CN208320396U - 一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，包括排气座、喷淋座和分离罐，晶体生长炉下部侧端设置有废气排放管,废气排放管另一端连接风机；本实用新型在结构上设计合理，实用性很高，工作时，在排气管和防水帽的作用下均匀的将废气排入喷淋箱内，在雾化喷头的均匀喷洒下，加强了空气和水的接触，同时在填料的作用下，增强了有害物质与水的混合效率，混合后的液体通过抽水泵和三通阀注入到分离罐内，通过加料口加入还原剂和催化剂，电机带动搅拌叶片搅拌混合液体，在沉淀网的作用下，将反应还原出的原料进行回收，剩余无毒液体通过排液口排除，极大减轻了环境污染，同时回收原料，提高了经济效应。
Description
技术领域
本实用新型涉及废气处理设备领域，具体是一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置。
背景技术
晶体生长炉是常用的一种晶体生长设备，首先，把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化；再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长；然后消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错；随后，放大晶体直径到工艺要求的大小；接着，突然提高拉速进行转肩操作；然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；最后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程就基本完成，进行一定的保温冷却后就可以取出。
目前，在晶体炉的运行过程中，根据用途可能会掺入含磷、锑和砷元素的掺杂剂，这会产生对人类有害的气体，如果不加以处理排放到空气中，将会造成较大的环境污染。因此，本领域技术人员提供了一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，包括排气座、喷淋座和分离罐，所述晶体生长炉下部侧端设置有废气排放管，所述废气排放管另一端连接风机，所述风机右侧连接废气传输管，所述废气传输管另一端贯穿喷淋箱连接排气座，所述喷淋箱内部下端设置有储水槽，所述储水槽上端中部通过支柱连接排气座，所述排气座上端设置有若干排气管，所述排气管上端设置有防水帽，所述喷淋箱内壁通过支杆连接固定框，所述固定框内设置有填料，所述喷淋箱内部顶端通过挂架连接喷淋座，所述喷淋座下端连接若干喷头；
所述喷淋箱左端下侧设置有注水口，所述注水口贯穿喷淋箱连接储水槽，所述储水槽右端下侧通过水管连接抽液泵，所述抽液泵通过第一输液管连接分离罐，所述第一输液管中部设置有三通阀，所述第一输液管通过三通阀连接第二输液管，所述第二输液管另一端贯穿喷淋箱连接喷淋座，所述第一输液管上部设置有单向阀，所述分离罐上端中部设置有电机，所述电机通过联轴器连接旋转轴，所述旋转轴上设置有若干搅拌叶片，所述分离罐上端边缘设置有加料口，所述分离罐内部下侧设置有沉淀网，所述分离罐外端下侧设置有排液口。
作为本实用新型进一步的方案：所述防水帽选用锥形帽，且防水帽内部通孔孔径与排气管孔径相匹配。
作为本实用新型再进一步的方案：所述喷头选用雾化喷头，且喷头的个数至少为六个。
作为本实用新型再进一步的方案：所述分离罐和喷淋箱的材料均选用不锈钢。
作为本实用新型再进一步的方案：所述废气排放管和废气传输管均采用耐高温合金管。
作为本实用新型再进一步的方案：所述第一输液管和第二输液管均采用耐腐蚀合金管。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型在结构上设计合理，实用性很高，工作时，在排气管和防水帽的作用下均匀的将废气排入喷淋箱内，在雾化喷头的均匀喷洒下，加强了空气和水的接触，同时在填料的作用下，增强了有害物质与水的混合效率，混合后的液体通过抽水泵和三通阀注入到分离罐内，通过加料口加入还原剂和催化剂，电机带动搅拌叶片搅拌混合液体，在沉淀网的作用下，将反应还原出的原料进行回收，剩余无毒液体通过排液口排除，极大减轻了环境污染，同时回收原料，提高了经济效应。
附图说明
图1为一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置的结构示意图。
图2为一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置中排气座的俯视图。
图3为一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置中排气管的结构示意图。
图中：1-晶体生长炉、2-废气排放管、3-风机、4-废气传输管、5-喷淋箱、6-储水槽、7-排气座、8-排气管、9-防水帽、10-固定框、11-填料、12-喷淋座、13-喷头、14-注水口、15-抽液泵、16-第一输液管、17-三通阀、18-第二输液管、19-单向阀、20-分离罐、21-电机、22-旋转轴、23-搅拌叶片、24-加料口、25-沉淀网、26-排液口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，包括排气座7、喷淋座12和分离罐20，所述晶体生长炉1下部侧端设置有废气排放管2，所述废气排放管2另一端连接风机3，所述风机3右侧连接废气传输管4，所述废气传输管4另一端贯穿喷淋箱5连接排气座7，所述喷淋箱5内部下端设置有储水槽6，所述储水槽6上端中部通过支柱连接排气座7，所述排气座7上端设置有若干排气管8，所述排气管8上端设置有防水帽9，所述喷淋箱5内壁通过支杆连接固定框10，所述固定框10内设置有填料11，所述喷淋箱5内部顶端通过挂架连接喷淋座12，所述喷淋座12下端连接若干喷头13；
所述喷淋箱5左端下侧设置有注水口14，所述注水口14贯穿喷淋箱5连接储水槽6，所述储水槽6右端下侧通过水管连接抽液泵15，所述抽液泵15通过第一输液管16连接分离罐20，所述第一输液管16中部设置有三通阀17，所述第一输液管16通过三通阀17连接第二输液管18，所述第二输液管18另一端贯穿喷淋箱5连接喷淋座12，所述第一输液管16上部设置有单向阀19，所述分离罐20上端中部设置有电机21，所述电机21通过联轴器连接旋转轴22，所述旋转轴22上设置有若干搅拌叶片23，所述分离罐20上端边缘设置有加料口24，所述分离罐20内部下侧设置有沉淀网25，所述分离罐20外端下侧设置有排液口26。
