CN101059601A - 反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,它使中心测定仪内物镜焦点和被测球面反射的球心像点的重合调整变得更为简单便捷,使仪器的精度不确定性通过操作人员的调整得到校正。其技术方案为:调整方法包括:将大通量分划板替代工作分划板,放置在中心测定仪的聚光镜和分光棱镜之间,同时在中心测定仪的仪器焦点及被测面球心处放置适当密度的显影屏;调整所述中心测定仪,同时观察显影屏上的仪器焦点光斑和被测面反射像点光斑,如果两者重合则调整完成。本发明应用于反射式中心测定仪的反射像直接快速调整。

Description

反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法
技术领域
本发明涉及一种反射像直接快速调整方法,尤其涉及一种反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法。
背景技术
反射式中心测定仪是测量透镜及透镜组中心偏差的仪器,它是通过测量透镜或透镜组各个表面的球心反射像的跳动范围,来确定透镜及透镜组的中心偏差。
下面结合图1说明这种反射式中心测定仪的结构和工作原理。一般情况下,普通的反射式中心测定仪包括顺序安放的光源1、聚光镜2、工作分划板3、分光棱镜4,设置在分光棱镜4一侧且顺序排列的场镜分划板5、成像物镜6、CCD接收面7,设置在分光棱镜4另一侧且顺序排列的准直物镜8、辅助物镜9。被测件放置在辅助物镜9的下方。其中,工作分划板3采用的是暗场照明,通过该分划板的光线较小,一般可采用十字分划板。
光源1发出的光线经过聚光镜2照亮工作分划板3,工作分划板3位于准直物镜8的焦平面上,所以由工作分划板3出射的光线经分光棱镜4转折,并经过准直物镜8后,成平行光出射。平行光经辅助物镜9后,会聚于辅助物镜9的焦点A,然后投射到被测件的被测球面10上,当辅助物镜9的焦点A和被测球面10的球心像点B重合时,经被测球面10反射的光线将沿原光路返回,即被反射的光线经辅助物镜9和准直物镜8后,会聚于场镜分划板5,场镜分划板5再经过成像物镜6成像于CCD接收面7上,这时就可以从监视器(未图示)上看到场镜分划板5的标尺像和由被测球面10反射的球心像(即工作分划板3的像)。
被测件沿回转中心旋转,若被测透镜或透镜组存在中心偏,则其光轴必不与仪器的光轴重合,从监视器上就可以观察到十字分划像随被测件旋转而呈圆形轨迹移动,圆形轨迹的直径可由场镜分划板5的标尺读出,即为该面的中心偏数值。
但是在使用该仪器测量透镜或透镜组的中心偏时,使物镜焦点(或称系统焦点)A和被测球面10反射的球心像点B重合是操作者在调整仪器过程中的一个难题。①、如果物镜焦点A和球心像点B偏离较远(例如,球心像点B因为被测球面10偏移到虚线位置而偏离成B’),则偏离后的球心像点B’处于目镜6的视场外;②、物镜焦点A及球心像点B是理论计算值,其实际值与理论值的偏差以及空间值的测量问题往往使反射像无法成于系统焦面(场镜分划面)上,从而从RCD上就观察不到十字分划像,从而无法进行正常的测量操作。
解决上述问题的现有技术一般从硬件入手,在生产仪器时就严格保证仪器光轴与工作台面回转中心截面垂直,上下移动系统,搜索系统焦点A与球心像点B的重合点。但是这种解决方案①对仪器零部件及装配要求极高,生产成本极大,且在测量不同曲率半径时,仪器固有的误差对测量精度的影响无法确定;②工作台的局限性较大,适用性差,提高了生产成本;③重合点的盲目性使操作变得费时困难;④使用中的失调非操作人员能够校正复原,售后服务专业性强。
发明内容
本发明的目的在于解决上述问题,提供了一种反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,它使中心测定仪内物镜焦点和被测球面反射的球心像点的重合调整变得更为简单便捷,使仪器的精度不确定性通过操作人员的调整得到校正。
本发明的技术方案为:一种反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其中,所述快速调整方法包括:
将大通量分划板替代工作分划板,放置在所述中心测定仪的聚光镜和分光棱镜之间,同时在所述中心测定仪的仪器焦点及被测面球心处放置适当密度的显影屏;
调整所述中心测定仪,同时观察所述显影屏上的仪器焦点光斑和被测面反射像点光斑,如果两者重合则调整完成。
上述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其中,所述大通量分划板是保证相当光能量聚焦于仪器焦点及被测面反射像点的孔形分划板。
上述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其中,所述工作分划板是保证工业监视器显像清晰及大范围影象必需的线条适当粗细、列陈十字分划板。
上述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其中,所述显影屏是一适当密度及厚度的半透明磨砂玻璃。
上述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其中,所述大通量分划板和工作分划板设置在一分划板切换装置上,在调整反射像时将所述分划板切换装置切换到大通量分划板。
上述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其中,在反射像调整完成后用工作分划板重新替换大通量分划板。
