CN208562593U - 改良型太阳能电池片扩散炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及太阳能电池扩散技术领域,尤其涉及一种改良型太阳能电池片扩散炉,将硅片槽倾斜设置后,硅片能够倾斜设置在炉管内,炉尾端的进气口放在炉尾端的上部,抽气口仍然放在炉的下部,硅片沿气流方向倾斜,优化扩散炉管内气场氛围,提高了携源氮气与硅片中间区域的接触,减小硅片中间方阻和边缘方阻的差值,改善扩散方阻的片内均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池扩散技术领域,尤其涉及一种改良型太阳能电池片扩散炉。
背景技术
扩散制作P-N结是晶硅太阳能电池的核心,是电池质量好坏的关键之一。对于扩散工序而言,确保高效电池的高产能面临的最大问题在于如何保障扩散的均匀性。扩散较均匀性好的电池,其后续工艺参数的可控性高,可以较好地保证电池性能和参数的稳定性。
目前扩散炉管内的气场主要是片子表面垂直与气体流动方向(如图1所示),携源氮气与硅片边缘的接触远远大于硅片中间,这使得片子中间方阻高于边缘方阻,这使得片子方阻的均匀性变差。当中间方阻过高时,会导致后续烧结工序烧不透,造成EL黑斑异常。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了解决现有技术中携源氮气与硅片表面接触时,携源氮气与硅片边缘的接触远远大于硅片中间的技术问题,本实用新型提供一种改良型太阳能电池片扩散炉。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种改良型太阳能电池片扩散炉,包括炉管、石英舟、源瓶、源瓶进气管和源瓶出气管,石英舟设置在炉管内,炉管的炉口处设置有炉盖,源瓶出气管的一端和源瓶内部相连通,源瓶出气管的另一端从炉管尾端的上部通入炉管内部,源瓶进气管的一端和源瓶内部相连通,源瓶进气管的另一端通入氮气,炉管内的底部设置有水平的出气管,出气管从炉管尾端的下部穿出,所述石英舟上开设有多个均匀的硅片槽,所述硅片槽倾斜设置,硅片槽的槽口相对于硅片槽的底部更靠近炉管尾端。
进一步的,所述硅片槽的槽壁和石英舟底面的夹角为α,α范围为85°<α<90°。倾角太大容易使得错过硅片顶部的气体较多,影响扩散效果,而且占用炉管体积较大,倾角太小不利于气体向硅片中心运动。
作为优选,所述硅片槽的槽壁和石英舟底面的夹角α为87°。
本实用新型的有益效果是,本实用新型的改良型太阳能电池片扩散炉,将硅片槽倾斜设置后,硅片能够倾斜设置在炉管内,炉尾端的进气口放在炉尾端的上部,抽气口仍然放在炉的下部,硅片沿气流方向倾斜,优化扩散炉管内气场氛围,提高了携源氮气与硅片中间区域的接触,减小硅片中间方阻和边缘方阻的差值,改善扩散方阻的片内均匀性。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是现有技术中扩散通源装置的结构示意图。
图2是本实用新型最优实施例的结构示意图。。
图中:1、炉管,11、炉盖,12、出气管,2、石英舟,21、硅片槽,3、源瓶,31、源瓶进气管,311、源瓶进气阀,32、源瓶出气管,321、源瓶出气阀,4、硅片。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图2所示,是本实用新型最优实施例,一种改良型太阳能电池片扩散炉,包括炉管1、石英舟2、源瓶3、源瓶进气管31和源瓶出气管32,石英舟2设置在炉管1内,炉管1的炉口处设置有炉盖11,源瓶出气管32的一端和源瓶3内部相连通,源瓶出气管32的另一端从炉管1尾端的上部通入炉管1内部,源瓶进气管31的一端和源瓶3内部相连通,源瓶进气管31的另一端通入氮气,炉管1内的底部设置有水平的出气管12,出气管12的出口从炉管1尾端的下部穿出,出气管12的进口,靠近炉管1的炉口,石英舟2上开设有多个均匀的硅片槽21,硅片槽21倾斜设置,硅片槽21的槽口相对于硅片槽21的底部更靠近炉管1尾端,即硅片槽21的槽口向氮气进气口倾斜。硅片槽21的槽壁和石英舟2底面的夹角为α,α范围为85°<α<90°。硅片槽21的槽壁和石英舟2底面的夹角α为87°。
工作模式为:
工艺进行到扩散步时,PLC控制外部高纯氮气由源瓶进气管31通过源瓶进气阀311进入三氯氧磷源瓶3,并携带出三氯氧磷,经过源瓶出气阀321和炉管1尾部上方的源瓶进气管31进入炉管1内,在气压作用下,携源氮气进一步向炉盖11处的出气管12的进口运动,出气管12的出口连接有抽气装置。在此过程中携源氮气将穿过石英舟2上倾斜放置的硅片4。硅片4的上端向源瓶进气管31倾斜,有助于气体向硅片4中间运动,气场氛围的优化能提高携源氮气与硅片4中间区域的接触,减小硅片4中间方阻和边缘方阻的差值,改善扩散方阻的片内均匀性。