所述防水帽9选用锥形帽，且防水帽9内部通孔孔径与排气管8孔径相匹配。
所述喷头13选用雾化喷头，且喷头13的个数至少为六个。
所述分离罐20和喷淋箱5的材料均选用不锈钢。
所述废气排放管2和废气传输管4均采用耐高温合金管。
所述第一输液管16和第二输液管18均采用耐腐蚀合金管。
本实用新型的工作原理是：
本实用新型涉及一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，工作时，在风机3的作用下，晶体生长炉1的有害气体通过废气排放管2和废气传输管4传输到排气座7内，在排气管8和防水帽9的作用下均匀快速的将废气排入喷淋箱5内，抽水泵15通过第一输液管16，三通阀17和第二输液管18将水注入喷淋座12内，通过雾化喷头13均匀喷洒，有效加强了空气和水的接触，同时在填料11的作用下，增强了有害物质与水的混合效率，混合后的液体通过抽水泵15、第一输液管15和三通阀17注入到分离罐20内，单向阀19防止液体回流，通过加料口24加入还原剂和催化剂，电机21带动旋转轴22和搅拌叶片23充分搅拌混合液体，在沉淀网25的作用下，将反应还原出的原料进行回收，剩余无毒液体通过排液口26排除，极大减轻了环境污染，同时回收原料，提高了经济效应。
本实用新型在结构上设计简单合理，使用起来方便快捷，实用性很高，工作时，在风机的作用下，晶体生长炉的有害气体通过废气排放管和废气传输管传输到排气座内，在排气管和防水帽的作用下均匀快速的将废气排入喷淋箱内，抽水泵通过第一输液管，三通阀和第二输液管将水注入喷淋座内，通过雾化喷头均匀喷洒，有效加强了空气和水的接触，同时在填料的作用下，增强了有害物质与水的混合效率，混合后的液体通过抽水泵和三通阀注入到分离罐内，通过加料口加入还原剂和催化剂，电机带动旋转轴和搅拌叶片充分搅拌混合液体，在沉淀网的作用下，将反应还原出的原料进行回收，剩余无毒液体通过排液口排除，极大减轻了环境污染，同时回收原料，提高了经济效应。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (6)
1.一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，包括排气座(7)、喷淋座(12)和分离罐(20)，其特征在于，所述晶体生长炉(1)下部侧端设置有废气排放管(2)，所述废气排放管(2)另一端连接风机(3)，所述风机(3)右侧连接废气传输管(4)，所述废气传输管(4)另一端贯穿喷淋箱(5)连接排气座(7)，所述喷淋箱(5)内部下端设置有储水槽(6)，所述储水槽(6)上端中部通过支柱连接排气座(7)，所述排气座(7)上端设置有若干排气管(8)，所述排气管(8)上端设置有防水帽(9)，所述喷淋箱(5)内壁通过支杆连接固定框(10)，所述固定框(10)内设置有填料(11)，所述喷淋箱(5)内部顶端通过挂架连接喷淋座(12)，所述喷淋座(12)下端连接若干喷头(13)；
所述喷淋箱(5)左端下侧设置有注水口(14)，所述注水口(14)贯穿喷淋箱(5)连接储水槽(6)，所述储水槽(6)右端下侧通过水管连接抽液泵(15)，所述抽液泵(15)通过第一输液管(16)连接分离罐(20)，所述第一输液管(16)中部设置有三通阀(17)，所述第一输液管(16)通过三通阀(17)连接第二输液管(18)，所述第二输液管(18)另一端贯穿喷淋箱(5)连接喷淋座(12)，所述第一输液管(16)上部设置有单向阀(19)，所述分离罐(20)上端中部设置有电机(21)，所述电机(21)通过联轴器连接旋转轴(22)，所述旋转轴(22)上设置有若干搅拌叶片(23)，所述分离罐(20)上端边缘设置有加料口(24)，所述分离罐(20)内部下侧设置有沉淀网(25)，所述分离罐(20)外端下侧设置有排液口(26)。
2.根据权利要求1所述的一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，其特征在于，所述防水帽(9)选用锥形帽，且防水帽(9)内部通孔孔径与排气管(8)孔径相匹配。
3.根据权利要求1所述的一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，其特征在于，所述喷头(13)选用雾化喷头，且喷头(13)的个数至少为六个。
4.根据权利要求1所述的一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，其特征在于，所述分离罐(20)和喷淋箱(5)的材料均选用不锈钢。
5.根据权利要求1所述的一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，其特征在于，所述废气排放管(2)和废气传输管(4)均采用耐高温合金管。
6.根据权利要求1所述的一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置，其特征在于，所述第一输液管(16)和第二输液管(18)均采用耐腐蚀合金管。
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| CN201820705382.1U CN208320396U (zh) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | 一种回转式抛光粉晶体生长炉废气处理装置 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN110227341A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-13 | 扬州成威涂装设备有限公司 | 一种环保型有机气体催化净化装置 |
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- 2018-05-11 CN CN201820705382.1U patent/CN208320396U/zh active Active
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