CN208334763U - 一种用于金相显微镜的微分干涉装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于金相显微镜的微分干涉装置，包括正交偏振部件和微分组件，正交偏振部件包括起偏镜、检偏镜、透反镜、上镜座和下镜座，微分组件包括微分干涉插板和干涉棱镜，上镜座的下端面为斜面，下镜座的上端面为斜面，上镜座的下端面与水平面的夹角和下镜座的上端面与水平面的夹角均为45度，上镜座的右侧设置有第一安装口，起偏镜设置在第一安装口内，下镜座的下侧设置有第二安装口，检偏镜设置在第二安装口内，上镜座和下镜座固定连接，上镜座的下端面正对下镜座的上端面，透反镜位于上镜座的下端面和下镜座的上端面之间且三者平行，透反镜固定设置在下镜座的上端面上；优点是不需要调整起偏镜或者检偏镜来使光束正交，使用方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种微分干涉装置，尤其是涉及一种用于金相显微镜的微分干涉装置。
背景技术
金相显微镜的微分干涉观察又称为DIC观察法，在工业上有着广泛的应用，如LCD行业TFT导电粒子的检查、电容式触摸屏的线路检查和磁头的检查等都是使用DIC观察法。
现有的用于金相显微镜的微分干涉装置通常包括正交偏振部件和微分组件，正交偏振部件包括起偏镜、检偏镜和透反镜，微分组件包括插接在物镜转换器上的微分干涉插板和安装在微分干涉插板上的干涉棱镜，照明光束经过起偏镜后变成圆偏振光，该圆偏振光随后经透反镜反射在干涉棱镜上，干涉棱镜将其分成两束具有微小夹角、振动方向相互垂直且振幅相等的偏振光，两束偏振光通过物镜后变成两束平行光入射到被测件表面后从被测表面反射回的两束正交偏振光再经原路返回，由干涉棱镜重新复合共线，经检偏镜后发生干涉，此时通过目镜可观察到干涉图像。
但是，现有的用于金相显微镜的微分干涉装置中，起偏镜和检偏镜中的一个被固定，另一个角度可调，用户需要调整角度可调的起偏镜或者检偏镜来使光束正交(即目镜视野为全黑)，这样增加了用户的操作程序，使用不便。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种不需要调整起偏镜或者检偏镜来使光束正交，使用方便的用于金相显微镜的微分干涉装置。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种用于金相显微镜的微分干涉装置，包括正交偏振部件和微分组件，所述的正交偏振部件包括起偏镜、检偏镜和透反镜，微分组件包括微分干涉插板和安装在所述的微分干涉插板上的干涉棱镜，所述的正交偏振部件还包括上镜座和下镜座，所述的上镜座的下端面为斜面，所述的下镜座的上端面为斜面，所述的上镜座的下端面和所述的下镜座的上端面分别沿从左向右方向倾斜向下，所述的上镜座的下端面与水平面的夹角和所述的下镜座的上端面与水平面的夹角均为45度，所述的上镜座的右侧设置有第一安装口，所述的起偏镜固定设置在所述的第一安装口内，所述的下镜座的下侧设置有第二安装口，所述的检偏镜固定设置在所述的第二安装口内，所述的上镜座和所述的下镜座固定连接，所述的上镜座的下端面正对所述的下镜座的上端面，所述的透反镜位于所述的上镜座的下端面和所述的下镜座的上端面之间且三者平行，所述的透反镜固定设置在所述的下镜座的上端面上。
所述的透反镜通过硅胶固定在所述的下镜座的上端面上，所述的上镜座和所述的下镜座通过多个螺钉固定连接。该结构安装方式简单。
所述的起偏镜包括偏振片和λ/4片，所述的偏振片和所述的λ/4片胶合在一起，所述的偏振片的透振方向与所述的λ/4片的夹角为45度。
所述的微分组件还包括转盘、旋钮和皮带，所述的转盘位于所述的正交偏振部件下方，且以可转动方式安装在金相显微镜上，所述的旋钮固定设置在所述的微分干涉插板上，所述的旋钮通过所述的皮带和所述的转盘连接。该结构中，通过转动旋钮，可以通过皮带驱动转盘转动，而转盘转动后再次通过皮带带动微分干涉插板和干涉棱镜同步转动，由此可以调整干涉棱镜的位置，观察不同角度或方向的干涉图像，提高了观察的灵活性。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于通过设置上镜座和下镜座，上镜座的下端面为斜面，下镜座的上端面为斜面，上镜座的下端面和下镜座的上端面分别沿从左向右方向倾斜向下，上镜座的下端面与水平面的夹角和下镜座的上端面与水平面的夹角均为45度，上镜座的右侧设置有第一安装口，起偏镜固定设置在第一安装口内，下镜座的下侧设置有第二安装口，检偏镜固定设置在第二安装口内，上镜座和下镜座固定连接，上镜座的下端面正对下镜座的上端面，透反镜位于上镜座的下端面和下镜座的上端面之间且三者平行，透反镜固定设置在下镜座的上端面上，由此起偏镜和检偏镜在安装时就处于正交状态，在使用时不需要调整起偏镜或者检偏镜来使光束正交，使用方便。