上述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其中,在反射像调整完成后将分划板切换装置切换到工作分划板。
本发明中心测定仪的反射像直接快速调整方法对比现有技术有如下的有益效果:本发明通过大通量分划板使被测球面反射后的光斑能量得以增强,更优的是可以将大通量分划板和工作分划板设置在一块分划板切换装置上,便于两者的切换;通过在辅助物镜的焦点处(或称为仪器焦点)放置一适当厚度及密度的磨砂玻璃,使较强能量的光束经系统聚焦于该磨砂玻璃,且部分能量透过磨砂玻璃经被测球面反射后聚焦于球心点并成像于磨砂玻璃,通过工作台的调整,使被测反射面光轴与系统光轴重合。因此,本发明解决了一般显微系统照明强度与分化粗细影响成像清晰的矛盾,解决了反射面理论计算像点与实际像点偏差及系统焦点位置直观方便的调整问题,即寻像调整的快速实现。
附图说明
图1是现有技术反射式中心测定仪的结构和工作原理的示意图。
图2是本发明调整方法一个较佳实施例的示意图。
图3是本发明中分划板切换装置一个较佳实施例的结构图。
图4是本发明中小孔分划板实施例的平面示意图。
图5是本发明中十字分划板实施例的平面示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的描述。
图2示出了本发明方法的一个实施例。请参见图2,在反射式中心测定仪的反射像直接快速调整过程中,首先将大通量的分划板12代替图1中的工作分划板3,大通量分划板12的放置位置就是原来工作分划板3的位置,即中心测定仪的聚光镜2和分光棱镜4之间,同时在中心测定仪的辅助物镜9的焦点平面上放置一块磨砂玻璃11。此时,较强能量的光线通过辅助物镜9聚焦于焦点A,在磨砂玻璃11上形成一块光斑,同时部分光线透过磨砂玻璃11经被测球面10反射后聚焦于球心点B’,在磨砂玻璃11上形成另一块光斑。调整中心测定仪,同时观察磨砂玻璃11上两块光斑的位置,若两块光斑移动至重合(即B’移动至B点位置,与A点重合),则调整工作完成。在后续的中心偏测量过程中,用工作分划板3重新替换大通量分划板12。
本发明的发明点在于用大通量的分划板12代替图1中的工作分划板3,同时通过观察显影屏(在本实施例中是磨砂玻璃11)的光点位置来确定调整的效果。更优地,可以将大通量分划板和工作分划板设置在一个切换装置中,使用该分划板切换装置来代替工作分划板3。图3示出了这种分划板切换装置的结构,该装置的主体是一块分化板座21,板座21上并列设有小孔分划板23和十字分划板22。再结合图2,用该分划板切换装置去替换图1中的工作分划板3。在调整辅助物镜9的焦点A(也即仪器焦点)和被测球面10偏离后的球心像点B’的过程中,为了便于观察,将该分划板切换装置切换到小孔分划板23,加强形成于磨砂玻璃11上的像点B’的光斑能量。在调整完成后,再切换到十字分划板22,进行中心偏测量。为了使用方便,也可以在分划板切换装置上加装一个手柄24,便于移动该装置。
小孔分划板23属于大通量分划板,要求光线的通过量比较大,外形如图4所示,呈单个的圆形小孔状。十字分划板22属于工作分划板,采用的是暗场照明,阵列分布,要求光线的通过量比较小,外形如图5所示。
应理解,本发明的发明点在于在中心测定仪调整反射像时使用大通量分划板,而在后续的中心偏测量时使用工作分划板。为了使用上的方便,可以将大通量分划板和暗场照明的工作分划板设置在同一个部件(例如上述的分划板切换装置)中以方便相互之间的切换。而小孔分划板、十字分划板、分划板座的形状、小孔分划板和十字分划板在板座上的安装位置以及分划板切换装置在整个仪器中的装配结构都不影响本实用新型的保护范围。例如,可以用矩形、三角形等其他形状开孔的大通量分划板代替小孔分划板,或者用其他形状开孔的暗场照明的工作分划板来代替十字分划板22(比如用点状圆孔代替十字孔)。分划板和分划板座可以呈矩形、圆形、菱形等其他形状。分划板切换装置可以用类似抽屉式的装配结构安装在仪器中,也可以用类似转盘轮转的结构装配在仪器中。使用适当密度及厚度的显影屏于仪器焦点及反射球心点直接进行调整,而显影屏的形状、密度、厚度、材质均不影响本实用新型的保护范围,例如,用矩形、三角形等其他形状的显影屏,用纸质、塑料薄膜等不同的薄性半透明材料制作的显影屏,或用粗糙度为1.6、0.8、3.2等不同密度的显影屏。上述这些变化都不会影响本发明的保护范围。
上述实施例是提供给本领域普通技术人员来实现或使用本发明的,本领域普通技术人员可在不脱离本发明的发明思想的情况下,对上述实施例做出种种修改或变化,因而本发明的保护范围并不被上述实施例所限,而应该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。

Claims (7)

1一种反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其特征在于,所述快速调整方法包括:
将大通量分划板替代工作分划板,放置在所述中心测定仪的聚光镜和分光棱镜之间,同时在所述中心测定仪的仪器焦点及被测面球心处放置适当密度的显影屏;
调整所述中心测定仪,同时观察所述显影屏上的仪器焦点光斑和被测面反射像点光斑,如果两者重合则调整完成。
2根据权利要求1所述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其特征在于,所述大通量分划板是保证相当光能量聚焦于仪器焦点及被测面反射像点的孔形分划板。
3根据权利要求1所述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其特征在于,所述工作分划板是保证工业监视器显像清晰及大范围影象必需的线条适当粗细、列陈十字分划板。
