CN208385364U - 一种晶圆生产用自动加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆生产用自动加工装置，包括支撑组件、旋转组件和传输组件，所述支撑组件包括底座、第一轨道、第二轨道、第一固定座、第二固定座、安装柱和第一连接柱，所述底座的上表面中间位置处设有所述安装柱，所述安装柱与所述底座固定连接，所述底座的上表面右侧设有所述第一轨道，所述第一轨道与所述底座固定连接；通过设置第一轨道和第二轨道，便于将晶圆自动导入，通过支撑板、第一旋转臂和第二旋转臂的旋转，便于将晶圆检测装置与晶圆的下一步工序丝网印刷自动相连接，大大提高了加工效率，减少人工操作，改善了原有的加工装置功能单一的情况，给使用人员带来其他方面的效益。

Description

一种晶圆生产用自动加工装置

技术领域

本实用新型属于晶圆加工装置技术领域，具体涉及一种晶圆生产用自动加工装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

原有的晶圆生产用加工装置中，晶圆检测装置与晶圆加工程序相分离，相机定位后没有与晶圆的下一步工序丝网印刷自动连接，大大降低了加工效率，增加人工操作程序，给使用人员带来诸多不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆生产用自动加工装置，以解决上述背景技术中提出原有的晶圆生产用加工装置中，晶圆检测装置与晶圆加工程序相分离，相机定位后没有与晶圆的下一步工序丝网印刷自动连接，大大降低了加工效率，增加人工操作程序，给使用人员带来诸多不便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆生产用自动加工装置，包括支撑组件、旋转组件和传输组件，所述支撑组件包括底座、第一轨道、第二轨道、第一固定座、第二固定座、安装柱和第一连接柱，所述底座的上表面中间位置处设有所述安装柱，所述安装柱与所述底座固定连接，所述底座的上表面右侧设有所述第一轨道，所述第一轨道与所述底座固定连接，所述底座的上表面左侧设有所述第二轨道，所述第二轨道与所述底座固定连接，所述第一轨道的顶端中间位置处设有所述第一固定座，所述第一固定座与所述第一轨道固定连接，所述第二轨道的顶端中间位置处设有所述第二固定座，所述第二固定座与所述第二轨道固定连接，所述第一连接柱位于所述第一固定座的上表面，且与所述第一固定座固定连接，所述，所述第二固定座的上表面设有第二连接柱，所述第二连接柱与所述第二固定座固定连接。

所述旋转组件包括支撑板、第二加工位、第一相机定位区、第一等待区、第二上下料区、第一加工位区、第二相机定位区、第一上下料区和第二等待区，所述安装柱的内部设有第一电机，所述第一电机与所述安装柱通过第一支撑杆固定连接，所述第一电机的输出端转动连接所述支撑板，所述支撑板的上表面下端设有所述第二加工位，所述第二加工位与所述支撑板固定连接，所述第一相机定位区位于所述支撑板的上表面下端靠近所述第二加工位的右端，且与所述支撑板固定连接，所述支撑板的上表面左侧设有所述第一等待区，所述第一等待区与所述支撑板固定连接，所述第二上下料区位于所述支撑板的上表面左侧靠近所述第一等待区的上端，且与所述支撑板固定连接，所述支撑板的上表面上端设有所述第一加工位区，所述第一加工位区与所述支撑板固定连接，所述第二相机定位区位于所述支撑板的上表面上端靠近所述第一加工位区的右端，且与所述支撑板固定连接，所述支撑板的上表面右侧设有所述第一上下料区，第一上下料区与所述支撑板固定连接，所述第二等待区位于所述支撑板的上表面右侧靠近所述第一上下料区的下端，且与所述支撑板固定连接，所述第一电机与外部电源电性连接。