附图说明
图1为本实用新型的正交偏振部件的结构示意图；
图2为本实用新型的正交偏振部件的立体图；
图3为本实用新型的微分组件的结构图一；
图4为本实用新型的微分组件的结构图二；
图5为本实用新型的起偏镜的结构图。
图6为本实用新型在金相显微镜中的位置示意图；
图7为本实用新型的光路图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
实施例一：如图所示，一种用于金相显微镜的微分干涉装置，包括正交偏振部件1和微分组件，正交偏振部件1包括起偏镜2、检偏镜3和透反镜4，微分组件包括微分干涉插板5和安装在微分干涉插板5上的干涉棱镜6，正交偏振部件1还包括上镜座7和下镜座8，上镜座7的下端面为斜面，下镜座8的上端面为斜面，上镜座7的下端面和下镜座8的上端面分别沿从左向右方向倾斜向下，上镜座7的下端面与水平面的夹角和下镜座8的上端面与水平面的夹角均为45度，上镜座7的右侧设置有第一安装口，起偏镜2固定设置在第一安装口内，下镜座8的下侧设置有第二安装口，检偏镜3固定设置在第二安装口内，上镜座7和下镜座8固定连接，上镜座7的下端面正对下镜座8的上端面，透反镜4位于上镜座7的下端面和下镜座8的上端面之间且三者平行，透反镜4固定设置在下镜座8的上端面上。
本实施例中，微分组件还包括转盘11、旋钮12和皮带，转盘11位于正交偏振部件1下方，且以可转动方式安装在金相显微镜上，旋钮12固定设置在微分干涉插板5上，旋钮12通过皮带和转盘11连接。
实施例二：本实施例与实施例一基本相同，区别仅在于：
本实施例中，透反镜4通过硅胶固定在下镜座8的上端面上，上镜座7和下镜座8通过多个螺钉固定连接。
本实施例中，起偏镜2包括偏振片9和λ/4片10，偏振片9和λ/4片10胶合在一起，偏振片9的透振方向与λ/4片10的夹角为45度。
本实施例的工作原理为：照明光束经过起偏镜2后变成圆偏振光，该圆偏振光随后经透反镜4反射在干涉棱镜4上，干涉棱镜4将其分成两束具有微小夹角、振动方向相互垂直且振幅相等的偏振光，两束偏振光通过物镜13后变成两束平行光入射到被测件表面后从被测表面反射回的两束正交偏振光再经原路返回，由干涉棱镜6重新复合共线，经检偏镜3后发生干涉，此时通过目镜可观察到干涉图像。
Claims (4)
1.一种用于金相显微镜的微分干涉装置，包括正交偏振部件和微分组件，所述的正交偏振部件包括起偏镜、检偏镜和透反镜，微分组件包括微分干涉插板和安装在所述的微分干涉插板上的干涉棱镜，其特征在于所述的正交偏振部件还包括上镜座和下镜座，所述的上镜座的下端面为斜面，所述的下镜座的上端面为斜面，所述的上镜座的下端面和所述的下镜座的上端面分别沿从左向右方向倾斜向下，所述的上镜座的下端面与水平面的夹角和所述的下镜座的上端面与水平面的夹角均为45度，所述的上镜座的右侧设置有第一安装口，所述的起偏镜固定设置在所述的第一安装口内，所述的下镜座的下侧设置有第二安装口，所述的检偏镜固定设置在所述的第二安装口内，所述的上镜座和所述的下镜座固定连接，所述的上镜座的下端面正对所述的下镜座的上端面，所述的透反镜位于所述的上镜座的下端面和所述的下镜座的上端面之间且三者平行，所述的透反镜固定设置在所述的下镜座的上端面上。
2.根据权利要求1所述的一种用于金相显微镜的微分干涉装置，其特征在于所述的透反镜通过硅胶固定在所述的下镜座的上端面上，所述的上镜座和所述的下镜座通过多个螺钉固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于金相显微镜的微分干涉装置，其特征在于所述的起偏镜包括偏振片和λ/4片，所述的偏振片和所述的λ/4片胶合在一起，所述的偏振片的透振方向与所述的λ/4片的夹角为45度。
4.根据权利要求1所述的一种用于金相显微镜的微分干涉装置，其特征在于所述的微分组件还包括转盘、旋钮和皮带，所述的转盘位于所述的正交偏振部件下方，且以可转动方式安装在金相显微镜上，所述的旋钮固定设置在所述的微分干涉插板上，所述的旋钮通过所述的皮带和所述的转盘连接。
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| CN114324360A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-12 | 深圳鼎晶科技有限公司 | 一种aoi压痕检测系统及方法 |
| CN114951037A (zh) * | 2022-04-13 | 2022-08-30 | 泉州师范学院 | 半导体晶粒四面同时等光程成像检测装置与方法 |
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