CN208225863U - 一种光学晶圆叠层3d封装精密定位系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种光学晶圆叠层3D封装精密定位系统，包括平面底盘，平面底盘上设有垂直于平面底盘表面的定位机构，定位机构是由至少三个定位件构成的放置晶圆并使晶圆与定位件相切的定位机构，定位件是隔离板和定位柱中的一种或两种。该实用新型中通过在平面底盘上设置定位机构，将晶圆基板放置在定位机构中予以定位，在晶圆基板与盖板固化封装时晶圆基板被定位机构定位，不会在胶层还处于液化状态时受外力的影响而移位，提高了封装的质量。

Description

一种光学晶圆叠层3D封装精密定位系统

技术领域

本实用新型涉及晶圆的UV固化系统，尤其是一种防止晶圆固化时移位的光学晶圆叠层3D封装精密定位系统。

背景技术

目前市面上的UV固化箱，在用于固化封装晶圆时，其结构存在一个主要问题：晶圆基板与盖板在UV固化时会发生移位，导致封装不牢，产生脱胶等问题。现有技术中，UV固化箱内底面是无任何隔断的平面，晶圆平放在UV固化箱内底面，胶水封装完毕，未UV固化的晶圆基板与盖板间的胶层呈液体状，会导致晶圆基板与盖板在UV固化时发生移位现象，待UV固化完全，晶圆已错位固定，部分胶层也会厚薄不均，造成封装不牢而产生脱胶异常。

实用新型内容

针对现有的不足，本实用新型提供一种防止晶圆在UV固化时移位的光学晶圆叠层3D封装精密定位系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种光学晶圆叠层3D封装精密定位系统，包括平面底盘，所述平面底盘上设有垂直于平面底盘表面的定位机构，所述定位机构是由至少三个定位件构成的放置晶圆并使晶圆与定位件相切的定位机构，所述定位件是隔离板和定位柱中的一种或两种。

作为优选，所述定位机构是由四个隔离板和六个定位柱构成的定位五个晶圆的定位机构，四个隔离板组合成矩形，六个定位柱位于矩形中并在矩形长边方向对称的分布在两端，每端有三个定位柱，且该端的三个定位柱形成一个顶点朝向矩形短边、底边与矩形短边平行的三角形的三个顶点，每个所述定位柱均有两个晶圆共用，并且在矩形的四个角部分别由隔离板和三角形侧边的两个定位柱对四个晶圆四点定位，在矩形的中部由两个三角形底边的四个定位柱对一个晶圆四点定位。

作为优选，所述平面底盘和定位机构是一体成型的结构。

作为优选，所述定位柱是可拆卸连接在平面底盘上的。

作为优选，所述定位柱是由高分子材料或金属制成的柱体。

作为优选，所述隔离板和定位柱的表面均是光滑的表面，所述平面底盘是底盘表面平整光滑的底盘。

本实用新型的有益效果在于：该实用新型中通过在平面底盘上设置定位机构，将晶圆基板放置在定位机构中予以定位，在晶圆基板与盖板固化封装时晶圆基板被定位机构定位，不会在胶层还处于液化状态时受外力或自身重力的影响而移位，解决了封装不牢而脱胶的问题，提高了封装的质量。

附图说明

图1是本实用新型实施例的俯视示意图；

图2是本实用新型实施例的侧视图；

图中零部件名称及序号：1-平面底盘 2-定位机构 3-定位件 30-隔离板 31-定位柱。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

