CN208334910U - 一种用于极紫外光光刻机的基础座 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于极紫外光光刻机的基础座，本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，能满足极紫外光光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求，以及提供其配套设备的安装环境，确保了中国内陆地区在引进极紫外光光刻机的时候，能够提供极紫外光光刻机正常运行所需要的环境，从而保证了极紫外光光刻机的顺利引进以及安装运行，对中国内陆地区的整个电子厂特别是半导体厂，使其中国内陆地区整个行业的半导体产品制作工艺提升得到很好改善，并且同时也加速了中国内陆的半导体制造工艺达到国际水平的进程。

Description

一种用于极紫外光光刻机的基础座

技术领域

本实用新型涉及光刻机基础座技术领域，特别涉及一种用于极紫外光光刻机的基础座。

背景技术

在电子工业厂内特别是在半导体行业中，极紫外光光刻机是该行业中最为昂贵和最为精密的设备，也是半导体产品制造工艺水平高低决定性设备；该设备对安装条件极为严格；目前中国内陆的电子工业厂，特别是半导体厂，都还没有引进该设备。一方面是其价格及其昂贵以及目前中国内陆的半导体制造工艺无法达到，另外一方面目前中国内陆地区还没有能够提供给极紫外光光刻机设备来配套的极紫外光基础座供应商。从而导致中国内陆地区目前半导体制造工艺无法进一步提升，从而影响了国内的半导体行业整体制造工艺的提升，同时也严重的影响了中国内陆地区的半导体制造水平达到国际顶端制造工艺的进程。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题，而提供一种用于极紫外光光刻机的基础座。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种技术方案：一种用于极紫外光光刻机的基础座，包括基础座本体、晶圆处理单元基础座、主体单元基础座一、主体单元基础座二、光源基础座和周边配件钢框，所述晶圆处理单元基础座、主体单元基础座一、主体单元基础座二、光源基础座和周边配件钢框依次设置在基础座本体中；所述晶圆处理单元基础座的具体结构为：包括晶圆处理单元基础座防震脚配件A、晶圆处理单元基础座面体、晶圆处理单元基础座防震脚配件B、晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢、晶圆处理单元基础座侧面连接板和晶圆处理单元基础座钢构底座体；所述晶圆处理单元基础座面体固定连接在晶圆处理单元基础座钢构底座体的上端；所述晶圆处理单元基础座面体上表面上分别设有一个晶圆处理单元基础座防震脚配件A和晶圆处理单元基础座防震脚配件B；所述晶圆处理单元基础座面体四周外侧表面上端均固定连接有一个晶圆处理单元基础座侧面连接板；所述晶圆处理单元基础座面体四周外侧表面中端上均固定连接有一个晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢；所述主体单元基础座一的具体结构为：包括主体单元基础座一防震脚配件A、主体单元基础座一防震脚配件B、主体单元基础座一侧面连接板、主体单元基础座一内嵌配件C型钢、主体单元基础座一钢构底座体和主体单元基础座一面体；所述主体单元基础座一面体固定连接在主体单元基础座一钢构底座体上表面；所述主体单元基础座一面体上表面上分别设有两个主体单元基础座一防震脚配件A和一个主体单元基础座一防震脚配件B，两个所述主体单元基础座一防震脚配件A位于主体单元基础座一防震脚配件B的两侧；所述主体单元基础座一钢构底座体四周外侧表面上端均固定连接有一个主体单元基础座一侧面连接板；所述主体单元基础座一钢构底座体四周外侧表面中端均固定连接有一个主体单元基础座一内嵌配件C型钢；所述主体单元基础座二的具体结构为：包括主体单元基础座二主面体、主体单元基础座二辅面体、主体单元基础座二侧面连接板、主体单元基础座二内嵌配件C型钢和主体单元基础座二钢构底座体；所述主体单元基础座二辅面体为两个，分别固定连接在主体单元基础座二主面体的两侧；所述主体单元基础座二钢构底座体固定连接在主体单元基础座二主面体和主体单元基础座二辅面体的下方；所述主体单元基础座二主面体和主体单元基础座二辅面体组合成的整体四周外表面上端均固定连接有一个主体单元基础座二侧面连接板；所述主体单元基础座二主面体和主体单元基础座二辅面体组合成的整体四周外表面中端上均固定连接有一个主体单元基础座二内嵌配件C型钢。