所述传输组件包括第一传送带、第二传送带、第一旋转臂、第二旋转臂和第一安装板，所述第一轨道的内侧壁设有第一转轴，所述第一转轴与所述第一轨道固定连接，所述第一传送带与所述第一轨道通过所述第一转轴传动连接，所述第一轨道的左端设有第四电机，所述第四电机的输出端转动连接所述第一转轴，所述第一安装板位于所述第一传送带的上表面，且与所述第一传送带固定连接，所述第一连接柱的内部设有第二电机，所述第二电机与所述第一连接柱通过第二支撑杆固定连接，所述第二电机的输出端转动连接所述第一旋转臂，所述第二轨道的内侧壁设有第二转轴，所述第二转轴与所述第二轨道固定连接，所述第二传送带与所述第二轨道通过所述第二转轴传动连接，所述第二轨道的右端设有第五电机，所述第五电机的输出端转动连接所述第二转轴，所述第二传送带的上表面设有第二安装板，所述第二安装板与所述第二传送带固定连接，所述第二连接柱的内部设有第三电机，所述第三电机与所述第二连接柱通过第三支撑杆固定连接，所述第三电机的输出端转动连接所述第二旋转臂，所述第二电机、所述第三电机、所述第四电机和所述第五电机均与外部电源电性连接。

优选的，所述第一轨道和所述第二轨道的上表面左右两侧靠近所述第一安装板和所述第二安装板的上方均设有挡板，所述挡板均与所述第一轨道和所述第二轨道固定连接。

优选的，所述第一旋转臂和所述第二旋转臂形状均为菱形，所述第一旋转臂和所述第二旋转臂的上下左右端均设有吸盘，所述吸盘的数量为八个。

优选的，所述第一相机定位区和所述第二相机定位区的形状均为正方体，所述正方体的四个角的位置均设有四个相机。

优选的，所述底座的上表面中间位置处开设圆柱槽，所述安装柱的底端嵌于所述圆柱槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置第一轨道和第二轨道，便于将晶圆自动导入，通过支撑板、第一旋转臂和第二旋转臂的旋转，便于将晶圆检测装置与晶圆的下一步工序丝网印刷自动相连接，大大提高了加工效率，减少人工操作，改善了原有的加工装置功能单一的情况，给使用人员带来其他方面的效益。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中的第一连接柱右视图；

图3为本实用新型中的安装柱正视图；

图4为本实用新型中的第一传送带俯视图；

图中：10、支撑组件；11、底座；12、第一轨道；13、第二轨道；14、第一固定座；15、第二固定座；16、安装柱；17、第一连接柱；20、旋转组件；21、支撑板；22、第二加工位；23、第一相机定位区；24、第一等待区；25、第二上下料区；26、第一加工位区；27、第二相机定位区；28、第一上下料区；29、第二等待区；30、传输组件；31、第一传送带；32、第二传送带；33、第一旋转臂；34、第二旋转臂；35、第一安装板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆生产用自动加工装置，包括支撑组件10、旋转组件20和传输组件30，支撑组件10包括底座11、第一轨道12、第二轨道13、第一固定座14、第二固定座15、安装柱16和第一连接柱17，底座11的上表面中间位置处设有安装柱16，安装柱16与底座11固定连接，底座11的上表面右侧设有第一轨道12，第一轨道12与底座11固定连接，底座11的上表面左侧设有第二轨道13，第二轨道13与底座11固定连接，第一轨道12的顶端中间位置处设有第一固定座14，第一固定座14与第一轨道12固定连接，第二轨道13的顶端中间位置处设有第二固定座15，第二固定座15与第二轨道13固定连接，第一连接柱17位于第一固定座14的上表面，且与第一固定座14固定连接，第二固定座15的上表面设有第二连接柱，第二连接柱与第二固定座15固定连接。

