CN208372847U - 一种刻蚀液配料罐 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种刻蚀液配料罐，包括罐体、电机、搅拌器、进料口、进液机构、出液口。在罐体内壁设有网状挡板，挡板上的网线可以对团块进行切割，从而快速打散团块，利于溶解；在搅拌杆上上端和下端分别设有左旋叶片和右旋叶片，由于上下叶片的方向不一样，在不需要增加电机的情况下，实现对液体往上和往下的推力；进液机构上有三个进液口，每个进液口都带有流量控制阀，可以同时添加不同的液体，而且流量控制阀还可以根据预设的加液量进行精确控制；罐体底部设有滤网，出液口位于滤网的下方，保证出液口流出的液体干净无杂质。

Description

一种刻蚀液配料罐

技术领域

本实用新型涉及一种配料罐，具体涉及一种刻蚀液配料罐。

背景技术

刻蚀技术是在半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。刻蚀分为湿法刻蚀和干法刻蚀，湿法刻蚀是最普遍、成本最低的刻蚀方法，因此刻蚀液在半导体生产工艺应用非常普遍。刻蚀液的生产过程中，配料是最关键的一道工序，配料工序大多在配料罐中完成。目前的配料罐因体积较大，一般存在搅拌不均匀的问题，有时溶液中还会存在杂质，现有的配料罐也没有考虑这个问题。

实用新型内容

本实用新型为了克服上述问题，设计一种刻蚀液配料罐。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种刻蚀液配料罐，包括罐体、电机、搅拌器、进料口、进液机构、出液口，其特征在于：

所述搅拌器包括搅拌杆、位于搅拌杆上端的左旋叶片、位于搅拌杆下端的右旋叶片；

所述罐体内壁上设有网状挡板，网状挡板与地面平行且位于左旋叶片和右旋叶片之间，网状挡板的网丝采用钢丝材质，钢丝直径0.3mm~0.5mm，网状挡板的网孔为正方形，网孔边长3cm~5cm；

所述罐体内右旋叶片的下方设有滤网；

所述电机安装于罐体顶部，搅拌器位于罐体内并与电机连接；

所述进料口位于罐体顶部电机的旁边，所述进液机构位于罐体顶部电机的另一边，进液机构包括三个进液口，每个进液口都带有流量控制阀。

进一步地，所述滤网的网孔为正方形网孔边长0.3mm~0.5mm。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

1、粉状物料与液体初接触时容易形成团块，仅靠搅拌叶片很难打散，本实用新型在罐体内壁设有网状挡板，挡板上的网丝采用较细的钢丝材质，钢丝可以对团块进行有效地切割，从而快速打散团块，利于溶解。

2、在搅拌杆上上端和下端分别设有左旋叶片和右旋叶片，由于上下叶片的方向不一样，在不需要增加电机的情况下，实现对液体往上和往下两个方向的推力，从而增强液体内部的交流，提高搅拌均匀的效率。

3、进液机构上有三个进液口，每个进液口都带有流量控制阀，可以同时添加不同的液体，而且流量控制阀还可以根据预设的加液量进行精确控制。

4、罐体底部设有滤网，出液口位于滤网的下方，保证出液口流出的液体干净无杂质。

附图说明

图1是本实用新型总体结构示意图。

其中，1-罐体，2-电机，31-搅拌杆，32-左旋叶片，33-右旋叶片，4-进料口，5-进液机构，6-网状挡板，7-滤网，8-出液口。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1所示，一种刻蚀液配料罐，包括罐体1、电机2、搅拌器、进料口4、进液机构5、出液口8，其特征在于：

所述搅拌器包括搅拌杆31、位于搅拌杆31上端的左旋叶片32、位于搅拌杆31下端的右旋叶片33；

所述罐体1内壁上设有网状挡板6，网状挡板6与地面平行且位于左旋叶片32和右旋叶片33之间，网状挡板6的网丝采用钢丝材质，钢丝直径0.3mm~0.5mm，网状挡板6的网孔为正方形，网孔边长3cm~5cm；

所述罐体1内右旋叶片33的下方设有滤网7；

所述电机2安装于罐体1顶部，搅拌器位于罐体1内并与电机2连接；

所述进料口4位于罐体1顶部电机2的旁边，所述进液机构5位于罐体1顶部电机2的另一边，进液机构5包括三个进液口，每个进液口都带有流量控制阀。

本实施例中，所述滤网7的网孔为正方形网孔边长0.3mm~0.5mm。

工作原理：本实用新型在使用时，通过进料口4将称重好的粉状物料投入罐体1中，然后通过进液机构5上的三个进液口同时添加不同的液体，流量控制阀则根据预设的加液量进行精确控制；启动电机2，电机2带动搅拌器转动，左旋叶片32将液体往下推，右旋叶片33将液体往上推，上下部的液体充分交流，同时，液体通过网状挡板6时，其中裹挟的团块被网丝切割，从而快速打散团块，利于溶解；搅拌均匀后，溶液经过滤网7后才进入出液口8，可以有效地滤除杂质。

Claims (2)

1.一种刻蚀液配料罐，包括罐体（1）、电机（2）、搅拌器、进料口（4）、进液机构（5）、出液口（8），其特征在于：

所述搅拌器包括搅拌杆（31）、位于搅拌杆（31）上端的左旋叶片（32）、位于搅拌杆（31）下端的右旋叶片（33）；

所述罐体（1）内壁上设有网状挡板（6），网状挡板（6）与地面平行且位于左旋叶片（32）和右旋叶片（33）之间，网状挡板（6）的网丝采用钢丝材质，钢丝直径0.3mm~0.5mm，网状挡板（6）的网孔为正方形，网孔边长3cm~5cm；

所述罐体（1）内右旋叶片（33）的下方设有滤网（7）；

所述电机（2）安装于罐体（1）顶部，搅拌器位于罐体（1）内并与电机（2）连接；

所述进料口（4）位于罐体（1）顶部电机（2）的旁边，所述进液机构（5）位于罐体（1）顶部电机（2）的另一边，进液机构（5）包括三个进液口，每个进液口都带有流量控制阀。

2.如权利要求1所述的一种刻蚀液配料罐，其特征在于：所述滤网（7）的网孔为正方形，网孔边长0.3mm~0.5mm。