作为优选，所述基础座本体、晶圆处理单元基础座、主体单元基础座一、主体单元基础座二之间的具体连接关系为：所述晶圆处理单元基础座通过晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢和晶圆处理单元基础座侧面连接板连接在基础座本体中；所述主体单元基础座一通过主体单元基础座一侧面连接板和主体单元基础座一内嵌配件C型钢连接在基础座本体中；所述主体单元基础座二通过主体单元基础座二侧面连接板和主体单元基础座二内嵌配件C型钢连接在基础座本体中。

本实用新型的有益效果：本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，能满足极紫外光光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求，以及提供其配套设备的安装环境，确保了中国内陆地区在引进极紫外光光刻机的时候，能够提供极紫外光光刻机正常运行所需要的环境，从而保证了极紫外光光刻机的顺利引进以及安装运行，对中国内陆地区的整个电子厂特别是半导体厂，使其中国内陆地区整个行业的半导体产品制作工艺提升得到很好改善，并且同时也加速了中国内陆的半导体制造工艺达到国际水平的进程。

附图说明

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为光刻机基础座平面示意图。

图2为光刻机基础座示意图。

图3为晶圆处理单元基础座示意图。

图4为晶圆处理单元基础座面体示意图。

图5为晶圆处理单元基础座钢构底座体。

图6为主体单元基础座一示意图。

图7为主体单元基础座一面体示意图。

图8为主体单元基础座一钢构底座体。

图9为主体单元基础座二示意图。

图10为主体单元基础座二主面体和辅面体示意图。

图11为主体单元基础座二钢构底座体。

图12为光刻机基础座主要防震脚孔定位示意图。

具体实施方式

如图1至图12所示，本具体实施方式采用以下技术方案：一种用于极紫外光光刻机的基础座，包括基础座本体1、晶圆处理单元基础座2、主体单元基础座一3、主体单元基础座二4、光源基础座5和周边配件钢框6，所述晶圆处理单元基础座2、主体单元基础座一3、主体单元基础座二4、光源基础座5和周边配件钢框6依次设置在基础座本体1中；所述晶圆处理单元基础座2的具体结构为：包括晶圆处理单元基础座防震脚配件A21、晶圆处理单元基础座面体22、晶圆处理单元基础座防震脚配件B23、晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢24、晶圆处理单元基础座侧面连接板25和晶圆处理单元基础座钢构底座体26；所述晶圆处理单元基础座面体22固定连接在晶圆处理单元基础座钢构底座体26的上端；所述晶圆处理单元基础座面体22上表面上分别设有一个晶圆处理单元基础座防震脚配件A21和晶圆处理单元基础座防震脚配件B23；所述晶圆处理单元基础座面体22四周外侧表面上端均固定连接有一个晶圆处理单元基础座侧面连接板25；所述晶圆处理单元基础座面体22四周外侧表面中端上均固定连接有一个晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢24；所述主体单元基础座一3的具体结构为：包括主体单元基础座一防震脚配件A31、主体单元基础座一防震脚配件B32、主体单元基础座一侧面连接板33、主体单元基础座一内嵌配件C型钢34、主体单元基础座一钢构底座体35和主体单元基础座一面体36；所述主体单元基础座一面体36固定连接在主体单元基础座一钢构底座体35上表面；所述主体单元基础座一面体36上表面上分别设有两个主体单元基础座一防震脚配件A31和一个主体单元基础座一防震脚配件B32，两个所述主体单元基础座一防震脚配件A31位于主体单元基础座一防震脚配件B32的两侧；所述主体单元基础座一钢构底座体35四周外侧表面上端均固定连接有一个主体单元基础座一侧面连接板33；所述主体单元基础座一钢构底座体35四周外侧表面中端均固定连接有一个主体单元基础座一内嵌配件C型钢34；所述主体单元基础座二4的具体结构为：包括主体单元基础座二主面体41、主体单元基础座二辅面体42、主体单元基础座二侧面连接板43、主体单元基础座二内嵌配件C型钢44和主体单元基础座二钢构底座体45；所述主体单元基础座二辅面体42为两个，分别固定连接在主体单元基础座二主面体41的两侧；所述主体单元基础座二钢构底座体45固定连接在主体单元基础座二主面体41和主体单元基础座二辅面体42的下方；所述主体单元基础座二主面体41和主体单元基础座二辅面体42组合成的整体四周外表面上端均固定连接有一个主体单元基础座二侧面连接板43；所述主体单元基础座二主面体41和主体单元基础座二辅面体42组合成的整体四周外表面中端上均固定连接有一个主体单元基础座二内嵌配件C型钢44。