旋转组件20包括支撑板21、第二加工位22、第一相机定位区23、第一等待区24、第二上下料区25、第一加工位区26、第二相机定位区27、第一上下料区28和第二等待区29，安装柱16的内部设有第一电机，第一电机与安装柱16通过第一支撑杆固定连接，第一电机的输出端转动连接支撑板21，支撑板21的上表面下端设有第二加工位22，第二加工位22与支撑板21固定连接，第一相机定位区23位于支撑板21的上表面下端靠近第二加工位22的右端，且与支撑板21固定连接，支撑板21的上表面左侧设有第一等待区24，第一等待区24与支撑板21固定连接，第二上下料区25位于支撑板21的上表面左侧靠近第一等待区24的上端，且与支撑板21固定连接，支撑板21的上表面上端设有第一加工位区26，第一加工位区26与支撑板21固定连接，第二相机定位区27位于支撑板21的上表面上端靠近第一加工位区26的右端，且与支撑板21固定连接，支撑板21的上表面右侧设有第一上下料区28，第一上下料区28与支撑板21固定连接，第二等待区29位于支撑板21的上表面右侧靠近第一上下料区28的下端，且与支撑板21固定连接，第一电机与外部电源电性连接。

传输组件30包括第一传送带31、第二传送带32、第一旋转臂33、第二旋转臂34和第一安装板35，第一轨道12的内侧壁设有第一转轴，第一转轴与第一轨道12固定连接，第一传送带31与第一轨道12通过第一转轴传动连接，第一轨道12的左端设有第四电机，第四电机的输出端转动连接第一转轴，第一安装板35位于第一传送带31的上表面，且与第一传送带31固定连接，第一连接柱17的内部设有第二电机，第二电机与第一连接柱17通过第二支撑杆固定连接，第二电机的输出端转动连接第一旋转臂33，第二轨道13的内侧壁设有第二转轴，第二转轴与第二轨道13固定连接，第二传送带32与第二轨道13通过第二转轴传动连接，第二轨道13的右端设有第五电机，第五电机的输出端转动连接第二转轴，第二传送带32的上表面设有第二安装板，第二安装板与第二传送带32固定连接，第二连接柱的内部设有第三电机，第三电机与第二连接柱通过第三支撑杆固定连接，第三电机的输出端转动连接第二旋转臂34，第二电机、第三电机、第四电机和第五电机均与外部电源电性连接。

本实施方案中，第一电机型号为Y355M2-2，第二电机型号为5IK120RGN-CF，第三电机型号为5IK120RGN-CF，第四电机型号为25W40W，第五电机型号为25W40W，第一电机、第二电机、第三电机、第四电机和第五电机分别与外部电源电性连接，底座11的左右两侧分别设有第二轨道13和第一轨道12，第四电机的输出端转动连接第一转轴，第五电机的输出端转动连接第二转轴，第一传送带31与第一轨道12通过第一转轴传动连接，第二传送带32与第二轨道13通过第二转轴传动连接，第一传送带31和第二传送带32的上表面分别设有第一安装板35和第二安装板，第一安装板35和第二安装板上均放置晶圆，将外部电源开启，带动第四电机和第五电机启动，从而带动第一传送带31和第二传送带32的传动，进而带动第一安装板35和第二安装板的滑动以及晶圆的导入，第一轨道12和第二轨道13的上表面左右两侧靠近第一安装板35和第二安装板的上方均设有挡板，便于固定晶圆位置，第一连接柱17的内部设有第二电机，第二连接柱的内部设有第三电机，第二电机的输出端转动连接第一旋转臂33，第三电机的输出端转动连接第二旋转臂34，外部电源带动第二电机和第三电机启动，从而带动第一旋转臂33逆时针旋转，第二旋转臂34顺时针旋转，安装柱16的内部设有第一电机，第一电机的输出端转动连接所述支撑板21，外部电源带动第一电机启动，从而带动支撑板21顺时针旋转，第一旋转臂33和第二旋转臂34的上下左右端均设有吸盘，通过第一旋转臂33和第二旋转臂34以及吸盘的作用将导入的晶圆移动至第一上下料区28和第二上下料区25上，再通过支撑板21顺时针旋转，使得位于第一上下料区28和第二上下料区25上的晶圆旋转至第一相机定位区23和第二相机定位区27，相机定位完成后，支撑板21再次顺时针旋转，使得晶圆移动至第一等待区24和第二等待区29，支撑板21再次旋转，使得晶圆移动至第一加工位区26和第二加工位22，加工完成后，通过支撑板21的旋转，使得晶圆再次移动至第一上下料区28和第二上下料区25，从而将晶圆卸下，通过第一轨道12和第二轨道13的装置以及支撑板21、第一旋转臂33和第二旋转臂34的旋转，便于将晶圆检测装置与晶圆的下一步工序丝网印刷相连接，大大提高了加工效率，减少人工操作。

