CN208414532U

CN208414532U - 一种真空镀膜机的坩埚安装机构

Info

Publication number: CN208414532U
Application number: CN201821022689.8U
Authority: CN
Inventors: 莫超超; 金学峰; 周义飞; 陈志龙; 孙阳
Original assignee: Aifake Commercial Trade (shanghai) Co Ltd
Current assignee: Aifake Commercial Trade (shanghai) Co Ltd
Priority date: 2018-06-29
Filing date: 2018-06-29
Publication date: 2019-01-22
Anticipated expiration: 2028-06-29

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机的坩埚安装机构，包括真空室，所述真空室的底部设有连接杆，连接杆的顶部固定安装有第一安装座，第一安装座的顶部设有第二安装座，第二安装座的顶部固定安装有坩埚，第二安装座的底部固定安装有两个定位销，第一安装座的顶部开设有两个定位槽，且定位销与对应的定位槽相适配，两个定位槽相互远离的一侧内壁上均开设有第一凹槽，两个定位销相互远离的一侧均开设有第一卡槽，第一凹槽内滑动安装有第一卡销，且第一卡销与对应的第一卡槽相适配，第一凹槽的顶部内壁上开设有第二凹槽，第二凹槽内滑动安装有挡板。本实用新型能够便于对坩埚进行安装，结构简单，操作方便。

Description

一种真空镀膜机的坩埚安装机构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的坩埚安装机构。

背景技术

现有的真空镀膜机使用时，在装入及卸下装载有待镀工件的载盘时，每一个载盘都需要人工将其取出，放置一侧，再将下一个载盘装入真空镀膜机，经检索，授权公告号为CN101928930B的专利文件公开了真空镀膜机，包括装载腔室、镀膜腔室及卸载腔室，镀膜腔室两端具有入料口及出料口，装载腔室与入料口连接，装载腔室内设装载架、第一驱动机构及传输装置，装载架承载多个水平放置的相互平行排列的载盘，第一驱动机构固定于装载腔室内，第一驱动机构与装载架相连接，并驱动装载架做下降运动，且能够将各载盘对准入料口，传输装置将对准入料口的载盘运入入料口，卸载腔室与出料口连接，卸载腔室内设卸载架及第二驱动机构。卸载架用于将从出料口出来的多个载盘按层水平排列，第二驱动机构固定于卸载腔室内，第二驱动机构与卸载架相连接，并驱动卸载架做上升运动，该发明的真空镀膜机在装载及卸载时均批量进行，可有效减少人力及提高生产效率，但这种设计还存在不足之处，不便于对坩埚进行安装的问题，因此我们提出一种真空镀膜机的坩埚安装机构用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜机的坩埚安装机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空镀膜机的坩埚安装机构，包括真空室，所述真空室的底部设有连接杆，连接杆的顶部固定安装有第一安装座，第一安装座的顶部设有第二安装座，第二安装座的顶部固定安装有坩埚，第二安装座的底部固定安装有两个定位销，第一安装座的顶部开设有两个定位槽，且定位销与对应的定位槽相适配，两个定位槽相互远离的一侧内壁上均开设有第一凹槽，两个定位销相互远离的一侧均开设有第一卡槽，第一凹槽内滑动安装有第一卡销，且第一卡销与对应的第一卡槽相适配，第一凹槽的顶部内壁上开设有第二凹槽，第二凹槽内滑动安装有挡板，挡板的顶部固定安装有第一弹簧的一端，第一弹簧的另一端固定安装在对应的第二凹槽的内壁上，挡板的底部铰接有支撑杆的一端，支撑杆的另一端铰接在第一卡销上，两个第一凹槽相互远离的一侧内壁上均开设有第一孔，第一孔内滑动安装有拉杆，拉杆的一端固定安装在对应的第一卡销上，拉杆的顶部开设有两个第二卡槽，第一孔的顶部内壁上开设有第三凹槽，第三凹槽内滑动安装有第二卡销，且第二卡销与对应的第二卡槽相卡装，第二卡销的顶端固定安装有第二弹簧的一端，第二弹簧的另一端固定安装在第三凹槽的内壁上，两个第二卡销的相互靠近的一侧固定安装有推杆的一端，推杆的另一端延伸至第一安装座的外侧。

优选的，两个第三凹槽相互远离的一侧内壁上开设有第二孔，且推杆与对应的第二孔滑动连接。

优选的，所述第一凹槽的底部内壁上开设有限位槽，第一卡销的底部固定安装有限位块，且限位块与限位槽的侧壁滑动连接。

优选的，所述限位块的底部滚动安装有第一滚珠，且第一滚珠与对应的限位槽滚动连接。

优选的，所述挡板的两侧均滚动安装有第二滚珠，且第二滚珠与对应的第二凹槽相适配。

优选的，两个拉杆相互远离的一端均固定安装有把手，且把手位于第一安装座的外侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