其中，所述基础座本体1、晶圆处理单元基础座2、主体单元基础座一3、主体单元基础座二4之间的具体连接关系为：所述晶圆处理单元基础座2通过晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢24和晶圆处理单元基础座侧面连接板25连接在基础座本体1中；所述主体单元基础座一3通过主体单元基础座一侧面连接板33和主体单元基础座一内嵌配件C型钢34连接在基础座本体1中；所述主体单元基础座二4通过主体单元基础座二侧面连接板43和主体单元基础座二内嵌配件C型钢44连接在基础座本体1中。

本实用新型的生产制造流程如下：参见图3和图4所示，进行制作晶圆处理单元基础座面体22的模具，模具中需留意晶圆处理单元基础座防震脚配件位置，确保其配件能正确和准确安装；在晶圆处理单元基础座面体22模具基础上进行内嵌钢筋以及周边侧板焊接，同时依据进行其配套的C型钢以及周边连接板焊接，以及在晶圆处理单元基础座面体22对应防震脚位置预埋铁块。然后在模具中进行适当等级的水泥混凝土灌浆，并且对其进行28天的养护。

参见图3和图4所示，在晶圆处理单元基础座基础面体对应位置进行晶圆处理单元基础座防震脚配件安装，确保其配件被牢牢锁紧，其中晶圆处理单元基础座防震脚配件材质需为不锈钢；对晶圆处理单元基础座面体22上对应防震脚孔位位置进行攻牙；

对晶圆处理单元基础座基础面体进行侧面面涂，以及表面进行环氧层和/或防静电层处理。

参见图5所示，进行晶圆处理单元基础座钢构底座体26制作，之后需对其底座需进行充沙烤漆处理；

参见图3所示，采用螺栓或者粘合剂进行晶圆处理单元基础座面体22和晶圆处理单元基础座钢构底座体26连接；确保两者牢牢的连接在一起；

参见图6，图7以及图8所示，采取同样上述的制作工艺，进行相应的主体单元基础座一3制作并且确保其面体和钢构底座牢牢连接在一起；

参见图9，图10以及图11所示，采取同样上述的制作工艺，进行相应的主体单元基础座二4制作并且确保其面体和钢构底座牢牢连接在一起；

参见图1和图2所示，依据极紫外光光刻机基础座设计进行光源基础座5；

参见图1和图2所示，依据极紫外光光刻机基础座设计进行周边配件钢框焊接，拼接以及连接；

参见图1，图2和图12所示，依据极紫外光光刻机基础座设计进行晶圆处理单元基础座2，主体单元基础座一3，主体单元基础座二4，光源基础座5和周边配件钢框进行组装和连接，确保其主要的几个防震脚孔之间的相对位置满足极紫外光光刻机的技术要求；

结合图1至图12所示：本实施例所述的用于极紫外光光刻机基础座的制作工艺以及组装流程如下：

第一步：晶圆处理单元基础座2制作

首先按照设计要求进行制作晶圆处理单元基础座基础面体22的模具，模具中需留意晶圆处理单元基础座防震脚配件A和B的位置，确保其配件能正确安装；在晶圆处理单元基础座基础面体22的模具基础上进行内嵌钢筋以及周边侧板焊接，同时进行其配套的晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢24以及晶圆处理单元基础座基础侧面连接板25焊接,其中晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢24材质为不锈钢；并且在晶圆处理单元基础座面体22对应防震脚位置预埋铁块。然后在模具中进行适当等级的水泥混凝土灌浆，并且对其进行28天的养护。