进一步的，第一轨道12和第二轨道13的上表面左右两侧靠近第一安装板35和第二安装板的上方均设有挡板，挡板均与第一轨道12和第二轨道13固定连接。

本实施例中，通过第一轨道12和第二轨道13的上表面左右两侧所设的挡板，便于固定晶圆位置。

进一步的，第一旋转臂33和第二旋转臂34形状均为菱形，第一旋转臂33和第二旋转臂34的上下左右端均设有吸盘，吸盘的数量为八个。

本实施例中，通过吸盘的作用将晶圆从第一安装板35和第二安装板移动到第一上下料区28和第二上下料区25。

进一步的，第一相机定位区23和第二相机定位区27的形状均为正方体，正方体的四个角的位置均设有四个相机。

本实施例中，通过四个相机观察晶圆四个角的位置，从而精确确定晶圆的位置和倾斜角度。

进一步的，底座11的上表面中间位置处开设圆柱槽，安装柱16的底端嵌于圆柱槽内。

本实施例中，通过所开设的圆形槽，便于安装柱16稳定固定在底座11，从而支撑支撑板21的旋转。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，使用人员将自动加工装置搬到使用地点，将外部电源开启，外部电源带动第一电机、第二电机、第三电机、第四电机和第五电机启动，使用人员将晶圆放置到第一轨道12和第二轨道13上的第一安装板35和第二安装板上，通过第四电机和第五电机的输出端转动连接转轴，从而带动第一传送带31与第二传送带32的传动，便于将晶圆导入，第一轨道12和第二轨道13的上表面左右两侧靠近第一安装板35和第二安装板的上方均设有挡板，便于固定晶圆位置，第二电机的输出端转动连接第一旋转臂33，第三电机的输出端转动连接第二旋转臂34，从而带动第一旋转臂33逆时针旋转，第二旋转臂34顺时针旋转，第一旋转臂33和第二旋转臂34的上下左右端均设有吸盘，吸盘和旋转的作用将导入的晶圆移动至第一上下料区28和第二上下料区25上，第一电机带动支撑板21顺时针旋转，使得位于第一上下料区28和第二上下料区25上的晶圆旋转至第一相机定位区23和第二相机定位区27，相机定位完成后，支撑板21再次顺时针旋转，使得晶圆移动至第一等待区24和第二等待区29，支撑板21再次旋转，使得晶圆移动至第一加工位区26和第二加工位22，加工完成后，通过支撑板21的旋转，使得晶圆再次移动至第一上下料区28和第二上下料区25，从而将晶圆卸下，便于将晶圆检测装置与晶圆的下一步工序丝网印刷相连接，大大提高了加工效率，减少人工操作。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种晶圆生产用自动加工装置，其特征在于：包括支撑组件（10）、旋转组件（20）和传输组件（30），所述支撑组件（10）包括底座（11）、第一轨道（12）、第二轨道（13）、第一固定座（14）、第二固定座（15）、安装柱（16）和第一连接柱（17），所述底座（11）的上表面中间位置处设有所述安装柱（16），所述安装柱（16）与所述底座（11）固定连接，所述底座（11）的上表面右侧设有所述第一轨道（12），所述第一轨道（12）与所述底座（11）固定连接，所述底座（11）的上表面左侧设有所述第二轨道（13），所述第二轨道（13）与所述底座（11）固定连接，所述第一轨道（12）的顶端中间位置处设有所述第一固定座（14），所述第一固定座（14）与所述第一轨道（12）固定连接，所述第二轨道（13）的顶端中间位置处设有所述第二固定座（15），所述第二固定座（15）与所述第二轨道（13）固定连接，所述第一连接柱（17）位于所述第一固定座（14）的上表面，且与所述第一固定座（14）固定连接，所述，所述第二固定座（15）的上表面设有第二连接柱，所述第二连接柱与所述第二固定座（15）固定连接，