（1）、通过推杆、第二卡销、第二弹簧和第二卡槽相配合，移动推杆，推杆带动第二卡销进行移动，第二卡销对第二弹簧进行压缩并脱离一个第二卡槽，从而实现了解除对拉杆进行固定的目的；

（2）、通过把手、拉杆、第一卡销、支撑杆、挡板和第一弹簧相适配，移动把手，把手带动拉杆进行移动，拉杆带动第一卡销进行移动，第一卡销带动支撑杆进行移动，支撑杆带动挡板进行移动，挡板对第一弹簧进行压缩，使得第一卡销收纳到第一凹槽内，在第二弹簧的弹力作用下，使得第二卡销卡入另一个第二卡槽内。

本实用新型能够便于对坩埚进行安装，结构简单，操作方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜机的坩埚安装机构的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜机的坩埚安装机构的A部分结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种真空镀膜机的坩埚安装机构的B部分结构示意图。

图中：1真空室、2连接杆、3第一安装座、4第二安装座、5坩埚、6定位槽、7定位销、8第一卡槽、9第一凹槽、10第一卡销、11把手、12第二凹槽、13挡板、14第一弹簧、15支撑杆、16第一孔、17第二卡槽、18第三凹槽、19第二卡销、20第二弹簧、21推杆、22第二孔、23拉杆、24限位槽、25限位块、26第一滚珠、27第二滚珠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种真空镀膜机的坩埚安装机构，包括真空室1，真空室1的底部设有连接杆2，连接杆2的顶部固定安装有第一安装座3，第一安装座3的顶部设有第二安装座4，第二安装座4的顶部固定安装有坩埚5，第二安装座4的底部固定安装有两个定位销7，第一安装座3的顶部开设有两个定位槽6，且定位销7与对应的定位槽6相适配，两个定位槽6相互远离的一侧内壁上均开设有第一凹槽9，两个定位销7相互远离的一侧均开设有第一卡槽8，第一凹槽9内滑动安装有第一卡销10，且第一卡销10与对应的第一卡槽8相适配，第一凹槽9的顶部内壁上开设有第二凹槽12，第二凹槽12内滑动安装有挡板13，挡板13的顶部固定安装有第一弹簧14的一端，第一弹簧14的另一端固定安装在对应的第二凹槽12的内壁上，挡板13的底部铰接有支撑杆15的一端，支撑杆15的另一端铰接在第一卡销10上，两个第一凹槽9相互远离的一侧内壁上均开设有第一孔16，第一孔16内滑动安装有拉杆23，拉杆23的一端固定安装在对应的第一卡销10上，拉杆23的顶部开设有两个第二卡槽17，第一孔16的顶部内壁上开设有第三凹槽18，第三凹槽18内滑动安装有第二卡销19，且第二卡销19与对应的第二卡槽17相卡装，第二卡销19的顶端固定安装有第二弹簧20的一端，第二弹簧20的另一端固定安装在第三凹槽18的内壁上，两个第二卡销19的相互靠近的一侧固定安装有推杆21的一端，推杆21的另一端延伸至第一安装座3的外侧，通过推杆21、第二卡销19、第二弹簧20和第二卡槽17相配合，移动推杆21，推杆21带动第二卡销19进行移动，第二卡销19对第二弹簧20进行压缩并脱离一个第二卡槽17，从而实现了解除对拉杆23进行固定的目的，通过把手11、拉杆23、第一卡销10、支撑杆15、挡板13和第一弹簧14相适配，移动把手11，把手11带动拉杆23进行移动，拉杆23带动第一卡销10进行移动，第一卡销10带动支撑杆15进行移动，支撑杆15带动挡板13进行移动，挡板13对第一弹簧14进行压缩，使得第一卡销10收纳到第一凹槽9内，在第二弹簧20的弹力作用下，使得第二卡销19卡入另一个第二卡槽17内，本实用新型能够便于对坩埚5进行安装，结构简单，操作方便。

