CN208455104U - 一种充气自清洁式气路管道 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种充气自清洁式气路管道，包括单晶炉水冷抽气管道以及单晶炉室，在单晶炉水冷抽气管道与单晶炉室之间安装有插板阀和高压吹气环，高压吹气环的进气端安装有电磁阀。本实用新型提供一种充气自清洁式气路管道，通过插板阀隔离单晶炉室与水冷抽气管道，可以保证吹气时不对炉压造成波动影响和挥发物反流回真空炉室内，使用单晶炉长晶作为保护气体的高纯氩气作为吹扫气体，保证不会对长晶带入污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉室管道清洁技术领域，具体涉及一种充气自清洁式气路管道。
背景技术
随着单晶炉的发展，为提高产能，多采用二次加料等方式进行一炉两根或三根的拉制，因此造成单次合炉时间大大延长，因挥发物在抽气管道处的堆积造成气路堵塞而产生抽气效率下降，严重影响了炉压控制，从而影响长晶的成功率，为解决这一问题，设计一套自清洁式装置，在不开炉的情况下对气路管道进行的清洁。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的主要目的是提供一种充气自清洁式气路管道。
本实用新型采用的技术方案是：
一种充气自清洁式气路管道，包括单晶炉水冷抽气管道以及单晶炉室，在单晶炉水冷抽气管道与单晶炉室之间安装有插板阀和高压吹气环，高压吹气环的进气端安装有电磁阀。
进一步地，所述插板阀处于打开状态，电磁阀关闭，水冷抽气管道畅通正常进行排气；
或关闭插板阀，打开电磁阀，高压高纯氩气通过高压吹气环对水冷抽气管道内壁进行吹扫，通过真空泵把吹扫下的挥发物抽走。
进一步地，通过所述插板阀隔离单晶炉室与水冷抽气管道。
本实用新型提供一种充气自清洁式气路管道，通过插板阀隔离单晶炉室与水冷抽气管道，可以保证吹气时不对炉压造成波动影响和挥发物反流回真空炉室内，使用单晶炉长晶作为保护气体的高纯氩气作为吹扫气体，保证不会对长晶带入污染。
附图说明
以上所述仅是本实用新型专利方案概述，为了更清楚说明本实用新型的技术手段，以下结合附图与具体实施方式对本实用新型作详细说明。
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为图1I处的放大图。
其中，附图标记以及标记对应的名称如下。
单晶炉室1，插板阀2，高压吹气环3，水冷抽气管道4，电磁阀5。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
参照图1至图2，本实用新型具体公开了一种充气自清洁式气路管道，包括单晶炉水冷抽气管道4以及单晶炉室1，在单晶炉水冷抽气管道4与单晶炉室1之间安装有插板阀2和高压吹气环3，高压吹气环3的进气端安装有电磁阀5。在正常长晶状态时，插板阀2处于打开状态，电磁阀5关闭，此时水冷抽气管道畅通正常进行排气。当排气效率下降需要进行清洁时，在非等径状态下，关闭插板阀2，打开电磁阀5，高压高纯氩气通过高压吹气环3对水冷抽气管道4内壁进行吹扫，通过真空泵把吹扫下的挥发物抽走，从而达到对水冷抽气管道4清洁的目的。通过插板阀2隔离单晶炉室1与水冷抽气管道4，可以保证吹气时不对炉压造成波动影响和挥发物反流回真空炉室内，使用单晶炉长晶作为保护气体的高纯氩气作为吹扫气体，保证不会对长晶带入污染。
以上对本实用新型实施例所公开的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体实施例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理；
同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (3)
1.一种充气自清洁式气路管道，其特征在于，包括单晶炉水冷抽气管道以及单晶炉室，在单晶炉水冷抽气管道与单晶炉室之间安装有插板阀和高压吹气环，高压吹气环的进气端安装有电磁阀。
2.根据权利要求1所述的充气自清洁式气路管道，其特征在于，所述插板阀处于打开状态，电磁阀关闭，水冷抽气管道畅通正常进行排气；
或关闭插板阀，打开电磁阀，高压高纯氩气通过高压吹气环对水冷抽气管道内壁进行吹扫，通过真空泵把吹扫下的挥发物抽走。
3.根据权利要求1所述的充气自清洁式气路管道，其特征在于，通过所述插板阀隔离单晶炉室与水冷抽气管道。
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| CN201820981437.1U CN208455104U (zh) | 2018-06-25 | 2018-06-25 | 一种充气自清洁式气路管道 |
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Publications (1)
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111112158A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-05-08 | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 | 一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置 |
| CN111594692A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-08-28 | 吴光明 | 一种自维护格栅式消音器 |
| WO2022098811A1 (en) * | 2020-11-04 | 2022-05-12 | Globalwafers Co., Ltd. | Crystal pulling systems having fluid-filled exhaust tubes that extend through the housing |
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2018
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