本实用新型实施例如图1和图2中所示，一种光学晶圆叠层3D封装精密定位系统，包括平面底盘1，所述平面底盘1上设有垂直于平面底盘表面的定位机构2，所述定位机构2是由至少三个定位件3构成的放置晶圆并使晶圆与定位件3相切的定位机构，这样在定位机构2的三点四点或多点定位的定位作用下，放置在定位机构2中予以定位的晶圆基板在与盖板固化封装时，就不会在胶层还处于液化状态时受外力或自身重力的影响而移位，保证了晶圆基板和盖板边缘的平齐，解决了封装不牢而脱胶的问题，提高了封装的质量，所述定位件3是隔离板30和定位柱31中的一种或两种，隔离板30可以用于在边缘位置将定位机构2隔成相同的定位单元，利于批量化的生产，而定位柱31则可以用于在中间位置设置定位单个晶圆的定位空间，最大化的利用平面底盘的表面。

进一步的改进，如图1和图2中所示，所述定位机构2是由四个隔离板30和六个定位柱31构成的定位五个晶圆的定位机构，四个隔离板30组合成矩形，六个定位柱31位于矩形中并在矩形长边方向对称的分布在两端，每端有三个定位柱31，且该端的三个定位柱31形成一个顶点朝向矩形短边、底边与矩形短边平行的三角形的三个顶点，每个所述定位柱31均有两个晶圆共用，并且在矩形的四个角部分别由隔离板30和三角形侧边的两个定位柱31对四个晶圆四点定位，在矩形的中部由两个三角形底边的四个定位柱31对一个晶圆四点定位。这样就可以使具有相同面积的底盘最优化的设置多个定位机构2，同时也使得单个定位机构2能最优化的设置定位晶圆的定位空间，一方面方便晶圆固化封装时的拿取，另一方面也有效利用平面底盘1的表面。

进一步的改进，所述平面底盘1和定位机构2是一体成型的结构，一体成型方便了产品的生产和使用。

进一步的改进，所述定位柱31是可拆卸连接在平面底盘1上的，这样就可以方便的对产品进行调整维修，避免了某个定位柱31损坏而整个产品都无法使用的问题。

进一步的改进，所述定位柱31是由高分子材料或金属制成的柱体，这些材料易生产易维修，而且在长久的使用中不会变形，不易受到UV固化的影响而损坏。所述隔离板30和定位柱31的表面均是光滑的表面，表面光滑在取放晶圆时就可防止刮伤晶圆，所述平面底盘1是底盘表面平整光滑的底盘，表面平整光滑就可防止与晶圆表面接触时划伤晶圆表面。

应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。

Claims (6)

1.一种光学晶圆叠层3D封装精密定位系统，其特征在于：包括平面底盘，所述平面底盘上设有垂直于平面底盘表面的定位机构，所述定位机构是由至少三个定位件构成的放置晶圆并使晶圆与定位件相切的定位机构，所述定位件是隔离板和定位柱中的一种或两种。

2.根据权利要求1所述光学晶圆叠层3D封装精密定位系统，其特征在于：所述定位机构是由四个隔离板和六个定位柱构成的定位五个晶圆的定位机构，四个隔离板组合成矩形，六个定位柱位于矩形中并在矩形长边方向对称的分布在两端，每端有三个定位柱，且该端的三个定位柱形成一个顶点朝向矩形短边、底边与矩形短边平行的三角形的三个顶点，每个所述定位柱均有两个晶圆共用，并且在矩形的四个角部分别由隔离板和三角形侧边的两个定位柱对四个晶圆四点定位，在矩形的中部由两个三角形底边的四个定位柱对一个晶圆四点定位。

3.根据权利要求1或2所述任一光学晶圆叠层3D封装精密定位系统，其特征在于：所述平面底盘和定位机构是一体成型的结构。

4.根据权利要求1或2所述任一光学晶圆叠层3D封装精密定位系统，其特征在于：所述定位柱是可拆卸连接在平面底盘上的。

5.根据权利要求1所述光学晶圆叠层3D封装精密定位系统，其特征在于：所述定位柱是由高分子材料或金属制成的柱体。

6.根据权利要求1所述光学晶圆叠层3D封装精密定位系统，其特征在于：所述隔离板和定位柱的表面均是光滑的表面，所述平面底盘是底盘表面平整光滑的底盘。