CN208445928U - 一种真空设备风冷散热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空设备风冷散热装置，包括真空腔室、密封散热腔室、中空管路和散热气体输入管，所述密封散热腔室设于所述真空腔室内，所述中空管路和所述散热气体输入管均一端与所述真空腔室的外侧连通，另一端与所述密封散热腔室连通，所述中空管路套设在所述散热气体输入管上，所述中空管路的内径大于所述散热气体输入管的外径；本实用新型的真空设备风冷散热装置通过中空管路和散热气体输入管向密封散热腔室内输入散热气体，通过散热气体在密封散热腔室内循环流动，将密封散热腔室内的多余热量带走，与现有技术相比，本实用新型可以对密封散热腔室进行有效降温，保证各功能模块和部件的良好工作性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏制备技术领域，特别是一种真空设备风冷散热装置。
背景技术
在物理及化学气相沉积的真空设备中，为了满足特定需求，内部需要添加一些功能模块，这些功能模块一般通过电驱动部件为其提供动力。
但是在真空环境下，这些功能模块和电驱动部件无法通过热传导和热交换进行散热，在温度过高的情况下，功能模块和电驱动部件的工作性能可能就会受影响，性能降低或者甚至无法工作。
针对上述情况，为了解决真空环境下的散热问题，有必要提供一种真空设备风冷散热装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种真空设备风冷散热装置，以解决现有技术中的技术问题，它能够通过风冷散热带走真空设备内的多余热量，保证各部件处于合适的温度范围内。
为了实现上述目的，本实用新型提供了如下的技术方案：
一种真空设备风冷散热装置，包括真空腔室、密封散热腔室、中空管路和散热气体输入管，所述密封散热腔室设于所述真空腔室内，所述中空管路和所述散热气体输入管均一端与所述真空腔室的外侧连通，另一端与所述密封散热腔室连通，所述中空管路套设在所述散热气体输入管上，所述中空管路的内径大于所述散热气体输入管的外径。
优选地，所述中空管路通过第一密封部件与所述真空腔室的壁面连接，通过第二密封部件与所述密封散热腔室的壁面连接。
优选地，还包括气源装置，所述散热气体输入管与所述气源装置的出口连接。
优选地，所述密封散热腔室内设有待散热部件，所述散热气体输入管伸至所述待散热部件远离所述散热气体输入管入口的边缘外侧。
优选地，所述密封散热腔室内设有压力传感器和温度传感器，所述散热气体输入管上设有气体流量调节阀。
优选地，所述散热气体输入管为L形管，包括水平段和竖直段，所述竖直段的所述散热气体输入管上设有气孔。
优选地，所述中空管路为连续凹凸状结构。
优选地，所述散热气体输入管的入口设有干燥盒。
本实用新型的有益效果在于：
本实用新型提供了一种真空设备风冷散热装置，包括真空腔室、密封散热腔室、中空管路和散热气体输入管，所述密封散热腔室设于所述真空腔室内，所述中空管路和所述散热气体输入管均一端与所述真空腔室的外侧连通，另一端与所述密封散热腔室连通，所述中空管路套设在所述散热气体输入管上，所述中空管路的内径大于所述散热气体输入管的外径；本实用新型的真空设备风冷散热装置通过中空管路和散热气体输入管向密封散热腔室内输入散热气体，通过散热气体在密封散热腔室内循环流动，将密封散热腔室内的多余热量带走，与现有技术相比，本实用新型可以有效降低密封散热腔室内的温度，保证密封散热腔室的温度处于合适范围，保证各功能模块和部件的良好工作性能。
附图说明
图1是本实用新型实施例的真空设备风冷散热装置的结构示意图。
附图标记说明：
1-真空腔室，2-密封散热腔室，3-中空管路，4-散热气体输入管，5-待散热部件。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
如图1所示，本实用新型的实施例提供一种真空设备风冷散热装置，包括真空腔室1、密封散热腔室2、中空管路3和散热气体输入管4，所述密封散热腔室2设于所述真空腔室1内，所述中空管路3和所述散热气体输入管4均一端与所述真空腔室1的外侧连通，另一端与所述密封散热腔室2连通，所述中空管路3套设在所述散热气体输入管4上，所述中空管路3的内径大于所述散热气体输入管4的外径。
本实用新型的使用方法：将散热气体通入散热气体输入管4，散热气体输入管4的另一端将散热气体输出，散热气体在密封散热腔室2内形成对流，然后经由中空管路3流出，在该过程中，散热气体将密封散热腔室2的热量带出，将密封散热腔室2内的温度降低，从而达到降温的效果；由上述操作可知，本实用新型的真空设备风冷散热装置，可以有效降低密封散热腔室2内的温度，保证密封散热腔室2的温度处于合适范围，保证各功能模块和部件的良好性能。
在上述结构的基础上，所述中空管路3优选通过第一密封部件与所述真空腔室1的壁面连接，通过第二密封部件与所述密封散热腔室2的壁面连接。为了降低安装难度，中空管路3优选与真空腔室1的外壁固定连接，第一密封部件优选包括法兰盘和垫圈。中空管路3也优选与密封散热腔室2的外壁固定连接，由于第二密封部件所处的位置温度较高，故第二密封部件优选为耐热密封环和耐热密封圈。
为了保证对密封散热腔室2的降温可以持续不间断地进行，本实用新型还优选包括气源装置，所述散热气体输入管4与所述气源装置的出口连接。所述气源装置可以为盛放液氮或者干冰等的装置。气源装置设置在真空腔室1的外侧，可以通过连接管与散热气体输入管4连接，当然散热气体输入管4也可以伸出至真空腔室1的外侧，直接与气源装置的出口连接。
如图1所示，所述密封散热腔室2内设有待散热部件5，所述散热气体输入管4伸至所述待散热部件5远离所述散热气体输入管4入口的边缘外侧。待散热部件5容置在密封散热腔室2内，在密封散热腔室2与真空腔室1之间，还优选设置有驱动装置和探测源，驱动装置和探测源通过隔绝密封件与待散热部件5传动。如图1所示，密封散热腔室2和待散热部件5均为长方体状结构，散热气体输入管4从待散热部件5的下方伸入至密封散热腔室2，并且伸至待散热部件5的左侧，将散热气体输入管4伸入至该位置，方便散热气体更为深入地进入到密封散热腔室2内，在形成对流的过程中，全面地与待散热部件5接触，从而对其进行充分地降温，带走更多的热量。