4根据权利要求1所述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其特征在于,所述显影屏是一适当密度及厚度的半透明磨砂玻璃。
5根据权利要求1所述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其特征在于,所述大通量分划板和工作分划板设置在一分划板切换装置上,在调整反射像时将所述分划板切换装置切换到大通量分划板。
6根据权利要求1所述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其特征在于,在反射像调整完成后用工作分划板重新替换大通量分划板。
7根据权利要求5所述的反射式中心测定仪的反射像直接快速调整方法,其特征在于,在反射像调整完成后将分划板切换装置切换到工作分划板。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102073148A (zh) * 2011-01-14 2011-05-25 北京理工大学 一种微小型结构件高精度视觉同轴光学对位装配系统
CN104833319A (zh) * 2015-04-15 2015-08-12 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 透镜中心偏差测量系统及测量方法
CN104977726A (zh) * 2015-05-12 2015-10-14 中国科学院光电技术研究所 一种用于望远镜装调的高精度主镜球心指示及跟踪装置
CN105353494A (zh) * 2015-11-13 2016-02-24 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种r-c折反式系统光机装调方法
CN106873122A (zh) * 2017-01-26 2017-06-20 西安应用光学研究所 一种用于大口径非球面反射镜定心装调的装置及方法
CN107561654A (zh) * 2017-10-24 2018-01-09 西安北方光电科技防务有限公司 用于光电接收器光轴与机械轴调试的可视化调整装置
CN109521582A (zh) * 2018-12-05 2019-03-26 北京控制工程研究所 一种光学镜头光轴表征方法、系统以及成像组件对准方法
WO2020073346A1 (zh) * 2018-10-11 2020-04-16 广州博冠光电科技股份有限公司 一种基于数字激光全息快速检测透镜中心偏的装置及方法
CN111025673A (zh) * 2018-10-09 2020-04-17 深圳市点睛创视技术有限公司 一种投影光机的棱镜调整装置及方法
CN113433706A (zh) * 2021-06-21 2021-09-24 深圳市大族数控科技股份有限公司 激光整形光路的调试及检验方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102073148A (zh) * 2011-01-14 2011-05-25 北京理工大学 一种微小型结构件高精度视觉同轴光学对位装配系统
CN104833319A (zh) * 2015-04-15 2015-08-12 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 透镜中心偏差测量系统及测量方法
CN104977726A (zh) * 2015-05-12 2015-10-14 中国科学院光电技术研究所 一种用于望远镜装调的高精度主镜球心指示及跟踪装置
CN105353494A (zh) * 2015-11-13 2016-02-24 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种r-c折反式系统光机装调方法
CN106873122A (zh) * 2017-01-26 2017-06-20 西安应用光学研究所 一种用于大口径非球面反射镜定心装调的装置及方法
CN106873122B (zh) * 2017-01-26 2019-05-03 西安应用光学研究所 一种用于大口径非球面反射镜定心装调的装置及方法
CN107561654A (zh) * 2017-10-24 2018-01-09 西安北方光电科技防务有限公司 用于光电接收器光轴与机械轴调试的可视化调整装置
CN107561654B (zh) * 2017-10-24 2024-02-13 西安北方光电科技防务有限公司 用于光电接收器光轴与机械轴调试的可视化调整装置
CN111025673A (zh) * 2018-10-09 2020-04-17 深圳市点睛创视技术有限公司 一种投影光机的棱镜调整装置及方法
WO2020073346A1 (zh) * 2018-10-11 2020-04-16 广州博冠光电科技股份有限公司 一种基于数字激光全息快速检测透镜中心偏的装置及方法
CN109521582B (zh) * 2018-12-05 2021-04-13 北京控制工程研究所 一种光学镜头光轴表征方法、系统以及成像组件对准方法
CN109521582A (zh) * 2018-12-05 2019-03-26 北京控制工程研究所 一种光学镜头光轴表征方法、系统以及成像组件对准方法
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