CN208440729U - 电动接晶托 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电动接晶托，用于防止晶棒掉落，它安装在单晶炉的副室旋臂上，它包括提升杆、用于驱动提升杆升降的升降驱动装置、用于承接晶棒的托板和用于驱动托板旋转的旋转驱动装置，所述提升杆连接在升降驱动装置上，以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降；所述托板连接在提升杆上；所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板之间。本实用新型可以在副炉室旋转到取晶棒的位置的过程中，自动下降、旋转到合适位置，以防止因晶棒掉落而造成事故，安全高效。

Description

电动接晶托

技术领域

本实用新型涉及一种电动接晶托。

背景技术

在副炉室旋转到取晶棒的位置的过程中，晶棒万一发生坠落，会引发严重的安全事故，因此需要在取晶棒的下方设置接晶托，但现有的接晶托多采用人工手动操作，存在着不安全因素。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种电动接晶托，它可以在副炉室旋转到取晶棒的位置的过程中，自动下降、旋转到合适位置，以防止因晶棒掉落而造成事故，安全高效。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种电动接晶托，用于防止晶棒掉落，它安装在单晶炉的副室旋臂上，它包括：

提升杆；

用于驱动提升杆升降的升降驱动装置，所述提升杆连接在升降驱动装置上，以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降；

用于承接晶棒的托板，所述托板连接在提升杆上；

用于驱动托板旋转的旋转驱动装置，所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板之间。

进一步提供了一种升降驱动装置的具体结构，所述升降驱动装置包括电动推杆，所述电动推杆连接在副室旋臂上，所述提升杆连接在电动推杆的推杆上，以便通过推杆的升降带动提升杆升降。

进一步为了提升电动接晶托安装的牢固性，电动接晶托还包括固定管，所述固定管连接在副室旋臂上，且所述固定管套装在提升杆和电动推杆的推杆的外侧。

进一步提供了一种旋转驱动装置的具体结构，所述旋转驱动装置包括电机，所述电机连接在提升杆上，所述托板连接在电机的输出轴上，以便通过电机驱动托板旋转。

进一步为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述提升杆的外侧套装有可伸缩的防尘罩，所述防尘罩的一端和固定管相连接，所述防尘罩的另一端和旋转驱动装置相连接。

进一步提供了一种防尘罩的具体结构，所述防尘罩为波纹防尘罩。

采用了上述技术方案后，单晶炉完成拉晶后，根据晶棒的长度，升降驱动装置驱动托板在竖直方向上上升或下降到合适的高度，在单晶炉的副炉室旋转到取晶棒的位置的过程中，旋转驱动装置驱动托板旋转，使得托板更好地防止晶棒掉落，本实用新型采用电动操作，结构简答，操作方便，既杜绝了人工操作的安全隐患，又节约了人工成本；本实用新型适用于不同长度的晶棒；本实用新型的提升杆外装有防尘罩，可以有效防止润滑油脂挥发污染原料。

附图说明

图1为本实用新型的电动接晶托的托板处于提升、旋闭状态的结构示意图；

图2为本实用新型的电动接晶托的托板处于下降、旋开状态的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1、2所示，一种电动接晶托，用于防止晶棒掉落，它安装在单晶炉的副室旋臂10上，它包括：

提升杆；

用于驱动提升杆升降的升降驱动装置，所述提升杆连接在升降驱动装置上，以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降；

用于承接晶棒的托板1，所述托板1连接在提升杆上；

用于驱动托板1旋转的旋转驱动装置，所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板1之间。

如图1、2所示，所述升降驱动装置包括电动推杆2，所述电动推杆2连接在副室旋臂10上，所述提升杆连接在电动推杆10的推杆上，以便通过推杆的升降带动提升杆升降。

如图1、2所示，为了提升电动接晶托安装的牢固性，电动接晶托还包括固定管3，所述固定管3连接在副室旋臂10上，且所述固定管3套装在提升杆和电动推杆2的推杆的外侧。

如图1、2所示，所述旋转驱动装置包括电机4，所述电机4连接在提升杆上，所述托板1连接在电机4的输出轴上，以便通过电机4驱动托板1旋转。

如图1、2所示，为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述提升杆的外侧套装有可伸缩的防尘罩5，所述防尘罩5的一端和固定管3相连接，所述防尘罩5的另一端和旋转驱动装置相连接。

如图1、2所示，所述防尘罩5为波纹防尘罩。

本实用新型的工作原理如下：

单晶炉完成拉晶后，根据晶棒的长度，升降驱动装置驱动托板1在竖直方向上上升或下降到合适的高度，在单晶炉的副炉室旋转到取晶棒的位置的过程中，旋转驱动装置驱动托板1旋转，使得托板1更好地防止晶棒掉落，本实用新型采用电动操作，结构简答，操作方便，既杜绝了人工操作的安全隐患，又节约了人工成本；本实用新型适用于不同长度的晶棒；本实用新型的提升杆外装有防尘罩5，可以有效防止润滑油脂挥发污染原料。

以上所述的具体实施例，对本实用新型解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种电动接晶托，用于防止晶棒掉落，它安装在单晶炉的副室旋臂(10)上，其特征在于，它包括：

提升杆；

用于驱动提升杆升降的升降驱动装置，所述提升杆连接在升降驱动装置上，以便通过升降驱动装置驱动提升杆升降；

用于承接晶棒的托板(1)，所述托板(1)连接在提升杆上；

用于驱动托板(1)旋转的旋转驱动装置，所述旋转驱动装置连接在提升杆和托板(1)之间。

2.根据权利要求1所述的电动接晶托，其特征在于：所述升降驱动装置包括电动推杆(2)，所述电动推杆(2)连接在副室旋臂(10)上，所述提升杆连接在电动推杆(10)的推杆上，以便通过推杆的升降带动提升杆升降。

3.根据权利要求2所述的电动接晶托，其特征在于：还包括固定管(3)，所述固定管(3)连接在副室旋臂(10)上，且所述固定管(3)套装在提升杆和电动推杆(2)的推杆的外侧。

4.根据权利要求1所述的电动接晶托，其特征在于：所述旋转驱动装置包括电机(4)，所述电机(4)连接在提升杆上，所述托板(1)连接在电机(4)的输出轴上，以便通过电机(4)驱动托板(1)旋转。

5.根据权利要求3所述的电动接晶托，其特征在于：所述提升杆的外侧套装有可伸缩的防尘罩(5)，所述防尘罩(5)的一端和固定管(3)相连接，所述防尘罩(5)的另一端和旋转驱动装置相连接。

6.根据权利要求5所述的电动接晶托，其特征在于：所述防尘罩(5)为波纹防尘罩。