本实用新型中，两个第三凹槽18相互远离的一侧内壁上开设有第二孔22，且推杆21与对应的第二孔22滑动连接，第一凹槽9的底部内壁上开设有限位槽24，第一卡销10的底部固定安装有限位块25，且限位块25与限位槽24的侧壁滑动连接，限位块25的底部滚动安装有第一滚珠26，且第一滚珠26与对应的限位槽24滚动连接，挡板13的两侧均滚动安装有第二滚珠27，且第二滚珠27与对应的第二凹槽12相适配，两个拉杆23相互远离的一端均固定安装有把手11，且把手11位于第一安装座3的外侧，通过推杆21、第二卡销19、第二弹簧20和第二卡槽17相配合，移动推杆21，推杆21带动第二卡销19进行移动，第二卡销19对第二弹簧20进行压缩并脱离一个第二卡槽17，从而实现了解除对拉杆23进行固定的目的，通过把手11、拉杆23、第一卡销10、支撑杆15、挡板13和第一弹簧14相适配，移动把手11，把手11带动拉杆23进行移动，拉杆23带动第一卡销10进行移动，第一卡销10带动支撑杆15进行移动，支撑杆15带动挡板13进行移动，挡板13对第一弹簧14进行压缩，使得第一卡销10收纳到第一凹槽9内，在第二弹簧20的弹力作用下，使得第二卡销19卡入另一个第二卡槽17内，本实用新型能够便于对坩埚5进行安装，结构简单，操作方便。

工作原理：安装时，首先移动推杆21，推杆21带动第二卡销19进行移动，第二卡销19对第二弹簧20进行压缩并脱离一个第二卡槽17，从而实现了解除对拉杆23进行固定的目的,保持推杆21的位置不变，然后移动把手11，把手11带动拉杆23进行移动，拉杆23带动第一卡销10进行移动，第一卡销10带动支撑杆15进行移动，支撑杆15带动挡板13进行移动，挡板13对第一弹簧14进行压缩，使得第一卡销10收纳到第一凹槽9内，松开推杆21，在第二弹簧20的弹力作用下，使得第二卡销19卡入另一个第二卡槽17内，最后把定位销7放置到定位槽6内，移动推杆21，在第一弹簧14的弹力作用下，使得第一卡销10卡入第一卡槽8内，在第二弹簧20的弹力作用下，使得第二卡销19卡入一个第二卡槽17内，从而对定位销7进行固定，从而实现了对坩埚5进行安装的目的。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种真空镀膜机的坩埚安装机构，包括真空室（1），其特征在于，所述真空室（1）的底部设有连接杆（2），连接杆（2）的顶部固定安装有第一安装座（3），第一安装座（3）的顶部设有第二安装座（4），第二安装座（4）的顶部固定安装有坩埚（5），第二安装座（4）的底部固定安装有两个定位销（7），第一安装座（3）的顶部开设有两个定位槽（6），且定位销（7）与对应的定位槽（6）相适配，两个定位槽（6）相互远离的一侧内壁上均开设有第一凹槽（9），两个定位销（7）相互远离的一侧均开设有第一卡槽（8），第一凹槽（9）内滑动安装有第一卡销（10），且第一卡销（10）与对应的第一卡槽（8）相适配，第一凹槽（9）的顶部内壁上开设有第二凹槽（12），第二凹槽（12）内滑动安装有挡板（13），挡板（13）的顶部固定安装有第一弹簧（14）的一端，第一弹簧（14）的另一端固定安装在对应的第二凹槽（12）的内壁上，挡板（13）的底部铰接有支撑杆（15）的一端，支撑杆（15）的另一端铰接在第一卡销（10）上，两个第一凹槽（9）相互远离的一侧内壁上均开设有第一孔（16），第一孔（16）内滑动安装有拉杆（23），拉杆（23）的一端固定安装在对应的第一卡销（10）上，拉杆（23）的顶部开设有两个第二卡槽（17），第一孔（16）的顶部内壁上开设有第三凹槽（18），第三凹槽（18）内滑动安装有第二卡销（19），且第二卡销（19）与对应的第二卡槽（17）相卡装，第二卡销（19）的顶端固定安装有第二弹簧（20）的一端，第二弹簧（20）的另一端固定安装在第三凹槽（18）的内壁上，两个第二卡销（19）的相互靠近的一侧固定安装有推杆（21）的一端，推杆（21）的另一端延伸至第一安装座（3）的外侧。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚安装机构，其特征在于，两个第三凹槽（18）相互远离的一侧内壁上开设有第二孔（22），且推杆（21）与对应的第二孔（22）滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚安装机构，其特征在于，所述第一凹槽（9）的底部内壁上开设有限位槽（24），第一卡销（10）的底部固定安装有限位块（25），且限位块（25）与限位槽（24）的侧壁滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的坩埚安装机构，其特征在于，所述限位块（25）的底部滚动安装有第一滚珠（26），且第一滚珠（26）与对应的限位槽（24）滚动连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚安装机构，其特征在于，所述挡板（13）的两侧均滚动安装有第二滚珠（27），且第二滚珠（27）与对应的第二凹槽（12）相适配。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚安装机构，其特征在于，两个拉杆（23）相互远离的一端均固定安装有把手（11），且把手（11）位于第一安装座（3）的外侧。