然后在晶圆处理单元基础座基础面体22的对应位置进行晶圆处理单元基础座防震脚配件A和B安装，确保其配件被牢牢锁紧，其中晶圆处理单元基础座防震脚配件A和B材质均需为不锈钢；对晶圆处理单元基础座面体22其他防震脚孔位位置进行攻牙，开防震脚孔；对晶圆处理单元基础座基础面体22进行侧面面涂，以及上表面进行环氧层和/或防静电层处理。

进一步按照设计进行晶圆处理单元基础座钢构底座体26制作，之后需对其底座需进行充沙烤漆工艺处理；

最后采用螺栓或者粘合剂进行晶圆处理单元基础座面体22和晶圆处理单元基础座钢构底座体26连接；确保两者牢牢的连接在一起；

第二步：主体单元基础座一3制作

首先按照设计要求进行制作主体单元基础座一面体36的模具，模具中需留意主体单元基础座一防震脚配件A和B的位置，确保其配件能正确准确安装；在主体单元基础座一基础面体36的模具基础上进行内嵌钢筋以及周边侧板焊接，同时进行其配套的主体单元基础座一内嵌配件C型钢34以及主体单元基础座一基础侧面连接板33焊接，其中主体单元基础座一内嵌配件C型钢24材质为不锈钢；以及在主体单元基础座一面体36对应防震脚位置预埋铁块。然后在模具中进行适当等级的水泥混凝土灌浆，并且对其进行28天的养护。

然后在主体单元基础座一基础面体36的对应位置进行主体单元基础座一防震脚配件A和B安装，确保其配件被牢牢锁紧，其中主体单元基础座一防震脚配件A和B材质均需为不锈钢；以及对主体单元基础座一面体36上其他防震脚孔位位置进行攻牙，开防震脚孔；对主体单元基础座一基础面体36进行侧面面涂，以及上表面进行环氧层和/或防静电层处理。

进一步按照设计进行主体单元基础座一钢构底座体35制作，之后需对其底座需进行充沙烤漆工艺处理；

最后采用螺栓或者粘合剂进行主体单元基础座一面体36和主体单元基础座一钢构底座体35连接；确保两者牢牢的连接在一起；

第三步：主体单元基础座二4制作

首先按照设计要求进行制作主体单元基础座二主面体41和主体单元基础座二辅面体42的模具；在主体单元基础座一基础主面体41和主体单元基础座二辅面体42的模具基础上进行内嵌钢筋以及周边侧板焊接，同时进行其配套的主体单元基础座二内嵌配件C型钢44以及主体单元基础座二侧面连接板43焊接，其中主体单元基础座二内嵌配件C型钢24材质为不锈钢；以及在主体单元基础座二主面体41和主体单元基础座二辅面体42对应防震脚位置预埋铁块。然后在模具中进行适当等级的水泥混凝土灌浆，并且对其进行28天的养护。

然后在主体单元基础座二主面体41和主体单元基础座二辅面体42的其他防震脚位置进行攻牙，开防震脚孔；对主体单元基础座一基础主面体41和主体单元基础座二辅面体42进行侧面面涂，以及上表面进行环氧层和/或防静电层处理。

进一步按照设计进行主体单元基础座二钢构底座体45制作，之后需对其底座需进行充沙烤漆工艺处理；

最后采用螺栓或者粘合剂进行主体单元基础座二主面体41和主体单元基础座二辅面体42和主体单元基础座二钢构底座体45连接；确保两者牢牢的连接在一起；

第四步：依据极紫外光光刻机基础座设计进行光源基础座5制作

第五步：依据极紫外光光刻机基础座设计进行周边配件钢框6焊接，拼接以及连接；

第六步，依据极紫外光光刻机基础座设计进行晶圆处理单元基础座2，主体单元基础座一3，主体单元基础座二4，光源基础座5和周边配件钢框6进行组装和连接，确保其重要的几个防震脚孔位之间的相对位置如下表所示：