进一步地，所述密封散热腔室2内优选设有压力传感器和温度传感器，所述散热气体输入管4上设有气体流量调节阀。温度传感器可以设置在待散热部件5的表面上。通过压力传感器和温度传感器，可以实时检测密封散热腔室2内部的气体压力和温度，从而可以获知待散热部件5的降温效果，进一步通过气体流量调节阀对从散热气体输入管4输入的气体的流量进行调节，既能保证对密封散热腔室2有效降温，又不至于使密封散热腔室2的散热气体积聚的过多，影响气体的流动和排出。气体流量调节阀优选设置在散热气体输入管4与气源装置的出口之间。
优选地，所述散热气体输入管4为L形管，包括水平段和竖直段，所述竖直段的所述散热气体输入管4上设有气孔。气孔优选沿竖直段的散热气体输入管4上均匀分布，通过在散热气体输入管4上设置气孔，可以增大散热气体的出口面积，提高散热气体的流动速度，进而增强降温效果。
此外，所述中空管路3可以为连续凹凸状结构。在此基础上，散热气体输入管4也可以为对应的连续凹凸状结构。该连续凹凸状结构可以为波浪状管路。将中空管路3和散热气体输入管4均设置为连续凹凸状结构，可以使散热气体的输入和排出速度不至于过高，增大散热气体参与到降温过程中的时间，提高散热气体的利用率。
为了方便中空管路3和散热气体输入管4与真空腔室1和密封散热腔室2的装配，所述中空管路3和所述散热气体输入管4可以均为软管，且均由耐热材料制成。当然，中空管路3和散热气体输入管4也可以根据需要设置为硬质管。
为了增大散热气体的单次输入量，所述散热气体输入管4优选为多个，例如可以为2个。此外，为了去除进入到密封散热腔室2的散热气体中的水分，所述散热气体输入管4的入口优选设有干燥盒，气体输入管4的入口处还优选设置有过滤网，以进一步去除散热气体中的杂质。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。
Claims (8)
1.一种真空设备风冷散热装置，其特征在于，包括真空腔室(1)、密封散热腔室(2)、中空管路(3)和散热气体输入管(4)，所述密封散热腔室(2)设于所述真空腔室(1)内，所述中空管路(3)和所述散热气体输入管(4)均一端与所述真空腔室(1)的外侧连通，另一端与所述密封散热腔室(2)连通，所述中空管路(3)套设在所述散热气体输入管(4)上，所述中空管路(3)的内径大于所述散热气体输入管(4)的外径。
2.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述中空管路(3)通过第一密封部件与所述真空腔室(1)的壁面连接，通过第二密封部件与所述密封散热腔室(2)的壁面连接。
3.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，还包括气源装置，所述散热气体输入管(4)与所述气源装置的出口连接。
4.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述密封散热腔室(2)内设有待散热部件(5)，所述散热气体输入管(4)伸至所述待散热部件(5)远离所述散热气体输入管(4)入口的边缘外侧。
5.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述密封散热腔室(2)内设有压力传感器和温度传感器，所述散热气体输入管(4)上设有气体流量调节阀。
6.根据权利要求5所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述散热气体输入管(4)为L形管，包括水平段和竖直段，所述竖直段的所述散热气体输入管(4)上设有气孔。
7.根据权利要求1所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述中空管路(3)为连续凹凸状结构。
8.根据权利要求1-7任一项所述的真空设备风冷散热装置，其特征在于，所述散热气体输入管(4)的入口设有干燥盒。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821273183.4U CN208445928U (zh) | 2018-08-08 | 2018-08-08 | 一种真空设备风冷散热装置 |
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| CN201821273183.4U CN208445928U (zh) | 2018-08-08 | 2018-08-08 | 一种真空设备风冷散热装置 |
Publications (1)
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| CN201821273183.4U Active CN208445928U (zh) | 2018-08-08 | 2018-08-08 | 一种真空设备风冷散热装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN208445928U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114858400A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-08-05 | 中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所 | 一种高压差承压环境控制仪器舱及方法 |
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2018
- 2018-08-08 CN CN201821273183.4U patent/CN208445928U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN114858400B (zh) * | 2022-07-05 | 2022-09-23 | 中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所 | 一种高压差承压环境控制仪器舱及方法 |
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
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| TR01 | Transfer of patent right |