CN208201116U - 一种真空镀膜机用基片翻转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机用基片翻转装置，包括装置本体、镀膜室和基片，镀膜室中间固定设置有固定轴，固定轴外侧转动连接有基片固定架，基片固定架内活动放置有基片，基片固定架一侧固定连接有连接轴，连接轴外侧固定套接有外套筒，外套筒外侧均匀设置有四组连接块，镀膜室固定设置有固定板，固定板一侧固定设置有第一凹型块，第一凹型块凹槽内滑动连接有第二凹型块，第二凹型块与连接块活动配合，第二凹型块底部转动连接有螺纹转轴，放置板上端固定设置有电机。该实用新解决了现有的基片夹具翻转系统结构复杂，翻转极不灵活，并且翻转方式在翻转过程中由于速度较快，对基片上产品的震动较大，会造成产品偏移位置，导致镀膜不良的问题。

Description

一种真空镀膜机用基片翻转装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜机用基片翻转装置。

背景技术

真空成膜技术现今广泛应用于光学、电子学、能源开发、建筑机械、表面科学以及科学研究等领域中，在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的地位，例如现今制备微机械(MEMS)器件常用真空镀膜制备导电膜、绝缘膜和保护膜。在实际利用真空镀膜制备MEMS器件时，除对基片进行两面均匀镀膜外，有时需对基片进行多方向、多晶面的镀膜。如采用真空镀膜方式制备石英音叉式微机械陀螺的电极，由于石英的压电性质，敏感音叉的侧壁表面需制备平行分层电极。采用孔洞掩膜制备电极就需调整音叉侧面与膜料分子入射方向的角度，使音叉侧面形成连续均匀的薄膜电极。由于音叉的拾取叉臂侧面上的电极极性相反，所以完成音叉的一侧镀膜后还需更改方向进行另一侧的电极制备，整个音叉的电极制备需要多次对晶片进行以上所述的角度蒸发，而且每次的方向角度必须准确一致。

许多镀膜产品都需要翻转驱动装置对基片进行翻转以实现双面镀膜，如申请号为201420570936.3一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置所记载的一样，由翻转驱动拨盘和翻转驱动机构构成，所述翻转驱动拨盘连接固定于所述翻转镀膜治具外沿，翻转驱动拨盘上开设有至少一个卡槽，卡槽以所述翻转驱动拨盘的中心为对称中心对称排布；翻转驱动机构安装于真空镀膜机，翻转驱动机构具有至少一根可伸缩的拨杆，拨杆上套装有拨杆轴承，拨杆轴承的外轮廓尺寸与卡槽的槽口尺寸吻合适配，拨杆可伸出至拨杆轴承与卡槽滚动配合。

该现有的基片夹具翻转系统结构复杂，翻转极不灵活，并且翻转方式在翻转过程中由于速度较快，对基片上产品的震动较大，会造成产品偏移位置，导致镀膜不良。

针对上述问题，本实用新型设计了一种真空镀膜机用基片翻转装置，以解决上述背景问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机用基片翻转装置，以解决上述背景技术中提出的现有的基片夹具翻转系统结构复杂，翻转极不灵活，并且翻转方式在翻转过程中由于速度较快，对基片上产品的震动较大，会造成产品偏移位置，导致镀膜不良的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机用基片翻转装置，包括装置本体、镀膜室和基片，所述镀膜室设置于装置本体上端，所述镀膜室中间固定设置有固定轴，所述固定轴外侧转动连接有基片固定架，所述基片固定架内活动放置有基片，所述基片固定架一侧固定连接有连接轴，所述连接轴外侧固定套接有外套筒，所述外套筒外侧均匀设置有四组连接块，所述镀膜室固定设置有固定板，所述固定板一侧固定设置有第一凹型块，所述第一凹型块凹槽内滑动连接有第二凹型块，所述第二凹型块与连接块活动配合，所述第二凹型块底部转动连接有螺纹转轴，所述固定板另一侧固定设置有放置板，所述放置板上端固定设置有电机。

优选的，所述固定轴外侧设置有转动销，且固定轴通过转动销与基片固定架转动连接。

优选的，所述基片固定架内设放置槽，且基片放置于放置槽内，所述基片固定架底部固定设置有四组支撑脚，所述基片固定架上端螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆上端固定连接有限位块，所述限位块为橡胶材质。

优选的，所述螺纹转轴上端设置有轴承，且螺纹转轴通过轴承与第二凹型块转动连接，所述螺纹转轴下端螺纹贯穿第一凹型块和装置本体，所述螺纹转轴下端固定连接有旋转把手。

优选的，所述电机为调速电机，所述电机动力输出端与连接轴固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：1.本实用新型结构简单，利用限位块配合调速电机进行翻转以及固定，调速电机能有效调节翻转速度，翻转灵活。2.利用基片固定架配合固定结构，有效对基片进行固定，放置翻转时基片发生震动偏移，影响后续镀膜程序，同时接触面又设置橡胶结构，减少接触磨损，功能丰富。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中基片固定架结构示意图；