从而完成本实用新型所述极紫外光基础座的制作以及组装流程。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (2)

1.一种用于极紫外光光刻机的基础座，其特征在于：包括基础座本体(1)、晶圆处理单元基础座(2)、主体单元基础座一(3)、主体单元基础座二(4)、光源基础座(5)和周边配件钢框(6)，所述晶圆处理单元基础座(2)、主体单元基础座一(3)、主体单元基础座二(4)、光源基础座(5)和周边配件钢框(6)依次设置在基础座本体(1)中；

所述晶圆处理单元基础座(2)的具体结构为：包括晶圆处理单元基础座防震脚配件A(21)、晶圆处理单元基础座面体(22)、晶圆处理单元基础座防震脚配件B(23)、晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢(24)、晶圆处理单元基础座侧面连接板(25)和晶圆处理单元基础座钢构底座体(26)；所述晶圆处理单元基础座面体(22)固定连接在晶圆处理单元基础座钢构底座体(26)的上端；所述晶圆处理单元基础座面体(22)上表面上分别设有一个晶圆处理单元基础座防震脚配件A(21)和晶圆处理单元基础座防震脚配件B(23)；所述晶圆处理单元基础座面体(22)四周外侧表面上端均固定连接有一个晶圆处理单元基础座侧面连接板(25)；所述晶圆处理单元基础座面体(22)四周外侧表面中端上均固定连接有一个晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢(24)；

所述主体单元基础座一(3)的具体结构为：包括主体单元基础座一防震脚配件A(31)、主体单元基础座一防震脚配件B(32)、主体单元基础座一侧面连接板(33)、主体单元基础座一内嵌配件C型钢(34)、主体单元基础座一钢构底座体(35)和主体单元基础座一面体(36)；所述主体单元基础座一面体(36)固定连接在主体单元基础座一钢构底座体(35)上表面；所述主体单元基础座一面体(36)上表面上分别设有两个主体单元基础座一防震脚配件A(31)和一个主体单元基础座一防震脚配件B(32)，两个所述主体单元基础座一防震脚配件A(31)位于主体单元基础座一防震脚配件B(32)的两侧；所述主体单元基础座一钢构底座体(35)四周外侧表面上端均固定连接有一个主体单元基础座一侧面连接板(33)；所述主体单元基础座一钢构底座体(35)四周外侧表面中端均固定连接有一个主体单元基础座一内嵌配件C型钢(34)；

所述主体单元基础座二(4)的具体结构为：包括主体单元基础座二主面体(41)、主体单元基础座二辅面体(42)、主体单元基础座二侧面连接板(43)、主体单元基础座二内嵌配件C型钢(44)和主体单元基础座二钢构底座体(45)；所述主体单元基础座二辅面体(42)为两个，分别固定连接在主体单元基础座二主面体(41)的两侧；所述主体单元基础座二钢构底座体(45)固定连接在主体单元基础座二主面体(41)和主体单元基础座二辅面体(42)的下方；所述主体单元基础座二主面体(41)和主体单元基础座二辅面体(42)组合成的整体四周外表面上端均固定连接有一个主体单元基础座二侧面连接板(43)；所述主体单元基础座二主面体(41)和主体单元基础座二辅面体(42)组合成的整体四周外表面中端上均固定连接有一个主体单元基础座二内嵌配件C型钢(44)。

2.根据权利要求1所述的一种用于极紫外光光刻机的基础座，其特征在于：所述基础座本体(1)、晶圆处理单元基础座(2)、主体单元基础座一(3)、主体单元基础座二(4)之间的具体连接关系为：

所述晶圆处理单元基础座(2)通过晶圆处理单元基础座内嵌配件C型钢(24)和晶圆处理单元基础座侧面连接板(25)连接在基础座本体(1)中；

所述主体单元基础座一(3)通过主体单元基础座一侧面连接板(33)和主体单元基础座一内嵌配件C型钢(34)连接在基础座本体(1)中；

所述主体单元基础座二(4)通过主体单元基础座二侧面连接板(43)和主体单元基础座二内嵌配件C型钢(44)连接在基础座本体(1)中。