现有的扩散炉和改良型太阳能电池片扩散炉试验测试结果如下:
测试条件用切片同一批硅片,取2000片硅片分成两组。在同一台清洗机台做清洗。之后一组在现有的扩散炉做扩散;一组在改良型太阳能电池片扩散炉做扩散。每根管个取5个温区测试方阻。方阻测试仪为德仪测试仪,每片硅片测试九点的方阻值。
实验结果:由下表可见,本实用新型改良型太阳能电池片扩散炉的片内极差值减小了16%-31%;片内均匀性也相应得到改善。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (3)
1.一种改良型太阳能电池片扩散炉,其特征在于:包括炉管(1)、石英舟(2)、源瓶(3)、源瓶进气管(31)和源瓶出气管(32),石英舟(2)设置在炉管(1)内,炉管(1)的炉口处设置有炉盖(11),源瓶出气管(32)的一端和源瓶(3)内部相连通,源瓶出气管(32)的另一端从炉管(1)尾端的上部通入炉管(1)内部,源瓶进气管(31)的一端和源瓶(3)内部相连通,源瓶进气管(31)的另一端通入氮气,炉管(1)内的底部设置有水平的出气管(12),出气管(12)从炉管(1)尾端的下部穿出,所述石英舟(2)上开设有多个均匀的硅片槽(21),所述硅片槽(21)倾斜设置,硅片槽(21)的槽口相对于硅片槽(21)的底部更靠近炉管(1)尾端。
2.如权利要求1所述的改良型太阳能电池片扩散炉,其特征在于:所述硅片槽(21)的槽壁和石英舟(2)底面的夹角为α,α范围为85°<α<90°。
3.如权利要求2所述的改良型太阳能电池片扩散炉,其特征在于:所述硅片槽(21)的槽壁和石英舟(2)底面的夹角α为87°。
Priority Applications (1)
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CN201821119525.7U CN208562593U (zh) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | 改良型太阳能电池片扩散炉 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201821119525.7U CN208562593U (zh) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | 改良型太阳能电池片扩散炉 |
Publications (1)
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CN208562593U true CN208562593U (zh) | 2019-03-01 |
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ID=65493129
Family Applications (1)
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CN201821119525.7U Active CN208562593U (zh) | 2018-07-13 | 2018-07-13 | 改良型太阳能电池片扩散炉 |
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CN (1) | CN208562593U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108560059A (zh) * | 2018-07-13 | 2018-09-21 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 改良型太阳能电池片扩散炉 |
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2018
- 2018-07-13 CN CN201821119525.7U patent/CN208562593U/zh active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108560059A (zh) * | 2018-07-13 | 2018-09-21 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 改良型太阳能电池片扩散炉 |
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