所述旋转组件（20）包括支撑板（21）、第二加工位（22）、第一相机定位区（23）、第一等待区（24）、第二上下料区（25）、第一加工位区（26）、第二相机定位区（27）、第一上下料区（28）和第二等待区（29），所述安装柱（16）的内部设有第一电机，所述第一电机与所述安装柱（16）通过第一支撑杆固定连接，所述第一电机的输出端转动连接所述支撑板（21），所述支撑板（21）的上表面下端设有所述第二加工位（22），所述第二加工位（22）与所述支撑板（21）固定连接，所述第一相机定位区（23）位于所述支撑板（21）的上表面下端靠近所述第二加工位（22）的右端，且与所述支撑板（21）固定连接，所述支撑板（21）的上表面左侧设有所述第一等待区（24），所述第一等待区（24）与所述支撑板（21）固定连接，所述第二上下料区（25）位于所述支撑板（21）的上表面左侧靠近所述第一等待区（24）的上端，且与所述支撑板（21）固定连接，所述支撑板（21）的上表面上端设有所述第一加工位区（26），所述第一加工位区（26）与所述支撑板（21）固定连接，所述第二相机定位区（27）位于所述支撑板（21）的上表面上端靠近所述第一加工位区（26）的右端，且与所述支撑板（21）固定连接，所述支撑板（21）的上表面右侧设有所述第一上下料区（28），第一上下料区（28）与所述支撑板（21）固定连接，所述第二等待区（29）位于所述支撑板（21）的上表面右侧靠近所述第一上下料区（28）的下端，且与所述支撑板（21）固定连接，所述第一电机与外部电源电性连接，

所述传输组件（30）包括第一传送带（31）、第二传送带（32）、第一旋转臂（33）、第二旋转臂（34）和第一安装板（35），所述第一轨道（12）的内侧壁设有第一转轴，所述第一转轴与所述第一轨道（12）固定连接，所述第一传送带（31）与所述第一轨道（12）通过所述第一转轴传动连接，所述第一轨道（12）的左端设有第四电机，所述第四电机的输出端转动连接所述第一转轴，所述第一安装板（35）位于所述第一传送带（31）的上表面，且与所述第一传送带（31）固定连接，所述第一连接柱（17）的内部设有第二电机，所述第二电机与所述第一连接柱（17）通过第二支撑杆固定连接，所述第二电机的输出端转动连接所述第一旋转臂（33），所述第二轨道（13）的内侧壁设有第二转轴，所述第二转轴与所述第二轨道（13）固定连接，所述第二传送带（32）与所述第二轨道（13）通过所述第二转轴传动连接，所述第二轨道（13）的右端设有第五电机，所述第五电机的输出端转动连接所述第二转轴，所述第二传送带（32）的上表面设有第二安装板，所述第二安装板与所述第二传送带（32）固定连接，所述第二连接柱的内部设有第三电机，所述第三电机与所述第二连接柱通过第三支撑杆固定连接，所述第三电机的输出端转动连接所述第二旋转臂（34），所述第二电机、所述第三电机、所述第四电机和所述第五电机均与外部电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用自动加工装置，其特征在于：所述第一轨道（12）和所述第二轨道（13）的上表面左右两侧靠近所述第一安装板（35）和所述第二安装板的上方均设有挡板，所述挡板均与所述第一轨道（12）和所述第二轨道（13）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用自动加工装置，其特征在于：所述第一旋转臂（33）和所述第二旋转臂（34）形状均为菱形，所述第一旋转臂（33）和所述第二旋转臂（34）的上下左右端均设有吸盘，所述吸盘的数量为八个。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用自动加工装置，其特征在于：所述第一相机定位区（23）和所述第二相机定位区（27）的形状均为正方体，所述正方体的四个角的位置均设有四个相机。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用自动加工装置，其特征在于：所述底座（11）的上表面中间位置处开设圆柱槽，所述安装柱（16）的底端嵌于所述圆柱槽内。