CN208334907U - 一种太阳能曝光机框架ccd定位装置 - Google Patents
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- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种太阳能曝光机框架CCD定位装置，包括相机部分，气缸部分，相机部分包括CD相机，CCD镜头，环形视觉光源，环形视觉光源上部分设置红外灯束，CCD相机上部分与CCD镜头连接，CCD相机通过相机固定板固定在相机调节板上，相机调节板固定在小面板上，所述气缸部分包括升降气缸，浮动接头通过连接件固定在小面板上，小面板固定在滑块上，滑块沿着滑轨升降滑动，所述相机部分和气缸部分随着滑块沿着滑轨上下滑动，通过CCD定位装置抓取台框上的定位点，反馈对位偏差，通过伺服电机驱动台框完成台框的高精度定位，相比较传统的机械定位精度更高，速度更快，且没有定位磨损的情况，减少人工干预,提高了机器的稳定工作周期。
Description
技术领域
本实用新型属于曝光机领域，尤其涉及一种太阳能曝光机框架CCD定位装置。
背景技术
曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。曝光机是20 世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来，70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。
在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。
现有的曝光机在曝光之前，通过CCD检测上下底片的位置，PCB 板与底片的位置，将位置信息上传至工控机，通过工控机计算位置偏 差，下传至控制系统驱动各个对位系统移动。
在申请号为：CN201320879806.3，申请日为:20131230名称为： 半自动LED曝光机CCD光学监视系统的专利中，公开了一种半自动LED曝光机CCD光学监视系统，包括基座固定码和固定于基座固定码上的基座，所述基座的四个角上分别设置有CCD镜头，每个CCD镜头独立设置于移动板上，分别由X轴电机和X轴丝杆、Y轴电机和Y轴丝杆带动在X轴方向和Y轴方向上调整，由升降气缸带动上下位置调整，此实用新型的半自动LED曝光机CCD光学监视系统能根据PCB板和菲林底片的情况，自动调整CCD镜头的成像位置，实现清晰成像，为纠偏对位系统提供可靠的位置成像数据。
发明内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种太阳能曝光机框架CCD定位装置。
本实用新型的的目的可以通过以下技术方案来实现：
一种太阳能曝光机框架CCD定位装置，包括相机部分，气缸部分，
所述相机部分：
包括CCD相机1，CCD镜头2，环形视觉光源3，大面板5，所述CCD相机1上部分与所述CCD镜头2连接，所述CCD镜头2穿过相机固定板6，所述相机固定板6上部固定光源调节板7，所述CCD镜头2上方固定一个光源固定板8，所述光源固定板8固定在光源调节板7上，所述环形视觉光源3底部安装固定在光源固定板8上，所述环形视觉光源3上部分设置红外灯束13；
所述CCD相机1通过相机固定板6固定在相机调节板9上，所述相机调节板9固定在小面板10上，所述小面板10固定在滑块12上，所述滑块12沿着滑轨11升降滑动，所述滑轨11固定在所述大面板5正面左侧；
所述气缸部分：
包括升降气缸4：所述升降气缸4上端穿过气缸支撑座401，所述气缸支撑座401固定在大面板5正面右侧中间部位， 所述升降气缸4上端与浮动接头402下端相连接，所述浮动接头402上端穿过连接件403，所述连接件403一侧固定在小面板10一侧；
所述相机部分和气缸部分随着滑块12沿着滑轨11上下滑动。
其中，所述CCD镜头2感应框架的位置，抓取台框上的定位点，反馈对位偏差，光源调节板7和光源固定板8互相配合以调节镜头的位置以及距离，环形视觉光源3的设置可以增强相机的光强，红外灯束13在这里起到打光的作用。
升降气缸4作为驱动设备，通过连接件403带动小面板10上下滑动，小面板10联动着滑块12上下滑动，滑块12沿着滑轨11上下滑动。
优选的，所述光源调节板7为U字型板，所述光源调节板7的中间板固定在相机固定板6上，所述光源调节板7两边的板与光源固定板8相固定。
优选的，所述光源固定板8为U字型板，所述光源固定板8的中间板与环形视觉光源3底部相固定，所述光源固定板8两边的板与光源调节板7两边的板相固定。
优选的，所述滑轨11为方型长条，所述滑块12为方型块状，所述滑块12一面设有凹槽，所述滑轨11与滑块12的凹槽相配合滑动。
优选的，所述红外灯束13由长条形红外线灯组成，所述长条形红外线灯设置若干个。
优选的，所述大面板5和小面板10为铝板。
优选的，所述连接件403为L型连接件。
本实用新型的有益效果;
通过CCD定位装置抓取台框上的定位点，反馈对位偏差，通过伺服电机驱动台框完成台框的高精度定位，相比较传统的机械定位精度更高，速度更快，且没有定位磨损的情况，减少人工干预,提高了机器的稳定工作周期。
附图说明
图1为一种太阳能曝光机框架CCD定位装置的结构示意图。
图中：1-CCD相机；2-CCD镜头；3-环形视觉光源；4-大面板；5-大面板；6-相机固定板；7-光源调节板；8-光源固定板；9-相机调节板；10-小面板；12-滑块；13-红外灯束；401-气缸支撑座；402-浮动接头；403-连接件。
图2为一种太阳能曝光机框架CCD定位装置的左侧视结构示意图。
图中：1-CCD相机；5-大面板；6-相机固定板；9-相机调节板；10-小面板；11-滑轨；12-滑块。
具体实施方式
结合附图1和附图2所示，本实用新型的技术方案作进一步的描述：
实施例一：
一种太阳能曝光机框架CCD定位装置，包括相机部分，气缸部分，
所述相机部分：
包括CCD相机1，CCD镜头2，环形视觉光源3，大面板5，所述CCD相机1上部分与所述CCD镜头2连接，所述CCD镜头2穿过相机固定板6，所述相机固定板6上部固定光源调节板7，所述CCD镜头2上方固定一个光源固定板8，所述光源固定板8固定在光源调节板7上，所述环形视觉光源3底部安装固定在光源固定板8上，所述环形视觉光源3上部分设置红外灯束13；
