CN208250457U - 一种多晶硅铸锭炉坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉坩埚,包括三个结构相同的埚瓣和座台,座台由底座和凸台一体化组成,凸台位于底座上表面中心位置且呈圆柱状,三个所述埚瓣拼合围在凸台的外表面形成一个整体坩埚,埚瓣的两个竖直侧面均设置有规格相同的榫槽,相邻来那个埚瓣贴合的侧边榫槽内部插接有插接板。该种多晶硅铸锭炉坩埚通过设置座台并在埚瓣和底座之间设置插接柱和插接孔,便于将埚瓣对合拼接在座台上,降低组装难度,提高组装稳定性,并且在埚瓣之间设置榫槽和起到榫卯作用的插接板,使得组装后的坩埚强度提高,结构更加稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产设备领域,具体为一种多晶硅铸锭炉坩埚。
背景技术
多晶硅铸锭炉主要用于太阳能级多晶硅锭的大生产,它采用先进的多晶硅定向凝固技术,将硅料高温熔融后通过特殊工艺定向冷凝结晶,从而达到太阳能电池生产用多晶硅品质的要求,是一种适用于长时间连续工作,高精度、高可靠性、自动化程度高的智能化大生产设备。
石墨坩埚时多晶硅铸锭炉中必不可少的部件,主要用来盛放石英坩埚。常用的石墨坩埚为三瓣埚,但是现有的三瓣埚组装困难,组装后受高温和载重后易分离,导致石英坩埚受热不稳定,影响多晶硅生产质量。
为解决上述问题,因此我们提出一种多晶硅铸锭炉坩埚。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种多晶硅铸锭炉坩埚,为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
本实用新型一种多晶硅铸锭炉坩埚,包括三个结构相同的埚瓣和座台,座台由底座和凸台一体化组成,凸台位于底座上表面中心位置且呈圆柱状,三个所述埚瓣拼合围在凸台的外表面形成一个整体坩埚,埚瓣的两个竖直侧面均设置有规格相同的榫槽,相邻来那个埚瓣贴合的侧边榫槽内部插接有插接板。
作为本实用新型的一种优选实施方式,底座的上表面为内凹的球面结构,且与拼合后的坩埚底面吻合。
作为本实用新型的一种优选实施方式,埚瓣的底面开设有插接孔,底座的上表面一体化固定有与插接孔对应的插接柱。
作为本实用新型的一种优选实施方式,底座的底面设置有内凹槽。
与现有技术相比,本实用新型所达到的有益效果是:通过设置座台并在埚瓣和底座之间设置插接柱和插接孔,便于将埚瓣对合拼接在座台上,降低组装难度,提高组装稳定性,并且在埚瓣之间设置榫槽和起到榫卯作用的插接板,使得组装后的坩埚强度提高,结构更加稳定。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型一种多晶硅铸锭炉坩埚的总装结构俯视图
图2是图1中的A-A截面结构示意图。
图中:1-埚瓣;2-座台;3-插接板;4-底座;5-凸台;6-插接孔;7-插接柱;8-内凹槽;9-榫槽。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
实施例
如图1-2所示,一种多晶硅铸锭炉坩埚,包括三个结构相同的埚瓣1和座台2,座台2由底座4和凸台5一体化组成,凸台5位于底座4上表面中心位置且呈圆柱状,三个所述埚瓣1拼合围在凸台5的外表面形成一个整体坩埚,埚瓣1的两个竖直侧面均设置有规格相同的榫槽9,相邻来那个埚瓣1贴合的侧边榫槽9内部插接有插接板3,埚瓣1的底面开设有插接孔6,底座4的上表面一体化固定有与插接孔6对应的插接柱7。
本实施例中,三瓣坩埚在进行组装时首先将底座4固定在坩埚托盘上,底座4下表面的内凹槽8用来插套在坩埚托盘上的插杆,这样使得石墨坩埚与坩埚托盘之间连接更稳固,将埚瓣1沿凸台5走向下移并使得埚瓣1底部的插接孔6与底座4上的插接柱7配合,将三个埚瓣1对合拼接在座台4上形成一个整体的石墨坩埚,降低组装难度,提高组装稳定性,三个埚瓣1组合完成后,在埚瓣1之间的榫槽9中插入插接板3,插接板3起到榫卯作用,使得组装后的坩埚强度提高,结构更加稳定。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种多晶硅铸锭炉坩埚,包括三个结构相同的埚瓣(1)和座台(2),其特征在于:所述座台(2)由底座(4)和凸台(5)一体化组成,所述凸台(5)位于底座(4)上表面中心位置且呈圆柱状,三个所述埚瓣(1)拼合围在凸台(5)的外表面形成一个整体坩埚,所述埚瓣(1)的两个竖直侧面均设置有规格相同的榫槽(9),相邻来那个埚瓣(1)贴合的侧边榫槽(9)内部插接有插接板(3)。
2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉坩埚,其特征在于,所述底座(4)的上表面为内凹的球面结构,且与拼合后的坩埚底面吻合。
3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉坩埚,其特征在于,所述埚瓣(1)的底面开设有插接孔(6),所述底座(4)的上表面一体化固定有与插接孔(6)对应的插接柱(7)。
4.如权利要求3所述的多晶硅铸锭炉坩埚,其特征在于,所述底座(4)的底面设置有内凹槽(8)。
Priority Applications (1)
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CN201820584893.2U CN208250457U (zh) | 2018-04-24 | 2018-04-24 | 一种多晶硅铸锭炉坩埚 |
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Publications (1)
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CN208250457U true CN208250457U (zh) | 2018-12-18 |
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ID=64636831
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CN201820584893.2U Active CN208250457U (zh) | 2018-04-24 | 2018-04-24 | 一种多晶硅铸锭炉坩埚 |
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CN (1) | CN208250457U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111996587A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-11-27 | 大同新成新材料股份有限公司 | 一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座 |
CN112341232A (zh) * | 2020-10-28 | 2021-02-09 | 西安超码科技有限公司 | 一种炭/炭坩埚及其制造方法 |
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2018
- 2018-04-24 CN CN201820584893.2U patent/CN208250457U/zh active Active
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