图3为本实用新型图1中A结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-装置本体，2-镀膜室，3-固定轴，4-基片固定架，401-放置槽，402-支撑脚，403-螺纹杆，404-限位块，5-基片，6-转动销，7-连接轴，701-外套筒，702-连接块，8-固定板，801-第一凹型块，802-第二凹型块，9-螺纹转轴，901-轴承，902-旋转把手，10-放置板，11-电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案，一种真空镀膜机用基片翻转装置，包括装置本体1、镀膜室2和基片5，镀膜室2设置于装置本体1上端，镀膜室2中间固定设置有固定轴3，固定轴3外侧转动连接有基片固定架4，基片固定架4内活动放置有基片5，基片固定架4一侧固定连接有连接轴7，连接轴7外侧固定套接有外套筒701，外套筒701外侧均匀设置有四组连接块702，镀膜室2固定设置有固定板8，固定板8一侧固定设置有第一凹型块801，第一凹型块801凹槽内滑动连接有第二凹型块802，第二凹型块802与连接块702活动配合，第二凹型块802底部转动连接有螺纹转轴9，固定板8另一侧固定设置有放置板10，放置板10上端固定设置有电机11。

其中，固定轴3外侧设置有转动销6，且固定轴3通过转动销6与基片固定架4转动连接。基片固定架4内设放置槽401，且基片5放置于放置槽401内，基片固定架4底部固定设置有四组支撑脚402，确保对基片5的支撑固定，基片固定架4上端螺纹连接有螺纹杆403，螺纹杆403上端固定连接有限位块404，限位块404为橡胶材质，对基片5固定同时防止接触面磨损。螺纹转轴9上端设置有轴承901，且螺纹转轴9通过轴承901与第二凹型块802转动连接，螺纹转轴9下端螺纹贯穿第一凹型块801和装置本体1，螺纹转轴9下端固定连接有旋转把手902，转动旋转把手902通过螺纹转轴9使第二凹型块802收纳至第一凹型块801中。电机11为调速电机，电机11动力输出端与连接轴7固定连接，电机11能有效调节翻转速度，放置过快使基片5发生偏移影响后续镀膜，同时调速电机11翻转灵活。

本实施例的一个具体应用为：将基片5放置于基片固定架4内设的放置槽401内，利用底部支撑脚402进行下端固定，转动限位块404下端的螺纹杆403，利用限位块404对基片5进行紧固，确保整体的稳定性，防止转动时基片5发生晃动，限位块404橡胶材质能有效防止对基片5产生磨损。在需要对基片5进行翻转时，转动旋转把手902通过螺纹转轴9使第二凹型块802收纳至第一凹型块801中，解除对连接块702的限定，启动调速电机11转动对基片5进行翻转，转动完成后，再次转动旋转把手902调节第一凹型块801使其上升，与外套筒701外侧的连接块702配合固定，完成基片5的翻转。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种真空镀膜机用基片翻转装置，包括装置本体(1)、镀膜室(2)和基片(5)，其特征在于：所述镀膜室(2)设置于装置本体(1)上端，所述镀膜室(2)中间固定设置有固定轴(3)，所述固定轴(3)外侧转动连接有基片固定架(4)，所述基片固定架(4)内活动放置有基片(5)，所述基片固定架(4)一侧固定连接有连接轴(7)，所述连接轴(7)外侧固定套接有外套筒(701)，所述外套筒(701)外侧均匀设置有四组连接块(702)，所述镀膜室(2)固定设置有固定板(8)，所述固定板(8)一侧固定设置有第一凹型块(801)，所述第一凹型块(801)凹槽内滑动连接有第二凹型块(802)，所述第二凹型块(802)与连接块(702)活动配合，所述第二凹型块(802)底部转动连接有螺纹转轴(9)，所述固定板(8)另一侧固定设置有放置板(10)，所述放置板(10)上端固定设置有电机(11)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：所述固定轴(3)外侧设置有转动销(6)，且固定轴(3)通过转动销(6)与基片固定架(4)转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：所述基片固定架(4)内设放置槽(401)，且基片(5)放置于放置槽(401)内，所述基片固定架(4)底部固定设置有四组支撑脚(402)，所述基片固定架(4)上端螺纹连接有螺纹杆(403)，所述螺纹杆(403)上端固定连接有限位块(404)，所述限位块(404)为橡胶材质。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：所述螺纹转轴(9)上端设置有轴承(901)，且螺纹转轴(9)通过轴承(901)与第二凹型块(802)转动连接，所述螺纹转轴(9)下端螺纹贯穿第一凹型块(801)和装置本体(1)，所述螺纹转轴(9)下端固定连接有旋转把手(902)。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：所述电机(11)为调速电机，所述电机(11)动力输出端与连接轴(7)固定连接。