所述CCD相机1通过相机固定板6固定在相机调节板9上，所述相机调节板9固定在小面板10上，所述小面板10固定在滑块12上，所述滑块12沿着滑轨11升降滑动，所述滑轨11固定在所述大面板5正面左侧；
所述气缸部分：
包括升降气缸4：所述升降气缸4上端穿过气缸支撑座401，所述气缸支撑座401固定在大面板5正面右侧中间部位， 所述升降气缸4上端与浮动接头402下端相连接，所述浮动接头402上端穿过连接件403，所述连接件403一侧固定在小面板10一侧；
所述相机部分和气缸部分随着滑块12沿着滑轨11上下滑动。
所述红外灯束13由长条形红外线灯组成，述长条形红外线灯设置若干个。
其中，所述CCD镜头2感应框架的位置，抓取台框上的定位点，反馈对位偏差，光源调节板7和光源固定板8互相配合以调节镜头的位置以及距离，环形视觉光源3的设置可以增强相机的光强，红外灯束13在这里起到打光的作用。一旦镜头的位置和距离固定后，光源调节板7和光源固定板8的相互之间的距离以及连接位置即固定。
升降气缸4作为驱动设备，通过连接件403带动小面板10上下滑动，小面板10联动着滑块12上下滑动，滑块12沿着滑轨11上下滑动。
所述光源调节板7和光源固定板8为U字型板，所述光源固定板8两边的板与光源调节板7两边的板相固定。光源调节板7和光源固定板8为U字型板的开口处相对，其中光源调节板7的中间板固定在相机固定板6上，光源固定板8的中间板与环形视觉光源3底部相固定。
所述滑轨11为方型长条，所述滑块12为方型块状，所述滑块12一面设有凹槽，所述滑轨11与滑块12的凹槽相配合滑动。
所述大面板5和小面板10为铝板。所述连接件403为L型连接件，其中短边
实施例二：
在实施例一的基础上，在所述滑块12凹槽内部设置滚珠，并且所用滚珠为钢珠。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明而非限制本实用新型的技术方案，尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本实用新型进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型的精神和范围，而所附权利要求意在涵盖落入本发明精神和范围中的这些修改或者等同替换。
Claims (7)
1.一种太阳能曝光机框架CCD定位装置，包括相机部分，气缸部分，其特征在于：
所述相机部分：
包括CCD相机（1），CCD镜头（2），环形视觉光源（3），大面板（5），所述CCD相机（1）上部分与所述CCD镜头（2）连接，所述CCD镜头（2）穿过相机固定板（6），所述相机固定板（6）上部固定光源调节板（7），所述CCD镜头（2）上方固定一个光源固定板（8），所述光源固定板（8）固定在光源调节板（7）上，所述环形视觉光源（3）底部安装固定在光源固定板（8）上，所述环形视觉光源（3）上部分设置红外灯束（13）；
所述CCD相机（1）通过相机固定板（6）固定在相机调节板（9）上，所述相机调节板（9）固定在小面板（10）上，所述小面板（10）固定在滑块（12）上，所述滑块（12）沿着滑轨（11）升降滑动，所述滑轨（11）固定在所述大面板（5）正面左侧；
所述气缸部分：
包括升降气缸（4）：所述升降气缸（4）上端穿过气缸支撑座（401），所述气缸支撑座（401）固定在大面板（5）正面右侧中间部位， 所述升降气缸（4）上端与浮动接头（402）下端相连接，所述浮动接头（402）上端穿过连接件（403），所述连接件（403）一侧固定在小面板（10）一侧；
所述相机部分和气缸部分随着滑块（12）沿着滑轨（11）上下滑动。
2.如权利要求1所述的CCD定位装置，其特征在于：所述光源调节板（7）为U字型板，所述光源调节板（7）的中间板固定在相机固定板（6）上，所述光源调节板（7）两边的板与光源固定板（8）相固定。
3.如权利要求2所述的CCD定位装置，其特征在于：所述光源固定板（8）为U字型板，所述光源固定板（8）的中间板与环形视觉光源（3）底部相固定，所述光源固定板（8）两边的板与光源调节板（7）两边的板相固定。
4.如权利要求1所述的CCD定位装置，其特征在于：所述滑轨（11）为方型长条，所述滑块（12）为方型块状，所述滑块（12）一面设有凹槽，所述滑轨（11）与滑块（12）的凹槽相配合滑动。
5.如权利要求1所述的CCD定位装置，其特征在于：所述红外灯束（13）由长条形红外线灯组成，所述长条形红外线灯设置若干个。
6.如权利要求1所述的CCD定位装置，其特征在于：所述大面板（5）和小面板（10）为铝板。
7.如权利要求1所述的CCD定位装置，其特征在于：所述连接件（403）为L型连接件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820452023.XU CN208334907U (zh) | 2018-04-01 | 2018-04-01 | 一种太阳能曝光机框架ccd定位装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820452023.XU CN208334907U (zh) | 2018-04-01 | 2018-04-01 | 一种太阳能曝光机框架ccd定位装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208334907U true CN208334907U (zh) | 2019-01-04 |
Family
ID=64780144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820452023.XU Expired - Fee Related CN208334907U (zh) | 2018-04-01 | 2018-04-01 | 一种太阳能曝光机框架ccd定位装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208334907U (zh) |
-
2018
- 2018-04-01 CN CN201820452023.XU patent/CN208334907U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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