轴承和下盖装配而成，所述阀芯通过驱动气缸绕磁流体的中心轴线旋转运动，所述阀芯开启的最大角度为65°；
所述阀芯还包括阀芯充放气接头和安全气囊，所述阀芯充放气接头连接所述安全气囊，所述阀芯充放气接头上设有电磁阀。
2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉气囊密封式异形阀，其特征在于：所述阀芯还包括一导入冷却水的阀芯进水接头和一阀芯出水接头，所述阀芯进水接头与所述阀芯出水接头构成一冷却通道，所述冷却通道是对阀芯进行冷却的冷却通道。
3.根据权利要求1所述的半导体单晶炉气囊密封式异形阀，其特征在于：所述主阀体上设有一导入冷却水的阀体进出水接头，所述阀体进出水接头通过以外部水管与所述副阀体连接。
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2018
- 2018-06-25 CN CN201820982183.5U patent/CN208565606U/zh active Active
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