CN208352257U - 一种承载机构、机械传送装置和真空设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种承载机构、机械传送装置和真空设备，解决了在承载过程中由于电荷的产生，承载工件表面积累过多的电荷，导致承载工件报废的问题。本实用新型一实施例提供的一种承载机构包括：承载台，用于承载工件；以及与所述承载台的表面电性连接的导电件，所述导电件接地。

Description

一种承载机构、机械传送装置和真空设备

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及一种承载机构、机械传送装置和真空设备。

背景技术

现有的工业化生产设备中经常包括一些承载机构，用于承载被加工的工件，并在工件的加工过程中提供支撑作用。随着工艺水平的不断提高，工件往往要经过多个加工过程，此时用于承载工件的承载机构就有可能被输送至不同的位置以分别完成该多个加工过程。

然而现有的承载机构大多仅能完成承载功能，当工件被输送至不同的加工位置时，工件和承载机构之间在摩擦力作用下会产生静电电荷，当静电累计过多时，会导致工件产生静电释放(ESD)，从而导致承载工件的报废。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种承载机构、机械传送装置和真空设备，解决了在承载过程中由于电荷的产生，承载工件表面积累过多的电荷，导致承载工件报废的问题。

本实用新型一实施例提供的一种承载机构包括：

承载台，用于承载工件；以及

与所述承载台的表面电性连接的导电件，所述导电件接地。

其中，所述导电件设置在所述承载台内部；以及

所述导电件的一端连接至所述承载台的表面，另一端接地。

其中，所述导电件采用金属材料制成。

其中，所述承载机构进一步包括：设置在所述承载台表面的至少一个托盘，

所述至少一个托盘与所述导电件电性连接。

其中，所述承载台的表面对应所述托盘的位置处设置有连通至所述导电件的开孔，所述开孔中设置有导电材料；以及

所述托盘通过所述开孔中的导电材料与所述导电件电性连接。

其中，所述承载台采用绝缘材料制成。

其中，所述工件为玻璃工件。

本实用新型一实施例还提供一种机械传送装置，包括：

如前任一所述的承载机构；以及

与所述承载机构连接的输送机构，构造为将所述承载机构输送至不同位置。

本实用新型一实施例还提供一种真空设备，包括：

至少两个相互连通的真空腔室；以及

如前所述的机械传送装置，其中所述机械传送装置进一步构造为将所述承载机构输送至不同的所述真空腔室。

其中，所述至少两个相互连通的真空腔室包括：

中心真空腔室；以及

设置在所述中心真空腔室周围且与所述中心真空腔室连通的至少一个周围真空腔室。

本实用新型实施例提供的一种承载机构、机械传送装置和真空设备，设置与承载台的表面电性连接的导电件，并将导电件接地。这样工件在随着承载台进行传送的过程中，由于摩擦力产生的电荷就会通过导电件释放到地，消除了工件和承载台之间的静电电荷，避免了工件产生静电释放，提高了工件在加工过程和运输过程中的可靠性。

附图说明

图1所示为本实用新型一实施例提供的一种承载机构的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1所示为本实用新型一实施例提供的一种承载机构的结构示意图。如图1所示，该承载机构包括：承载台102和与承载台102的表面电性连接的导电件103

承载台102，该承载台102用于承载需要加工的工件。应当理解，承载台102的具体形状可根据工件的形状做适应性调整。本实用新型对承载台102的具体形状结构不做限定。

本实用新型一实施例中，为了避免加工和运输的过程中产生电性短路风险承载机构的承载台102可采用绝缘材料(例如橡胶)制成。然而，本实用新型对承载台102的具体材质不做限定。

由此可见，本实用新型实施例提供的承载机构，设置了与承载台102的表面电性连接的导电件103，并将导电件103接地。这样工件在随着承载台102进行传送的过程中，由于摩擦力产生的电荷就会通过导电件103释放到地，消除了工件和承载台102之间的静电电荷，避免了工件产生静电释放，提高了工件在加工过程和运输过程中的可靠性。

在本实用新型一实施例中，导电件103可设置在承载台102内部。导电件103的一端连接至承载台102的表面，导电件103的一端接地。这样导电件103不会外露在承载台102的外部，可以直接将承载台102表面的电荷转移到地，防止承载台102和工件之间积累过多的静电电荷，导致工件因静电释放而报废。

