CN208505923U - 一种基于机器视觉硅片在线检测装置 - Google Patents
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 39
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 39
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 238000013082 photovoltaic technology Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种基于机器视觉硅片在线检测装置,包括输料机构、接近传感器、工业相机、光源、延时模块、工控机、PLC控制器及拣料机构,所述接近传感器和工业相机沿待检硅片输送方向依次设置在所述输送机构的上方,所述光源位于工业相机和输送机构之间,所述工业相机用于拍摄待检硅片图像且与所述工控机相连,所述延时模块的信号输入端连接接近传感器,其信号输出端分别连接工业相机,所述工控机用于对待检硅片图像进行分析处理,所述PLC控制器分别连接工控机和拣料机构。本实用新型能够实现硅片的自动化检测,节省了人力,最终确保了光伏产品的品质。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片检测技术领域,特别涉及一种基于机器视觉硅片在线检测装置。
背景技术
对于光伏行业来说,对产品质量越来越重视,如果有不合格的硅片流入光伏工艺的后道工序将造成极大的浪费。目前,针对硅片外观缺陷的检查,大部分采用传统的人工目检方式,通过人为判断硅片是否存在缺陷瑕疵,人工检测由于费时费力,所以光伏厂家多采用抽检方式,这样往往仍有大量不合格硅片流入到后道工序,对产品品质造成了影响,也带来了极大的浪费。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种基于机器视觉硅片在线检测装置,其能够实现硅片的自动化检测,节省了人力,最终确保了光伏产品的品质。
为实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种基于机器视觉硅片在线检测装置,包括输料机构、接近传感器、工业相机、光源、延时模块、工控机、PLC控制器及拣料机构,所述接近传感器和工业相机沿待检硅片输送方向依次设置在所述输送机构的上方,所述光源位于工业相机和输送机构之间,所述工业相机用于拍摄待检硅片图像且与所述工控机相连,所述延时模块的信号输入端连接接近传感器,其信号输出端分别连接工业相机,所述工控机用于对待检硅片图像进行分析处理,所述PLC控制器分别连接工控机和拣料机构。
优选地,其还包括图像采集卡,所述工业相机通过图像采集卡连接工控机。
优选地,所述输料机构包括输送带和驱动装置,所述输送带用于承载、输送待检硅片,并由所述驱动装置驱动其运动,所述驱动装置受所述PLC控制器控制。
优选地,所述拣料机构包括载料台及两个真空吸盘,所述载料台设于所述输送带的末端,其靠近所述输送带的一侧形成一倾斜面,两个真空吸盘设置在载料台的上方且受所述工控机控制,用于实现良品和次品的分拣。
优选地,所述工控机内设置有ARM主处理器、DSP协处理器及光源控制模块,所述ARM主处理器分别连接DSP协处理器、光源控制模块及PLC控制器,所述DSP协处理器连接所述图像采集卡,用于分析处理待检硅片图像并将分析结果发送给ARM主处理器,所述光源控制模块连接所述光源。
采用上述技术方案后,本实用新型与背景技术相比,具有如下优点:
本实用新型能够实现硅片的自动化检测,节省了人力,最终确保了光伏产品的品质。
附图说明
图1为本实用新型的结构框图;
图2为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
实施例
配合图1和图2所示,本实用新型公开了一种基于机器视觉硅片在线检测装置,包括输料机构1、接近传感器2、工业相机3、光源4、延时模块5、图像采集卡6、工控机7、PLC控制器8及拣料机构9,其中:
参考图1所示,输料机构1包括输送带11和驱动装置12,输送带11用于承载、输送待检硅片,并由驱动装置12驱动其运动,驱动装置12受PLC控制器8控制。
配合图1和图2所示,接近传感器2和工业相机3沿待检硅片输送方向依次设置在输送机构的上方,光源4位于工业相机3和输送机构之间,工业相机3用于拍摄待检硅片图像且通过图像采集卡6与工控机7相连。
延时模块5的信号输入端连接接近传感器2,其信号输出端分别连接工业相机3。当接近传感器2探测到待检硅片时产生触发信号,延时模5基于触发信号输出信号给工业相机3,确保工业相机3工作时,待检硅片正好被输送至工业相机3的视场中心。延时模块5由信号调理电路和延时电路构成,信号调理电路用于对上述触发信号进行滤波、整流,然后发送给延时电路进行延时。
工控机7内设置有ARM主处理器、DSP协处理器及光源4控制模块,ARM主处理器分别连接DSP协处理器、光源4控制模块及PLC控制器8,DSP协处理器连接图像采集卡6,用于分析处理待检硅片图像并将分析结果发送给ARM主处理器,光源4控制模块连接光源4。PLC控制器8分别连接工控机7和拣料机构9。
拣料机构9包括载料台91及两个真空吸盘92,载料台91设于输送带11的末端,其靠近输送带11的一侧形成一倾斜面911,两个真空吸盘92设置在载料台91的上方且受PLC控制器8控制,用于实现良品和次品的分拣。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (5)
1.一种基于机器视觉硅片在线检测装置,其特征在于:包括输料机构、接近传感器、工业相机、光源、延时模块、工控机、PLC控制器及拣料机构,所述接近传感器和工业相机沿待检硅片输送方向依次设置在所述输料机构的上方,所述光源位于工业相机和输送机构之间,所述工业相机用于拍摄待检硅片图像且与所述工控机相连,所述延时模块的信号输入端连接接近传感器,其信号输出端分别连接工业相机,所述工控机用于对待检硅片图像进行分析处理,所述PLC控制器分别连接工控机和拣料机构。
2.如权利要求1所述的一种基于机器视觉硅片在线检测装置,其特征在于:其还包括图像采集卡,所述工业相机通过图像采集卡连接工控机。
3.如权利要求1所述的一种基于机器视觉硅片在线检测装置,其特征在于:所述输料机构包括输送带和驱动装置,所述输送带用于承载、输送待检硅片,并由所述驱动装置驱动其运动,所述驱动装置受所述PLC控制器控制。
4.如权利要求3所述的一种基于机器视觉硅片在线检测装置,其特征在于:所述拣料机构包括载料台及两个真空吸盘,所述载料台设于所述输送带的末端,其靠近所述输送带的一侧形成一倾斜面,两个真空吸盘设置在载料台的上方且受所述工控机控制,用于实现良品和次品的分拣。
5.如权利要求2所述的一种基于机器视觉硅片在线检测装置,其特征在于:所述工控机内设置有ARM主处理器、DSP协处理器及光源控制模块,所述ARM主处理器分别连接DSP协处理器、光源控制模块及PLC控制器,所述DSP协处理器连接所述图像采集卡,用于分析处理待检硅片图像并将分析结果发送给ARM主处理器,所述光源控制模块连接所述光源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201821306468.3U CN208505923U (zh) | 2018-08-14 | 2018-08-14 | 一种基于机器视觉硅片在线检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201821306468.3U CN208505923U (zh) | 2018-08-14 | 2018-08-14 | 一种基于机器视觉硅片在线检测装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN208505923U true CN208505923U (zh) | 2019-02-15 |
Family
ID=65300710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201821306468.3U Expired - Fee Related CN208505923U (zh) | 2018-08-14 | 2018-08-14 | 一种基于机器视觉硅片在线检测装置 |
Country Status (1)
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---|---|
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