应当理解，导电件103可以通过导电金属线或是其他导电材料与地相连，本实用新型对导电件103的接地方式不作限定。还应当理解，导电件103可以为一个或多个，本实用新型对导电件103的数量不作限定。

在本实用新型一实施例中，导电件103可采用金属材料制成，也可采用其他导电材料支持。本实用新型对导电件103的具体材质不作限定。

本实用新型一实施例中，为了便于一些加工场景的需求，也为了进一步避免工件在输送过程中破损，承载台102的表面还可进一步设置至少一个用于支撑工件的托盘101，该至少一个托盘101与导电件103电性连接。这样工件由于摩擦力在传输过程中产生的电荷会经托盘101和导电件103释放到地，减少了电荷对工件的损伤。

应当理解，该托盘101的形状也可根据工件的形状以及加工场景的需求而调整，本实用新型对该托盘101的形状不做限定。还应当理解，托盘101可为一个或多个，本实用新型对托盘101的数量不作限定。

本实用新型一实施例中，承载台102的表面上对应托盘101的位置处设置有开孔，每个开孔中都设置有导电材料104。托盘101和导电件103通过导电材料104进行电连接。托盘101上产生的静电通过导电材料104释放到导电件103，并进一步通过导电件103导到地端。

本实用新型一实施例中，承载工件可为玻璃工件等，本实用新型对具体的工件类型不作限定。

本实用新型还提供一种机械传送装置，包括：如前任一实施例的承载机构；以及与承载机构连接的输送机构，构造为将承载机构输送至不同位置。该输送机构可以具有伸缩、移动和输送等功能。传送机构通过伸缩功能将承载机构托起后，将承载功能移动输送到目标位置。

本实用新型还提供一种真空设备，包括：至少两个相互连通的真空腔室；以及如前的机械传送装置，其中机械传送装置进一步构造为将承载机构输送至不同的真空腔室。应当理解，该机械传送装置可包括一个控制器以控制输送机构将承载机构输送至不同的真空腔室，控制器内部的执行程序和参数可根据真空设备的实际结构而调整，在此不再赘述。

在本实用新型一实施例中该真空设备包括：中心真空腔室；以及设置在中心真空腔室周围且与中心真空腔室连通的至少一个周围真空腔室。此时机械传送装置可以构造为将承载机构从中心真空腔室向不同的周围真空腔室传送。具体而言，机械传送装置将带有工件的承载机构从中心真空腔室输送到目标的周围真空腔室，当完成在该目标的周围真空腔室的加工过程后，机械传送装置再将承载机构输送回中心真空腔室以输送至另一个周围真空腔室，直至完成所有周围真空腔室的加工过程。

应当理解，该周围真空腔室的数量可为一个或多个，本实用新型对周围真空腔室的数量不作限定。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种承载机构，其特征在于，包括：

承载台，用于承载工件；以及

与所述承载台的表面电性连接的导电件，所述导电件接地。

2.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，所述导电件设置在所述承载台内部；以及

所述导电件的一端连接至所述承载台的表面，另一端接地。

3.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，所述导电件采用金属材料制成。

4.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，进一步包括：设置在所述承载台表面的至少一个托盘，

所述至少一个托盘与所述导电件电性连接。

5.根据权利要求4所述的承载机构，其特征在于，所述承载台的表面对应所述托盘的位置处设置有连通至所述导电件的开孔，所述开孔中设置有导电材料；以及

所述托盘通过所述开孔中的导电材料与所述导电件电性连接。

6.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，所述承载台采用绝缘材料制成。

7.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，所述工件为玻璃工件。

8.一种机械传送装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至7中任一所述的承载机构；以及

与所述承载机构连接的输送机构，构造为将所述承载机构输送至不同位置。

9.一种真空设备，其特征在于，包括：

至少两个相互连通的真空腔室；以及

如权利要求8所述的机械传送装置，其中所述机械传送装置进一步构造为将所述承载机构输送至不同的所述真空腔室。

10.根据权利要求9所述的真空设备，其特征在于，所述至少两个相互连通的真空腔室包括：

中心真空腔室；以及

设置在所述中心真空腔室周围且与所述中心真空腔室连通的至少一个周围真空腔室。